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公开(公告)号：CN119256626A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202380039675.4
申请日：2023-05-01
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Inventor： 有田廉
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明的目的在于提供活性气体生成装置，能够向处理空间供给均匀的活性气体。本发明的活性气体生成装置(75)中的电极单元(55)具备设置在接地侧电极构成部(E2)下方的接地导体(60)。壳体(1)的壳体底部(1a)具有壳体开口部(41)，壳体开口部(41)包括随着朝向下方而开口面积变大的下方锥形区域(41t)与上方区域(41a)。设置于接地导体(60)的多个气体喷出口(70)以随着朝向下方而相互接近的方式设置、以使多个局部活性气体在碰撞区域(80)中碰撞，碰撞区域(80)存在于下方锥形区域(41t)内或者比下方锥形区域(41t)靠上方的上方区域(41a)内。
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公开(公告)号：CN118044338A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202280065345.8
申请日：2022-09-14
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明的目的在于提供能够供给高浓度的活性气体的活性气体生成装置。在本发明的活性气体生成装置(5)中，第一数量的高电压电极构造体(13)分别被保持在第一数量的槽(54)中的对应的槽(54)的保持空间(S54)内，第二数量的接地电极构造体(14、3、4)分别被保持在第二数量的槽(54)中的对应的槽(54)的保持空间(S54)内。第一数量的高电压电极构造体(13)与第二数量的接地电极构造体(14、3、4)沿着Y方向交替地配置，第一数量的高电压电极构造体(13)各自的第一平面区域与第二数量的接地电极构造体(14、3、4)各自的第二平面区域隔着分离空间(S56)对置。
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公开(公告)号：CN111836916B
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN201980014601.9
申请日：2019-02-13
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C23C16/50 , H01L21/205 , H01L21/3065
Abstract: 本发明的目的在于提供能够实现装置构成的简化及小型化且能够抑制活性气体失活的现象的活性气体生成装置的构造。在本发明中，电极单元基座(2)中设置的气体流通槽(24)、高压电极用槽(21)及接地电极用槽(22)俯视时呈螺旋状。以使高压导通孔(41)与高压导通点(P1)俯视时一致的方式在电极单元基座(2)的表面上配置电极单元盖(1)。以俯视时高压开口部(61)涵盖高压导通孔(41)的全部的方式在电极单元盖(1)的表面上配置电极冷却板(3)。而且，以俯视时接地导通槽(62)、接地导通孔(42)及接地导通点(P2)一致的方式在电极单元基座(2)的表面上配置电极单元盖(1)及电极冷却板(3)。
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公开(公告)号：CN112334599B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN201880094582.0
申请日：2018-06-25
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种能够实现装置结构的简化及小型化，并且能够抑制活性气体失活的现象的活性气体生成装置的结构。而且，本发明中，设置于电极单元基座(2)的气体通过槽(24)、高压电极用槽(21)及接地电极用槽(22)俯视呈螺旋状。高压电极(11)被埋入到高压电极用槽(21)中，接地电极(12)被埋入到接地电极用槽(22)中。高压电极(11)及接地电极(12)以夹着电极单元基座(2)的一部分及气体通过槽(24)而相互对置的方式配置于电极单元基座(2)内的气体通过槽(24)的两侧面侧，并被设置成与气体通过槽(24)一起在俯视观察时为螺旋状。
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公开(公告)号：CN116670324A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180085674.4
申请日：2021-12-08
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C23C16/509
Abstract: 本发明的目的在于提供活性气体生成装置，能够均等地喷出相等自由基浓度的活性气体。本发明的活性气体生成装置中的单向放电构造(61s)满足以下的配置条件(a)～(c)。条件(a)为在对应间隙区域(23p)内，对应金属电极(10p)与对应金属电极(20p)在平面观察时重叠的区域成为对应放电空间(6p)。条件(b)为对应间隙区域(23p)与设置于对应气体供给区域(12Rp)的多个气体供给孔(12)在平面观察时重叠。条件(c)为设置于对应气体供给区域(12Rp)的多个气体供给孔(12)与设置于对应间隙区域(23p)之下的多个气体喷出孔(22)在平面观察时隔着对应放电空间(6p)沿着Y方向一对一地对置配置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114916255A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202080088706.1
申请日：2020-12-07
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种喷吹不含杂质的高品质的活性气体的构造的活性气体生成装置。本发明的活性气体生成装置(100)具备：基座凸缘(4)，具有中央底面区域(48)和周边突出部(46)；冷却板(9)，设置在基座凸缘(4)的周边突出部(46)上；绝缘板(7)，设置在冷却板(9)与高电压施加电极部(1)之间；以及电极按压部件(8)，以从下方支承高电压施加电极部(1)的方式设置在冷却板(9)的下表面上。并且，通过冷却板(9)、电极按压部件(8)以及高电压施加电极部(1)，设置将壳体内空间(33)与放电空间(6)之间的气体的流动分离的气体分离构造。
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公开(公告)号：CN113179676A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201980080397.0
申请日：2019-11-27
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，能够有意图地减弱活性气体到达后级的处理空间之前的区域中的电场强度。本发明通过高电压施加电极部(1)与接地电位电极部(2)的组合来构成在内部具有放电空间(6)的电极对。高电压施加电极部(1)作为主要构成部而具有电极用电介质膜(11)以及形成在电极用电介质膜(11)的上表面上的金属电极(10)。辅助导电膜(18)以俯视时不与金属电极(10)重叠且包围金属电极(10)的方式形成为圆环状。金属制的电极按压部件(8)在俯视时呈圆环状，以与辅助导电膜(18)的上表面的一部分接触的形态设置，并被固定于金属制的基底凸缘(4)。基底凸缘(4)被赋予接地电位。
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公开(公告)号：CN113170567A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980077109.6
申请日：2019-11-12
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置的结构，能够有意图地减弱在装置的后级设置的处理空间的电场强度，并且将活性气体的失活量抑制在必要最小限度。而且，在本发明的活性气体产生装置(101)中，设置于电极用电介质膜(11)上的辅助导电膜(12)以俯视时与所述活性气体流通路径的一部分重叠的方式设置，并且辅助导电膜(12)被设定为接地电位。设置于电极用电介质膜(21)上的活性气体用辅助部件(60)设置为，在电极用电介质膜(11)和(21)之间的电介质空间内，在放电空间(6)与气体喷出孔(23)之间填埋活性气体流通路径的一部分而限制为活性气体流通用间隙。
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公开(公告)号：CN113179676B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN201980080397.0
申请日：2019-11-27
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，能够有意图地减弱活性气体到达后级的处理空间之前的区域中的电场强度。本发明通过高电压施加电极部(1)与接地电位电极部(2)的组合来构成在内部具有放电空间(6)的电极对。高电压施加电极部(1)作为主要构成部而具有电极用电介质膜(11)以及形成在电极用电介质膜(11)的上表面上的金属电极(10)。辅助导电膜(18)以俯视时不与金属电极(10)重叠且包围金属电极(10)的方式形成为圆环状。金属制的电极按压部件(8)在俯视时呈圆环状，以与辅助导电膜(18)的上表面的一部分接触的形态设置，并被固定于金属制的基底凸缘(4)。基底凸缘(4)被赋予接地电位。
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公开(公告)号：CN114916256A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202180007362.1
申请日：2021-06-25
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明的目的在于提供一种喷出不含杂质的优质的活性气体的构造的活性气体生成装置。并且，本发明的活性气体生成装置(100C)通过冷却板(9)、电极按压部件(8)以及高电压施加电极部(1C)而设置对壳体内空间(33)与放电空间(6C)之间的气体流动进行分离的气体分离构造。活性气体生成装置(100C)还具有设置在高电压施加电极部(1C)的电极用介电膜(11)的上表面上的辅助用金属电极(12)。辅助用金属电极(12)设置为在俯视时与活性气体流通路径的一部分重复，且被设定为接地电位。
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