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公开(公告)号：CN113330140B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201980089119.1
申请日：2019-11-26
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种成膜品的制造方法及溅射装置，可抑制形成于工件的薄膜的不均的产生。本发明包括：工件保持步骤，以能够以第一旋转轴(20)为中心而公转，且能够以第二旋转轴(60)为中心而自转的方式保持工件(W)，所述第二旋转轴(60)相对于靶材(6)倾斜；以及成膜步骤，一面进行以所述第一旋转轴为中心的公转及以所述第二旋转轴为中心的自转，一面利用所述靶材(6)，对所述工件(W)进行成膜。
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公开(公告)号：CN113383107B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202080009663.3
申请日：2020-02-18
Applicant: 东和株式会社
IPC: C23C14/50 , B23B27/14 , B23C5/16 , B23P15/28 , C23C16/458
Abstract: 本发明提供一种可应对多种工件的工件保持部及工件保持部旋转单元。本发明的工件保持部(60)保持棒状的工件(W)，所述棒状的工件(W)包括柄部(W1)、及外径小于所述柄部(W1)的刀部(W2)，所述工件保持部(60)包括形成有贯通孔(63a)的转接器(63)及旋转支撑部(61)，所述贯通孔(63a)包括：第一孔部(63c)，能够插入所述柄部(W1)；及第二孔部(63d)，形成为与所述第一孔部(63c)连续，无法插入所述柄部(W1)且能够插入所述刀部(W2)，所述旋转支撑部(61)能够在插入有所述转接器(63)的状态下保持所述转接器(63)。
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公开(公告)号：CN113383107A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202080009663.3
申请日：2020-02-18
Applicant: 东和株式会社
IPC: C23C14/50 , B23B27/14 , B23C5/16 , B23P15/28 , C23C16/458
Abstract: 本发明提供一种可应对多种工件的工件保持部及工件保持部旋转单元。本发明的工件保持部60保持棒状的工件W，所述棒状的工件W包括柄部W1、及外径小于所述柄部W1的刀部W2，所述工件保持部60包括形成有贯通孔63a的转接器63及旋转支撑部61，所述贯通孔63a包括：第一孔部63c，能够插入所述柄部W1；及第二孔部63d，形成为与所述第一孔部63c连续，无法插入所述柄部W1且能够插入所述刀部W2，所述旋转支撑部61能够在插入有所述转接器63的状态下保持所述转接器63。
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公开(公告)号：CN113330140A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201980089119.1
申请日：2019-11-26
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种成膜品的制造方法，可抑制形成于工件的薄膜的不均的产生。本发明包括：工件保持步骤，以能够以第一旋转轴(旋转轴20)为中心而公转，且能够以第二旋转轴(工件保持部60)为中心而自转的方式保持工件W，所述第二旋转轴(工件保持部60)相对于靶材6(溅射靶材)倾斜；以及成膜步骤，一面进行以所述第一旋转轴为中心的公转、及以所述第二旋转轴为中心的自转，一面利用所述靶材6，对所述工件W进行成膜。
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公开(公告)号：CN113316661A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201980089399.6
申请日：2019-11-26
Applicant: 东和株式会社
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 本发明提供一种工件保持部旋转单元，可应对真空处理的角度依赖性。本发明包括：旋转轴20；旋转轮40，能够以所述旋转轴20为中心进行旋转；多个工件保持部60，能够保持工件W，配置成在以所述旋转轴20为中心的圆周上排列，且以能够以相对于所述旋转轴20的轴线倾斜的轴线为中心进行旋转的方式设置于所述旋转轮40；以及固定圆盘70，形成为以所述旋转轴20为中心的圆盘状，并且配置成与多个所述工件保持部60接触，伴随着所述旋转轮40的旋转使所述工件保持部60旋转。
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