公开(公告)号：CN102655109A

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN201210051949.5

申请日：2012-03-01

Applicant: 富士机械制造株式会社

Inventor： 岩城范明 ,  滨根刚 ,  森一明

IPC: H01L21/683 ,  H01L23/00

CPC classification number: H01L24/75

Abstract: 在裸片拾取装置中，确保稳定的片剥离性能，通过吸嘴(30)的衬垫(30a)吸附保持切割片(29)上的裸片(21)，且从该裸片(21)的粘贴部分的近前侧使剥离台(18)向该裸片(21)的粘贴部分的正下方滑动，从而逐渐片剥离该裸片(21)的粘贴部分后，使吸嘴(30)上升，拾取裸片(21)，吸嘴(30)的衬垫(30a)的吸附面部由多孔质部件或多孔状部件形成，使孔的面积相对片剥离开始侧的吸附面的比(气孔率)、大于孔的面积相对片剥离结束侧的吸附面的比地构成，这样一来，可使吸嘴(30)的衬垫(30a)的片剥离开始侧的吸附力相对较大，可确保稳定的片剥离性能。

公开(公告)号：CN202736902U

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN201220231114.3

申请日：2012-05-22

Applicant: 富士机械制造株式会社

Inventor： 岩城范明 ,  滨根刚

IPC: H01L21/683 ,  B65G47/91 ,  H01L21/677

Abstract: 本实用新型提供一种能够迅速地进行裸片的取出作业的裸片供给装置。裸片供给装置（1）具备：负压管线（2）；大气压管线（3）；能够对负压管线（2）和大气压管线（3）进行切换的阀（4）；吸附台（5），具有：吸附孔（53），其与阀（4）连通，通过负压管线（2）的负压对切割膜（91）中的在表面贴附有作为取出对象的裸片（93）的区域（C 1）的背面进行吸附；和销（54），其在区域（C1）被吸附的状态下使区域（C1）的一部分（C2）向表面侧突出，将裸片（93）从切割膜（91）剥离并使裸片（93）突出，直至达到由吸嘴（95）取出裸片（93）的位置；及共用的驱动部（6），使阀（4）的切换动作与销（54）的进退动作以规定的时序进行联动。

公开(公告)号：CN202841831U

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201220075782.1

申请日：2012-03-02

Applicant: 富士机械制造株式会社

Inventor： 岩城范明 ,  滨根刚

IPC: H05K13/04 ,  H05K3/30

CPC classification number: H01L24/75

Abstract: 在通过1台部件安装机执行从切割片剥离裸片并拾取的工序、及将裸片安装到电路基板的工序的装置中，提高生产性，在部件安装机的基台(11)上设置：将电路基板(12)沿X方向搬运的输送机(13)；晶圆托板安装台(15)，用于可更换地设置晶圆托板；裸片移载台(32)，可放置多个从晶圆托板的切割片剥离的裸片；2台X-Y机械手(22、23)，在2台X-Y机械手(22、23)上分别安装作业头(28、29)，通过一个作业头(28)反复进行拾取晶圆托板的切割片上的裸片并放置到裸片移载台(32)的动作，并且通过另一个作业头(29)拾取裸片移载台(32)上的裸片安装到电路基板(12)上。

公开(公告)号：CN202558261U

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN201220050767.1

申请日：2012-02-16

Applicant: 富士机械制造株式会社

Inventor： 岩城范明 ,  滨根刚

IPC: B65G47/90

Abstract: 本实用新型提供一种拾取粘贴到切割片上的裸片的裸片拾取装置，使每个裸片的片剥离所需的时间变短，缩短节拍时间。剥离台(18)的片吸引孔(40)以跨过该多个裸片(21)的粘贴部分的方式形成以能够同时吸引多个裸片(21)的粘贴部分。在吸附嘴(30)的下端部设置垫部(30a)，该垫部(30a)的尺寸与同时拾取的多个裸片(21)的总尺寸基本相同或比其略小。通过吸附嘴(30)的垫部(30a)吸附保持切割片上的多个裸片(21)，同时使剥离台(18)从该多个裸片(21)的粘贴部分的近前侧向该多个裸片(21)的粘贴部分的正下方滑动，从而通过片吸引孔(40)对该多个裸片(21)的粘贴部分逐渐进行片剥离后，通过吸附嘴(30)同时拾取多个裸片(21)。

公开(公告)号：CN202816896U

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201220045758.3

申请日：2012-02-13

Applicant: 富士机械制造株式会社

Inventor： 岩城范明 ,  滨根刚

IPC: H01L21/683

Abstract: 本实用新型提供一种裸片拾取装置，其能够使粘贴到切割片上的裸片的片剥离所需的时间变短而缩短节拍时间。剥离台(18)的片吸引孔(40)由以下构成：第1吸引孔(41)，对本次要拾取的裸片(21)的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片(21)；第2吸引孔(42)，对下一要拾取的裸片(21)的粘贴部分的一部分预备性地进行片剥离，每当通过吸附嘴(30)拾取片剥离后的裸片(21)时，使剥离台(18)向下一要拾取的裸片(21)的粘贴部分的近前侧移动，使该剥离台(18)滑动至该裸片(21)的粘贴部分的正下方而通过第1吸引孔(41)对该裸片(21)的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片(21)，并且通过第2吸引孔(42)对该裸片(21)之后要拾取的裸片(21)的粘贴部分的一部分预备性地进行片剥离。

公开(公告)号：CN202713892U

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201220215876.4

申请日：2012-05-14

Applicant: 富士机械制造株式会社

Inventor： 岩城范明 ,  滨根刚

IPC: H05K13/04

Abstract: 本实用新型课题在于提供一种能够提高工件与电子零件的平行度的电子零件安装机。电子零件安装机（1）具备：支撑部（351f），从下侧支承工件（Bf、Br）中的安装电子零件（P）的安装区域（A）；吸嘴（37），配置在安装区域（A）的上方，并将电子零件（P）向安装区域（A）安装；倾动部（352f），使支撑部（351f）及吸嘴（37）中的至少一方倾动，以在将电子零件（P）向安装区域（A）安装时使安装区域（A）的上表面与电子零件（P）的下表面大致平行地一致。