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    銅含有膜形成方法
    11.
    发明申请
    銅含有膜形成方法 审中-公开
    形成含铜薄膜的方法

    公开(公告)号：WO2006035784A1

    公开(公告)日：2006-04-06

    申请号：PCT/JP2005/017772

    申请日：2005-09-27

    Applicant: 株式会社アルバック ,  宇部興産株式会社 ,  渡部 幹雄 ,  座間 秀昭 ,  角田 巧 ,  長谷川 千尋 ,  綿貫 耕平

    Inventor： 渡部 幹雄 ,  座間 秀昭 ,  角田 巧 ,  長谷川 千尋 ,  綿貫 耕平

    IPC: C23C16/18 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/285 ,  C07F7/18

    CPC classification number: H01L21/28556 ,  C23C16/18 ,  H01L21/76841

    Abstract: [PROBLEMS] To provide a process for forming low-resistance copper-containing film at low temperature by CVD method. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A copper-containing film is formed by CVD method on a barrier layer made from an organometallic raw material gas and a reducing gas by the use of a copper complex represented by the general formula (I) which has a ß-diketonato ligand represented by the general formula (I)': (I)' (I-I) (I) wherein Z is hydrogen or alkyl of 1 to 4 carbon atoms; X is a group represented by the general formula (I-I) (wherein R

    Abstract translation: [问题]提供通过CVD法在低温下形成低电阻含铜膜的工艺。 解决问题的手段通过使用由通式（I）表示的铜络合物的有机金属原料气体和还原气体制成的阻挡层，通过CVD法形成含铜膜，该铜络合物具有ß （I）'（II）（I）表示的由通式（I）'表示的二酮配位体：其中Z为氢或1至4个碳原子的烷基; X是由通式（I-I）表示的基团（其中R

    ポリカーボネートポリオール及びポリウレタン樹脂形成用組成物
    12.
    发明专利
    ポリカーボネートポリオール及びポリウレタン樹脂形成用組成物 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020084163A

    公开(公告)日：2020-06-04

    申请号：JP2018225987

    申请日：2018-11-30

    Applicant: 宇部興産株式会社

    Inventor： 長谷川 千尋 ,  赤尾 清隆

    IPC: C08G18/44 ,  C09D175/04 ,  C09D175/06 ,  C09J175/04 ,  C09J175/06 ,  C08G64/42

    Abstract: 【課題】ポリウレタン樹脂の耐薬品性及び耐水性を向上させる、ポリカーボネートポリオールを提供する。 【解決手段】一般式(1)で示されるポリカーボネートジオール(A)と、一般式(2)及び一般式(3)からなる群から少なくとも1種で示される数平均分子量が200以上のカーボネート結合を有しないポリオール(B)と、を反応させて得られる平均水酸基数が2を超えるポリカーボネートポリオールである。 (一般式(1)中、R 1 はそれぞれ独立にエステル構造及びエーテル構造からなる群から選ばれる少なくとも1種を含んでいてもよい炭化水素構造を表し、nは1〜45であり、一般式(2)中、R 2 はそれぞれ独立にエステル構造及びエーテル構造からなる群から選ばれる少なくとも1種を含んでいてもよい炭化水素構造を表し、一般式(3)中、R 2 は一般式(2)と同様であり、R 3 は水素または炭化水素基である。) 【選択図】なし

    固体有機金属化合物の製造方法及び製造装置
    14.
    发明专利
    固体有機金属化合物の製造方法及び製造装置 审中-公开
    生产固体有机金属化合物的方法及其生产装置

    公开(公告)号：JP2016145170A

    公开(公告)日：2016-08-12

    申请号：JP2015022866

    申请日：2015-02-09

    Applicant: 宇部興産株式会社

    Inventor： 白井 昌志 ,  長谷川 千尋

    IPC: C07F5/00

    Abstract: 【課題】固体有機金属化合物を高純度かつ高い収率で製造し得る方法及び製造装置を提供する。 【解決手段】常温で固体である固体有機金属化合物の製造方法であって、前記固体有機金属化合物を含む原料を用意する工程と、前記原料を昇華させ、発生したガスの初流分を除去する第1の昇華工程と、前記原料の昇華ガスのうち、前記初流分が除去された残りのガスを容器内において固化させる第1の固化工程と、を備える、固体有機金属化合物の製造方法。及び、固体有機金属化合物を製造するための装置。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题：提供能够以高产率生产高纯度的固体有机金属化合物的方法和制备装置。解决方案：提供一种在常温下为固体的固体有机金属化合物的制备方法，包括 ：制备包含固体有机金属化合物的原料的步骤; 第一升华步骤，其中原料升华以除去产生的气体的初始流动分量; 以及第一凝固步骤，其中在所述原料的升华气体中，已经从其中除去初始流动成分的剩余气体在容器中固化。 还提供了一种用于生产固体有机金属化合物的装置。选择的图：图1

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