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公开(公告)号：CN107063438A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710144004.0
申请日：2017-03-10
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
CPC classification number: G01H11/08
Abstract: 本发明公开了一种基于压电效应的MEMS三维同振型矢量水听器，包括同振柱体振子模块以及同振球形振子模块，同振柱体振子模块包括第一框型基座、横梁、柱形聚乙烯拾振单元、中心连接体、压电薄膜、上电极以及下电极；柱形聚乙烯拾振单元固定于中心连接体上，中心连接体通过横梁连接在第一框型基座的中心处，且横梁的内外两侧均生长有压电薄膜，压电薄膜的上下两侧的对应位置均溅射有金属作为上电极和下电极；同振球形振子模块包括第二框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、压电薄膜以及上电极、下电极。本发明MEMS三维同振型矢量水听器具有体积小、共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的优点。
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公开(公告)号：CN119314775A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411503062.4
申请日：2024-10-25
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于充磁机技术领域，涉及一种四工位海尔贝克多极磁环充测一体机，其包括上料工位、四层充测工位、下料工位、工作台、上部夹爪组件和下部撑抓组件；工作台包括上台面和下台面，上料工位、四层充测工位和下料工位设置在上台面上；四层充测工位包括四工位永磁导向定位层、四工位充磁线圈层、四工位磁通测量层以及四工位表磁强度测量层，上部夹爪组件通过支撑架安装至工作台的上方，下部撑抓组件设置在下台面上。本发明可实现四工位一体式多极磁环同时自动化充磁，充磁完成后，能够通过本发明所述四层充测工位当即对磁环的磁通进行自动化测量以及磁环的表磁强度进行自动化测量，简化了磁环检测过程。
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公开(公告)号：CN106706108B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN201710144005.5
申请日：2017-03-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，包括框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、PZT压电薄膜；所述球形聚乙烯拾振单元固定于环形连接体上，环形连接体通过横梁连接于框型基座的中心处，每根横梁的外侧生长有PZT压电薄膜，PZT压电薄膜下面为下电极，且每根横梁的下电极与其它横梁以及框型基座上的电极相互独立；每个PZT压电薄膜上表面均溅射有相互独立的上电极。本发明是具有共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的同振型球形振子矢量水听器；采用微纳加工技术，实现了球形振子矢量水听器的微型化。并将信号采集模块布置于连接球形振子的四根横梁上，可检测垂直于横梁方向上的声信号分量。
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公开(公告)号：CN107352501B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201710539774.5
申请日：2017-07-05
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开一种TMAH硅雾化气相刻蚀系统，包括：水冷系统用于冷凝TMAH气体；刻蚀系统用于刻蚀单晶硅以及达到相关刻蚀条件，刻蚀硅片时刻蚀腔内使用的温度高于TMAH沸点，使TMAH呈气态的状态下对硅进行刻蚀；传送系统用于传输以及清洗刻蚀硅片；雾化系统用于产生及输送TMAH液滴至刻蚀腔，通过将TMAH溶液雾化方式，提供浓度更加稳定的TMAH气体，保证刻蚀稳定性；控制系统用于控制水冷系统、刻蚀系统、雾化系统及传送系统协调工作。该系统实现硅高速刻蚀，同时刻蚀表面较为光滑；气相刻蚀通过增大刻蚀腔体的气压以进一步提高刻蚀速率。该系统实现了对硅片非刻蚀面上结构实现了有效的保护，保证了硅刻蚀工艺与以完成工艺之间的兼容性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107246910A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201710450802.6
申请日：2017-06-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明公开了一种基于压阻效应的MEMS三维同振型矢量水听器，包括检测来自水平方向声信号的同振柱体振子模块和检测来自竖直方向声信号的同振球形振子模块；同振柱体振子模块主要包括框型基座、横梁、中心连接体、柱形聚乙烯拾振单元、压敏电阻；同振球形振子模块主要包括框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、压敏电阻。本发明设计合理，从理论出发，设计一种共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的MEMS三维同振型矢量水听器，与现有技术相比，本发明采用微纳加工技术，实现了三维同振型矢量水听器的微型化。
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公开(公告)号：CN106706108A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201710144005.5
申请日：2017-03-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，包括框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、PZT压电薄膜；所述球形聚乙烯拾振单元固定于环形连接体上，环形连接体通过横梁连接于框型基座的中心处，每根横梁的外侧生长有PZT压电薄膜，PZT压电薄膜下面为下电极，且每根横梁的下电极与其它横梁以及框型基座上的电极相互独立；每个PZT压电薄膜上表面均溅射有相互独立的上电极。本发明是具有共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的同振型球形振子矢量水听器；采用微纳加工技术，实现了球形振子矢量水听器的微型化。并将信号采集模块布置于连接球形振子的四根横梁上，可检测垂直于横梁方向上的声信号分量。
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公开(公告)号：CN210555239U
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201921041680.6
申请日：2019-07-05
Applicant: 中北大学
IPC: B62D57/024
Abstract: 本实用新型的目的在于提供一种停留时能够保持自锁状态的爬杆机器人，其完全利用自身结构实现自锁，不消耗额外能源，且自锁状态不会阻碍爬杆机器人的正常爬升。本实用新型采用的技术方案如下：一种停留自锁爬杆机器人，其包括一个长方形主体框架，两个U型框架，主体框架一侧面的四个角分别固定连接有L型连接件，主体框架上下两端的两个L型连接件之间各安装有轮轴，轮轴两端安装有轮子，两个U型框架的一条开口边分别通过合页与主体框架上下横梁连接在一起，每个U型框架的另一条开口边内侧通过L型连接件安装有轮轴和轮子，两个U型框架远离主体框架的开口边之间连接有电动伸缩杆。
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公开(公告)号：CN206670783U
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201720234569.3
申请日：2017-03-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，包括框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、PZT压电薄膜；所述球形聚乙烯拾振单元固定于环形连接体上，环形连接体通过横梁连接于框型基座的中心处，每根横梁的外侧生长有PZT压电薄膜，PZT压电薄膜下面为下电极，且每根横梁的下电极与其它横梁以及框型基座上的电极相互独立；每个PZT压电薄膜上表面均溅射有相互独立的上电极。本实用新型是具有共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的同振型球形振子矢量水听器；采用微纳加工技术，实现了球形振子矢量水听器的微型化。并将信号采集模块布置于连接球形振子的四根横梁上，可检测垂直于横梁方向上的声信号分量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206670786U
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201720234549.6
申请日：2017-03-10
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本实用新型公开了一种基于压电效应的MEMS三维同振型矢量水听器，包括同振柱体振子模块以及同振球形振子模块，同振柱体振子模块包括第一框型基座、横梁、柱形聚乙烯拾振单元、中心连接体、压电薄膜、上电极以及下电极；柱形聚乙烯拾振单元固定于中心连接体上，中心连接体通过横梁连接在第一框型基座的中心处，且横梁的内外两侧均生长有压电薄膜，压电薄膜的上下两侧的对应位置均溅射有金属作为上电极和下电极；同振球形振子模块包括第二框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、压电薄膜以及上电极、下电极。本实用新型MEMS三维同振型矢量水听器具有体积小、共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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