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公开(公告)号：CN105728304B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201610088359.8
申请日：2012-04-06
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H04R1/00 , B06B1/0292 , B81B2201/0271 , B81B2203/04 , B81C1/00626 , H04R2201/003
Abstract: 本发明涉及机电变换器及其制作方法。该机电变换器包括：衬底；布置在所述衬底上的第一电极；以及振动膜，包括布置在所述第一电极上的薄膜以及布置在所述薄膜上以便与所述第一电极相对的第二电极，在所述第一电极与所述薄膜之间具有间隙。所述第一电极具有6nm RMS或更小的表面粗糙度值。
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公开(公告)号：CN103356231B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201310098290.3
申请日：2013-03-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: G01N29/00 , G01N21/1702 , G01N29/2418
Abstract: 本发明公开了探头和使用该探头的被检体信息获取装置。提供了一种探头，在该探头中声介质通过光反射层上的针孔或刮痕进入到光反射部件的支撑层中的渗透被抑制，溶剂裂缝的发生被抑制，并且因出现在接收表面上的光声波所致的噪声可被抑制。该探头包括：具有至少一个单元的元件，在该单元中，包含被设置为夹有间隙的两个电极中的一个电极的振动膜被可振动地支撑。该探头还包括布置在所述振动膜上的支撑层、和布置在所述支撑层上的光反射层。针对声介质的保护层被形成在所述光反射层上。
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公开(公告)号：CN104427447A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410418443.2
申请日：2014-08-22
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B5/0095 , B06B1/0292 , B81B2201/0271 , B81C1/00182 , H02N1/08
Abstract: 本发明涉及电容变换器及其制造方法。提供一种具有振动膜被支撑以能够振动的结构的电容变换器的制造方法。所述方法包括：在第一电极上形成牺牲层；在牺牲层上形成形成振动膜的至少一部分的层；去除牺牲层，包含形成与牺牲层连通的蚀刻孔；形成用于密封蚀刻孔的密封层；以及，蚀刻密封层的至少一部分。在形成密封层之前，在形成振动膜的至少一部分的层上形成蚀刻停止层。在蚀刻密封层的至少一部分的步骤中，去除密封层，直到到达蚀刻停止层。
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公开(公告)号：CN103356231A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310098290.3
申请日：2013-03-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: G01N29/00 , G01N21/1702 , G01N29/2418
Abstract: 本发明公开了探头和使用该探头的被检体信息获取装置。提供了一种探头，在该探头中声介质通过光反射层上的针孔或刮痕进入到光反射部件的支撑层中的渗透被抑制，溶剂裂缝的发生被抑制，并且因出现在接收表面上的光声波所致的噪声可被抑制。该探头包括：具有至少一个单元的元件，在该单元中，包含被设置为夹有间隙的两个电极中的一个电极的振动膜被可振动地支撑。该探头还包括布置在所述振动膜上的支撑层、和布置在所述支撑层上的光反射层。针对声介质的保护层被形成在所述光反射层上。
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公开(公告)号：CN103037984A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201180037100.6
申请日：2011-07-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: H01L21/185 , B06B1/0292 , B81B3/0021
Abstract: 本发明涉及机电换能器及其制造方法，其中，在形成分割沟槽或膜期间维持基板刚度以防止基板被损坏。所述机电换能器包括分别具有至少一个单元的多个元件。在第一基板上形成绝缘层，并且，在绝缘层中形成间隙（3）。第二基板与具有间隙的绝缘层接合。然后，分割沟槽在第一基板中形成并至少部分地被绝缘部件填充。然后，与绝缘层接合的第二基板的厚度减小以形成膜（10）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104977360B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201510245395.6
申请日：2012-04-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G01N29/24
Abstract: 本发明涉及一种机电变换器和光声装置。本发明提供一种机电变换器，其可防止光入射在接收面上，而不使振动膜的机械特性劣化。所述机电变换器具有至少一个单元(2)，在单元(2)中，振动膜(7)被能振动地支承，振动膜(7)包含两个电极(3)和(8)中的一个电极(8)，所述两个电极(3)和(8)被设置为在其之间插入间隙(5)。所述机电变换器具有形成在振动膜(7)上的、具有与振动膜(7)的声阻抗匹配的声阻抗的应力松弛层(9)，并且具有形成在应力松弛层(9)上的光反射层(6)。
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公开(公告)号：CN105657626A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510849391.9
申请日：2015-11-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G01N29/2406 , B06B1/0292 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R31/006
Abstract: 本发明涉及电容型微加工超声换能器和包含其的被检体信息获取设备。电容型微加工超声换能器包括：被设置为其间具有间隙的第一绝缘膜和第二绝缘膜；分别设置在第一绝缘膜和第二绝缘膜的外表面上的第一电极和第二电极，在第一电极和第二电极之间具有所述间隙；至少一个单元，具有第一电极和第二电极之间的静电电容，所述静电电容随着由第二绝缘膜与第二电极的位移导致的所述间隙的厚度的变化而变化；以及电压施加装置，被配置为向第一电极和第二电极之间施加电压。其中，施加到第一绝缘膜的电场强度与施加到第二绝缘膜的电场强度相比更接近导致电介质击穿的电场强度。
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公开(公告)号：CN103037984B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201180037100.6
申请日：2011-07-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: H01L21/185 , B06B1/0292 , B81B3/0021
Abstract: 本发明涉及机电换能器及其制造方法，其中，在形成分割沟槽或膜期间维持基板刚度以防止基板被损坏。所述机电换能器包括分别具有至少一个单元的多个元件。在第一基板上形成绝缘层，并且，在绝缘层中形成间隙（3）。第二基板与具有间隙的绝缘层接合。然后，分割沟槽在第一基板中形成并至少部分地被绝缘部件填充。然后，与绝缘层接合的第二基板的厚度减小以形成膜（10）。
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公开(公告)号：CN103533492A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310272423.4
申请日：2013-07-02
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H04R23/00 , B06B1/0292 , G01H11/06 , H04R31/00 , Y10T29/49005
Abstract: 本发明涉及电容式转换器。提供一种电容式转换器，该电容式转换器包括包含多个单元的元件，所述多个单元中的每一个包括：第一电极；以及振动膜，该振动膜包括第二电极，第二电极以一间隙与第一电极相对；以及振动膜支持部，该振动膜支持部支持振动膜，以形成所述间隙，其中，所述元件包括第一单元和第二单元，第一单元包括具有第一弹簧常数的振动膜，第二单元包括具有低于第一弹簧常数的第二弹簧常数的振动膜；并且，要在第一单元的第一电极和第二电极之间施加的电压高于要在第二单元的第一电极和第二电极之间施加的电压。
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公开(公告)号：CN103521421A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310273140.1
申请日：2013-07-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: H04R19/013 , B06B1/0292 , G01H11/06 , G01N29/2406 , G01N29/348 , H04R19/005 , H04R23/008 , H04R31/00
Abstract: 本发明公开了电容式换能器、其制造方法和被检体信息获取装置。提供了具有宽频带频率特性的电容式换能器。电容式换能器包括具有多种单元的元件，每个单元包括：第一电极；包括第二电极的振动膜，第二电极通过间隙与第一电极相对；以及支持部，支持振动膜以形成间隙。当从振动膜的法线方向看时，多种单元具有不同的、第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率。多种单元中的第一电极或第二电极电连接在一起。
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