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公开(公告)号：CN113330140A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201980089119.1
申请日：2019-11-26
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种成膜品的制造方法，可抑制形成于工件的薄膜的不均的产生。本发明包括：工件保持步骤，以能够以第一旋转轴(旋转轴20)为中心而公转，且能够以第二旋转轴(工件保持部60)为中心而自转的方式保持工件W，所述第二旋转轴(工件保持部60)相对于靶材6(溅射靶材)倾斜；以及成膜步骤，一面进行以所述第一旋转轴为中心的公转、及以所述第二旋转轴为中心的自转，一面利用所述靶材6，对所述工件W进行成膜。
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公开(公告)号：CN113316661A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201980089399.6
申请日：2019-11-26
Applicant: 东和株式会社
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 本发明提供一种工件保持部旋转单元，可应对真空处理的角度依赖性。本发明包括：旋转轴20；旋转轮40，能够以所述旋转轴20为中心进行旋转；多个工件保持部60，能够保持工件W，配置成在以所述旋转轴20为中心的圆周上排列，且以能够以相对于所述旋转轴20的轴线倾斜的轴线为中心进行旋转的方式设置于所述旋转轮40；以及固定圆盘70，形成为以所述旋转轴20为中心的圆盘状，并且配置成与多个所述工件保持部60接触，伴随着所述旋转轮40的旋转使所述工件保持部60旋转。
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公开(公告)号：CN114423582B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202080065340.6
申请日：2020-05-14
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种提高了成型精度的成型模、树脂成型装置以及树脂成型品的制造方法。成型模具备成型模主体(M)，该成型模主体(M)保持在基板(11)的中央区域配置有芯片(13)的成型对象物(Sa)、具有被供给树脂材料的俯视呈矩形的型腔(MC)，成型模主体(M)具备：料筒(21)，供树脂材料填充；浇口(23)，设于型腔(MC)的一边(S)，向型腔(MC)供给树脂材料；以及流路限制机构(R)，在与一边(S)相交的两侧边侧对侧方流路(15)进行限缩，所述侧方流路(15)是在型腔(MC)的内部流动的树脂材料的流路中、未配置芯片(13)的流路。
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公开(公告)号：CN111483089B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202010022930.2
申请日：2020-01-09
Applicant: 东和株式会社
Inventor： 荒木宏祐
Abstract: 本发明提供一种树脂成形装置以及树脂成形品的制造方法。本发明与台板的变形无关而维持成形模的平坦度，树脂成形装置包括：成形模(2、3)；台板(41、42)，安装着成形模(2、3)；以及多个第一传递构件(5)，设于成形模(2、3)与台板(41、42)之间，将合模力从台板(41、42)传递至成形模(2、3)，并且多个第一传递构件(5)具有传递合模力的凸曲面状的接触面(5a)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111216301B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201910939827.1
申请日：2019-09-29
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供可抑制或防止脱模膜的松弛、褶皱等的成型模。成型模1000，其特征在于，包含一个模100和另一个模200，一个模100为在模具表面形成有型腔100A，同时在所述模具表面吸附脱模膜40的模，一个模100包含一个模膜按压构件103，一个模膜按压构件103可向成型模开闭方向移动，另一个模200包含另一个模膜按压构件203，另一个模膜按压构件203可向成型模开闭方向移动，能够以一个模膜按压构件103和另一个模膜按压构件203夹住并保持脱模膜40，并对脱模膜40施加张力。
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公开(公告)号：CN109719898B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201811273964.8
申请日：2018-10-29
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 提供一种能够改变成型模的模型腔深度的树脂成型装置。树脂成型装置1000，其包含：成型模；一个模具楔形机构1310；和一个模型腔块驱动机构1301，所述成型模包含一个模具1100和另一个模具1200，一个模具1100包含一个模型腔块1101和一个模型腔框构件1102，在一个模型腔框构件1102上形成有滑动孔1105，一个模型腔块1101可在滑动孔1105中沿所述成型模的模具开闭方向移动，可以一个模型腔块1101的与另一个模具1200相对的面和一个模型腔框构件1102的内侧面形成一个模型腔1106，可使用一个模型腔块驱动机构1301使一个模型腔块1101沿所述模具开闭方向移动，进一步，可通过使用一个模具楔形机构1310固定一个模型腔块1101在所述模具开闭方向上的位置，而改变一个模型腔1106的深度。
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公开(公告)号：CN111483089A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010022930.2
申请日：2020-01-09
Applicant: 东和株式会社
Inventor： 荒木宏祐
Abstract: 本发明提供一种树脂成形装置以及树脂成形品的制造方法。本发明与台板的变形无关而维持成形模的平坦度，树脂成形装置包括：成形模(2、3)；台板(41、42)，安装着成形模(2、3)；以及多个第一传递构件(5)，设于成形模(2、3)与台板(41、42)之间，将合模力从台板(41、42)传递至成形模(2、3)，并且多个第一传递构件(5)具有传递合模力的凸曲面状的接触面(5a)。
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公开(公告)号：CN109727878A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201811082698.0
申请日：2018-09-17
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/56
Abstract: 本发明提供一种即便被成型品的厚度存在偏差也能抑制或防止成型缺陷的树脂成型装置。树脂成型装置1000包括：成型模；和一个模楔形机构1310；和一个模型腔块驱动机构1301，其特征在于，所述成型模包括一个模1100和另一个模1200，一个模1100包括一个模型腔块1101和一个模型腔框构件1102，一个模型腔框构件1102包括滑动孔1105，一个模型腔块1101能够在滑动孔1105中在所述成型模的模开闭方向上移动，能够以一个模型腔块1101的与另一个模1200相对的面和所述一个模型腔框构件1102的内侧面形成一个模型腔1106，使用一个模型腔块驱动机构1301能够使一个模型腔块1101在所述模开闭方向上移动，使用一个模楔形机构1310能够固定一个模型腔块1101在所述模开闭方向上的位置。
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公开(公告)号：CN109719898A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201811273964.8
申请日：2018-10-29
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 提供一种能够改变成型模的模型腔深度的树脂成型装置。树脂成型装置1000，其包含：成型模；一个模具楔形机构1310；和一个模型腔块驱动机构1301，所述成型模包含一个模具1100和另一个模具1200，一个模具1100包含一个模型腔块1101和一个模型腔框构件1102，在一个模型腔框构件1102上形成有滑动孔1105，一个模型腔块1101可在滑动孔1105中沿所述成型模的模具开闭方向移动，可以一个模型腔块1101的与另一个模具1200相对的面和一个模型腔框构件1102的内侧面形成一个模型腔1106，可使用一个模型腔块驱动机构1301使一个模型腔块1101沿所述模具开闭方向移动，进一步，可通过使用一个模具楔形机构1310固定一个模型腔块1101在所述模具开闭方向上的位置，而改变一个模型腔1106的深度。
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