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公开(公告)号：CN1061203C
公开(公告)日：2001-01-24
申请号：CN95196202.7
申请日：1995-10-17
Applicant: 大宇电子株式会社
Inventor： 闵庸基
CPC classification number: B81C1/00214 , B81B2201/032 , B81B2201/042 , B81C1/00174 , B81C2201/0109 , G02B26/0858 , H04N9/30
Abstract: 薄膜致动反射镜阵列，包括：有源矩阵，具有含连接端子和晶体管阵列的基底；致动结构阵列，各致动结构包括第二薄膜电极，下电致位移元件，中间薄膜电极，上电致位移元件和第一薄膜电极，其制法包括：提供有源矩阵并在其顶上形成薄膜待除层；选择地去除薄膜待除层；在其上形成第二薄膜电极层；选择地去除第二薄膜电极层；淀积下电致位移层；形成中间电极层；淀积上电致位移层；形成第一薄膜电极层，将形成的多层结构构形成半成品致动结构阵列；去除薄膜待除层。
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公开(公告)号：CN1226320A
公开(公告)日：1999-08-18
申请号：CN96180412.2
申请日：1996-08-21
Applicant: 大宇电子株式会社
Abstract: 本发明的薄膜致动反射镜(301)的阵列(300)设置有一具有一转换装置(215)的阵列的有源矩阵(210)、一致动机构(200)的阵列和一反射镜(290)的阵列,其中各致动机构(200)从有源矩阵(210)上伸出悬臂,且各转换装置(215)位于在各致动机构(200)伸出悬臂的位置旁边的有源矩阵(210)上。在该阵列中,在该阵列的工作期间,由于各反射镜(290)通过其一凹入部分被连接至致动机构( 200),反射镜(290)保持平整,使得光束的反射更加精确和有效,进而提高了阵列的整体光学效率。而且,由于有源矩阵(210)具有位于各致动机构旁边而非直接其下方的转换装置(215)的阵列,可在阵列制造中的所有的高温处理完成后进行各转换装置(215)和致动机构(200)之间的电连接,从而使所受影响减至最小。
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公开(公告)号：CN1163689A
公开(公告)日：1997-10-29
申请号：CN95196202.7
申请日：1995-10-17
Applicant: 大宇电子株式会社
Inventor： 闵庸基
CPC classification number: B81C1/00214 , B81B2201/032 , B81B2201/042 , B81C1/00174 , B81C2201/0109 , G02B26/0858 , H04N9/30
Abstract: 薄膜致动反射镜阵列，包括：有源矩阵，具有含连接端子和晶体管阵列的基底；致动结构阵列，各致动结构包括第二薄膜电极，下电致位移元件，中间薄膜电极，上电致位移元件和第一薄膜电极，其制法包括：提供有源矩阵并在其顶上形成薄膜待除层；选择地去除薄膜待除层；在其上形成第二薄膜电极层；选择地去除第二薄膜电极层；淀积下电致位移层；形成中间电极层；淀积上电致位移层；形成第一薄膜电极层，将形成的多层结构构形成半成品致动结构阵列；去除薄膜待除层。
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公开(公告)号：CN1135610A
公开(公告)日：1996-11-13
申请号：CN95120413.0
申请日：1995-12-19
Applicant: 大宇电子株式会社
IPC: G02F1/00
CPC classification number: G02B26/0858 , Y10S359/90 , Y10S359/904
Abstract: 制造薄膜可驱动反射镜阵列的方法包括：提供有源矩阵；形成薄膜待除层；制出带尖角的空槽阵列；磨掉尖角；形成支持元件；沉淀弹性层；形成导线管；形成第二薄膜层；沉淀薄膜电致位移层；成型薄膜电致位移元件和第二薄膜电极阵列；沉淀绝缘层；成型绝缘和弹性元件阵列；去除薄膜待除层，从而提供驱动空间；形成阻光层，阻光材料也填充在驱动空间内；去除形成在各薄膜电致位移元件顶上的阻光层和绝缘元件；以及形成第一薄膜电极。
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公开(公告)号：CN1135276A
公开(公告)日：1996-11-06
申请号：CN94194178.7
申请日：1994-11-15
Applicant: 大宇电子株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , H04N5/7458 , H04N9/30 , Y10S359/904
Abstract: 一种用于光学投影系统中的M×N薄膜致动反射镜阵列，包括一有源矩阵，一M×N薄膜致动机构阵列，各薄膜致动机构具有第一及第二致动部分(62a，62b)，各第一及第二致动部分包括至少一运动感应材料的薄膜层(67)、一对电极(70、71)，各电极位于运动感应薄膜层的顶及底上，一M×N支持元件(56)阵列，各支持元件(56)用于将各致动机构固定就位，从各致动机构上伸出悬臂，并使各致动机构与有源矩阵电连接，一反射光束的M×N反射镜层阵列，各反射镜层还包括一第一侧，一第二相对侧及该两侧之间的中间部分，其中各反射镜层的第一侧及第二相对侧分别固定在各致动机构的第一及第二致动部分(62a，62b)的顶上，以使当各致动机构中的第一及第二致动部分(62a，62b)响应施加在第一及第二电极(70，71)之间一电信号而发生变形时，相应反射镜层的中央部分发生倾斜但仍保持为平的，从而使所有的中央部分反射光束，提高了光效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1082770C
公开(公告)日：2002-04-10
申请号：CN96193409.3
申请日：1996-03-07
Applicant: 大宇电子株式会社
Inventor： 闵庸基
CPC classification number: G02B26/0858 , Y10S359/904
Abstract: 本发明的一种M×N薄膜致动反射镜反射镜阵列包括有源矩阵、绝缘层、蚀刻停止层和M×N致动结构阵列每个致动结构在其远端有一尖端，且有横穿其结构的蚀刻口，还包括一个带水平条的第一薄膜电极、一个薄膜电致位移单元、一个第二薄膜电极、一个弹性单元和一个导体。形成水平条、尖端和蚀刻口分别是为增加各个薄膜致动反射镜的光学效率，促进去除清洗剂和使薄膜待除层容易去除。
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公开(公告)号：CN1070330C
公开(公告)日：2001-08-29
申请号：CN95196838.6
申请日：1995-11-22
Applicant: 大宇电子株式会社
Inventor： 闵庸基
CPC classification number: G02B26/0858 , Y10S359/904
Abstract: 一种在光学投影系统中使用的M×N薄膜致动反射镜阵列及其制造方法，所述阵列包括：一有源矩阵，包括一具有M×N连接端子阵列及一M×N晶体管阵列的基底以及一M×N致动机构的阵列，其中每一个致动机构均为双层结构，各致动机构均具有一致动部分及一反光部分，致动部分包括一第一薄膜电极的前部、一个上部电致位移件、一个中间电极、一个下部电致位移件和一个第二薄膜电极的前部；反光部分包括第一和第二薄膜电极的剩余部分；构成所述电致位移件的材料的特性在于：晶体不对称，显示无磁滞回线，并可以在摄氏200-300度间形成。
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公开(公告)号：CN1065966C
公开(公告)日：2001-05-16
申请号：CN95104754.X
申请日：1995-04-28
Applicant: 大宇电子株式会社
Inventor： 闵庸基
CPC classification number: G02B26/0858
Abstract: 用在光学投影系统中的M×N薄膜驱动反射镜阵列，包括有源矩阵、M×N个支承件阵列及M×N个薄膜驱动结构阵列。各驱动结构包含第一层、电致位移层、第二层及弹性层，其中第一与第二层置于电致位移层的顶面与底面上，弹性层置于第二层的底部。将第一层分成近端与远端。在各驱动反射镜中，第一层的近端连接在导线图案上作为偏压电极工作，第二层通过位于各支承件中的导管电连接在晶体管之一上作为信号电极工作。第一层的远端作为反射光束的反射镜工作。
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公开(公告)号：CN1191986A
公开(公告)日：1998-09-02
申请号：CN97120699.6
申请日：1997-09-30
Applicant: 大宇电子株式会社
Inventor： 闵庸基
CPC classification number: G02B26/0833
Abstract: 一种薄膜型AMA,它具有带布线电路和连接端头的基片;在其上的执行机构;用以支撑执行机构的支撑件;在执行机构上的反射部件;和用于支撑反射部件的多个支柱。反射部件受到执行机构上的第一支柱和对应地于邻近执行机构上的第二支柱和第三支柱的支承。从而可防止反射部件向下偏转或倾斜,使反射部件的倾角一致。另外,由于第一与第二支柱之间,或第一与第三支柱之间的反射部件长度较短,所以反射部件的倾角较大。
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公开(公告)号：CN1164663A
公开(公告)日：1997-11-12
申请号：CN96106433.1
申请日：1996-07-31
Applicant: 大宇电子株式会社
Inventor： 闵庸基
IPC: G02F1/01
CPC classification number: G02B26/0858
Abstract: 一种用于使一薄膜致动反射镜中一有源矩阵上的一薄膜电极与一连接端子电连接的方法，包括有以下步骤：在该有源矩阵的顶上形成一具有一空腔的薄膜待除层，其中该空腔围绕该连接端子；在包括该空腔的薄膜待除层的顶上形成一弹性层；在该弹性层上形成一孔，该孔暴露出该连接端并具有内表面；在包括该孔的内表面的该弹性层顶上形成该薄膜电极，从而在该薄膜电极与该连接端之间形成电连接；并用绝缘材料填充该孔。该绝缘材料防止各薄膜致动反射镜中的薄膜电极相互之间发生电接触，从而防止其间发生短路。
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