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公开(公告)号：CN110024088A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201680091290.2
申请日：2016-12-05
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供能够生成优质的活性气体的活性气体生成装置。本发明通过在活性气体生成用电极组(301)的高压侧电极构成部(1A)与接地侧电极构成部(2A)之间形成的放电空间(66)的放电，将供给的原料气体活性化而生成活性气体。罩(31、32)的组合构造具有原料气体供给路径用的原料气体流路(31h、32h)，该原料气体流路(31h、32h)将放电空间(66)与交流电压施加空间(R31)完全分离，且与交流电压施加空间(R31)独立，将从外部供给的原料气体引导至放电空间(66)。形成在金属框体(34)与罩(31、32)及电极构成部设置台(33)之间的框体接触空间(R34)与交流电压施加空间(R31)、放电空间(66)分别完全分离。
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公开(公告)号：CN109196959A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201680086092.7
申请日：2016-05-27
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/30
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够均匀性良好、比较高速地生成高密度的活性气体的活性气体生成装置。并且，本发明在活性气体生成用电极群及喷嘴构成部的下方设置气体喷流用整流器(70)而构成活性气体生成装置。气体喷流用整流器(70)将活性气体穿过多个喷嘴后的气体用气体整流通路(71)的入口部(711)一起接受。气体整流通路(71)形成为，出口部(710)的出口开口面积被设定为比入口部(711)的入口开口面积窄，并且通过由气体整流通路(71)进行的整流动作，多个喷嘴穿过后活性气体各自的圆柱状的气体喷流被变换为线状的整流后活性气体。
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公开(公告)号：CN107079575A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480083011.9
申请日：2014-10-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使是大面积的被处理体也能够实施均匀的使用了自由基气体的处理的放电发生器及其电源装置。本发明所涉及的放电发生器及其电源装置(500)具备自由基气体生成装置(100)、处理室装置(200)和n相逆变器电源装置(9)。在处理室装置(200)相邻配置自由基生成装置(100)，自由基气体生成装置(100)具有多个(n个)放电单元(70)。n相逆变器电源装置(9)采用具有能够对n相的交流电压进行输出控制的手段的电源电路结构，对应于所述放电单元(70)的设置位置对各相的交流电压进行可变控制。
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公开(公告)号：CN103766001B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201280043157.1
申请日：2012-04-19
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24 , C23C16/452 , C23C16/505 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/503 , C23C16/452 , H01J37/32036 , H01J37/32348 , H01J37/32357 , H01J37/32559 , H05H1/2406 , H05H2001/2412 , H05H2001/2431
Abstract: 本发明提供一种能够高效且多量地输出在被处理件上成膜功能绝缘膜中所使用的金属功能物质粒子气体的等离子体产生装置。本发明所涉及的等离子体产生装置(100)具备：电极单元；围绕电极单元的框体(16)。电极单元具有：第一电极(3)；放电空间(6)；第二电极(1)；电介质(2a、2b)；在俯视观察下形成于中央部的贯通口(PH)。并且，圆筒形状的绝缘筒部(21)配设在贯通口(PH)的内部，在该圆筒形状的侧面部具有喷出孔(21x)。此外，等离子体产生装置(100)具备与绝缘筒部(21)的空穴部(21A)连接且用于供给金属前体的前体供给部(201)。
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公开(公告)号：CN103782663B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280043734.7
申请日：2012-04-23
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24 , C23C16/452 , C23C16/505 , H01L21/31
CPC classification number: H01J37/32449 , C23C16/452 , C23C16/45557 , C23C16/45565 , C23C16/503 , H01J37/32348 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
Abstract: 本发明提供一种等离子体产生装置，在该等离子体产生装置中，即使将原料气体供给到配置有电极单元的框体内，也不会产生在框体内配设的电供给部或电极面发生腐蚀、在电极单元的放电部以外的框体内部处沉积金属这样的问题。而且，本发明所涉及的等离子体产生装置(100)具备电极单元和围绕该电极单元的框体(16)。电极单元具有第一电极(3)、隔着放电空间(6)而与第一电极(3)面对面的第二电极(1)、及配置于各电极(1、3)的主表面的电介质(2a、2b)。此外，等离子体产生装置(100)具有管路(75)，该管路(75)不与未配设电极单元的框体(16)内部的空间连接，而从框体(16)外向放电空间(6)直接供给原料气体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103782663A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201280043734.7
申请日：2012-04-23
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24 , C23C16/452 , C23C16/505 , H01L21/31
CPC classification number: H01J37/32449 , C23C16/452 , C23C16/45557 , C23C16/45565 , C23C16/503 , H01J37/32348 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
Abstract: 本发明提供一种等离子体产生装置，在该等离子体产生装置中，即使将原料气体供给到配置有电极单元的框体内，也不会产生在框体内配设的电供给部或电极面发生腐蚀、在电极单元的放电部以外的框体内部处沉积金属这样的问题。而且，本发明所涉及的等离子体产生装置(100)具备电极单元和围绕该电极单元的框体(16)。电极单元具有第一电极(3)、隔着放电空间(6)而与第一电极(3)面对面的第二电极(1)、及配置于各电极(1、3)的主表面的电介质(2a、2b)。此外，等离子体产生装置(100)具有管路(75)，该管路(75)不与未配设电极单元的框体(16)内部的空间连接，而从框体(16)外向放电空间(6)直接供给原料气体。
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公开(公告)号：CN112166650B
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN201880093516.1
申请日：2018-05-30
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，不变更孔板部的构造就能够有意图地减弱设置在孔板部下方的处理空间的电场强度。并且，在本发明中，高电压侧电极构成部(1)还具有与金属电极(10)相独立地形成在电介质电极(11)的上表面上的导电膜(12)。导电膜(12)在俯视时设置在至少一个气体喷出孔(9)与金属电极(10)之间，并且导电膜(12)被设定为接地电位。
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公开(公告)号：CN110024088B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN201680091290.2
申请日：2016-12-05
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供能够生成优质的活性气体的活性气体生成装置。本发明通过在活性气体生成用电极组(301)的高压侧电极构成部(1A)与接地侧电极构成部(2A)之间形成的放电空间(66)的放电，将供给的原料气体活性化而生成活性气体。罩(31、32)的组合构造具有原料气体供给路径用的原料气体流路(31h、32h)，该原料气体流路(31h、32h)将放电空间(66)与交流电压施加空间(R31)完全分离，且与交流电压施加空间(R31)独立，将从外部供给的原料气体引导至放电空间(66)。形成在金属框体(34)与罩(31、32)及电极构成部设置台(33)之间的框体接触空间(R34)与交流电压施加空间(R31)、放电空间(66)分别完全分离。
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公开(公告)号：CN111052873B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN201780093717.7
申请日：2017-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种抑制异常放电的发生的活性气体生成装置的构造。并且，在本发明的活性气体生成装置中，供电体(23)设在高电压侧电极构成部(1)的金属电极(10A及10B)的上方，具有在俯视时将高电压侧电极构成部(1)的金属电极(10A及10B)的整体覆盖的形状。供电部(33A及33B)分别设在接地侧电极构成部(2)的金属电极(20A及20B)的下方，具有在俯视时将接地侧电极构成部(2)的金属电极(20A及20B)的整体覆盖的形状。
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公开(公告)号：CN114982382A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202080091607.9
申请日：2020-12-24
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，不使活性气体的生成量降低地能够实现供电空间中的绝缘耐性的提高。本发明的活性气体生成装置(100)中的箱体(7)具有沿着中央底面区域(78)的外周设置且形成高度高于中央底面区域(78)的周边阶差区域(79)。通过设置在周边阶差区域(79)上的高压电极用介电膜(1)而设置对供电空间(8)与包含放电空间(3)的活性气体生成空间之间的气体流动进行分离的气体分离构造。设置在箱体(7)外部的真空泵(15)将供电空间(8)设定为真空状态。
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