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公开(公告)号：CN116793267A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310270895.X
申请日：2023-03-20
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/30
Abstract: 提供能减少测量时间的表面形状的测量方法和表面形状测量装置。在测量方法中，针对N个堆叠图像中的共同位置，根据通过对由指示干涉光强度沿Z轴方向的变化的N个点的值构成的干涉信号的平方值或绝对值进行积分而获得的、由N个点的值构成的积分曲线来确定：起点侧噪声部直线，其近似起点侧噪声部，起点侧噪声部位于测量对象表面的起点侧并且对应于斜率小于测量对象表面附近的斜率的范围；终点侧噪声部直线，其近似终点侧噪声部，终点侧噪声部位于所述测量对象表面的终点侧并且对应于斜率小于测量对象表面附近的斜率的范围；以及表面邻近直线，其近似与测量对象表面附近相对应的表面邻近部。
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公开(公告)号：CN116793266A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310270893.0
申请日：2023-03-20
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/30
Abstract: 提供了能够减少测量时间的表面形状的测量方法和表面形状测量装置。表面形状的测量方法使用用于获取由参考光和测量光之间的光路差生成的干涉条纹图像的干涉仪光学头，通过使干涉仪光学头针对测量对象表面在沿干涉仪光学头的光轴的Z轴方向上从起点到终点进行扫描来获取N个干涉条纹图像，并且基于干涉条纹图像来对测量对象表面的表面形状进行测量。在该测量方法中，针对N个干涉条纹图像中的共同位置，关于由指示沿Z轴方向的干涉光强度的变化的N个点的值构成的干涉信号，来确定由预定分析波长的光产生的干涉条纹的相位，并且基于该相位来确定分析波长的范围内的测量对象表面在Z轴方向上的相对位置。
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公开(公告)号：CN112781625A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011228985.5
申请日：2020-11-06
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 加藤庆显
IPC: G01D5/12
Abstract: 提供一种即使标尺图案的图案被划伤也能够保持测量精度的标尺。标尺(2)包括标尺图案(4)，标尺图案(4)在其表面上具有沿着测量方向以预定间距设置的多个单元图案。多个单元图案中的至少一个包括由环形导体形成的多个环形部分(8)。包括在单元图案中的多个环形部分(8)被布置成彼此隔开，使得环形部分(8)的重心在标尺(2)的表面上在测量方向上处于相同的位置。因此，包括在单元图案中的多个环形部分(8)可以防止磁通量分布的重心在测量方向上的偏移，即使多个环形部分(8)中的任何一个被划伤。因此，标尺(2)可以保持测量精度。
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公开(公告)号：CN107044861B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201710064164.4
申请日：2017-02-04
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 加藤庆显
Abstract: 光电式编码器(1)具备标尺(2)和检测头(3)，该检测头(3)具有发光部(4)、索引(5)以及检测部(6)。索引(5)具备：第一索引部(50)，其由沿标尺2的长边方向以规定间距交替地并列设置的衍射部与非衍射部构成；以及第二索引部(51)，其由以第一索引部(50)的两倍的间距交替地并列设置的衍射部与非衍射部构成。标尺(2)包含第一图案部(20)和第二图案部(21)而构成，该第一图案部(20)由沿标尺(2)的长边方向以规定间距交替地并列设置的衍射部与非衍射部构成，该第二图案部(21)由配置成方格状的衍射部与非衍射部构成。
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公开(公告)号：CN111750909A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010227255.7
申请日：2020-03-27
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 加藤庆显
IPC: G01D5/347
Abstract: 一种光编码器，包括：标尺；头部，其包括光源、图像捕获器和具有第一透镜和第二透镜的透镜阵列；和计算器。该计算器包括：信号生成器，其生成正弦波信号；分析区域提取器，其提取第一分析区域和第二分析区域；信号组合器，其基于区域间距离，使用第二分析区域的正弦波信号来生成延伸到第一分析区域的第一端的正弦波信号，使得生成的正弦波信号与第一分析区域的正弦波信号重叠，并且将第一分析区域的正弦波信号与该生成的正弦波信号进行组合；以及位移量计算器，其基于由信号组合器组合的正弦波信号来计算相对位移量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110672136A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201910559152.8
申请日：2019-06-26
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 加藤庆显
Abstract: 提供一种用于光电编码器的信号处理方法，其能够通过设置适当的阈值来正确地确定具有失真的光强度分布的亮/暗图案的亮部和暗部。检测器单元包括光源，接收来自标尺的透射光以获取亮/暗图像的光接收检测器，以及布置在光源和光接收检测器之间的透镜。检测器单元将由光接收检测器获取的亮/暗图像分类为对应于透镜的中心区域的图像形成区域和对应于除透镜的中心区域之外的区域的非图像形成区域，计算反映图像形成区域的光强度的代表值，并获得预处理的亮/暗图像，其中用代表值替换非图像形成区域的光强度。
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公开(公告)号：CN105806372A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610041774.8
申请日：2016-01-21
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 加藤庆显
Abstract: 本发明涉及一种编码器。在标尺中，形成有参考检测图案和位移检测图案。检测头输出参考检测信号、相位补偿信号和位移检测信号。信号处理单元通过对相位补偿信号和参考检测信号其中之一或这两者进行放大并进行相加来生成参考信号，并且检测检测头相对于标尺的位置。复合受光光栅包括参考检测用受光光栅和被配置成相对于参考检测用受光光栅在测量方向上发生偏移的相位补偿用受光光栅。复合受光元件包括被配置为输出参考检测信号的参考检测用受光元件和被配置为输出相位补偿信号的相位补偿用受光元件。
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公开(公告)号：CN102967321B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201210322653.2
申请日：2012-09-03
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 加藤庆显
IPC: G01D5/34
CPC classification number: G01D5/347 , G01D5/34776 , G01D5/34792
Abstract: 提供一种绝对位置测量型编码器。在具有合并了绝对图案(12A)和增量图案(12B)的ABS/INC合并图案(12C)的绝对位置测量型编码器中，具备：摄像光学系统(透镜14)，其设计成使源于上述绝对图案(12A)的明暗信号和源于上述增量图案(12B)的明暗信号之间产生幅值差；以及信号处理系统(比较器20)，其使用上述幅值差将源于上述ABS/INC合并图案(12C)的受光信号分离成绝对图案信号和增量图案信号。由此，能够使用简单的处理电路高速地从ABS/INC合并图案分离出绝对图案信号和增量图案信号。
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公开(公告)号：CN111795713B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202010227261.2
申请日：2020-03-27
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 加藤庆显
IPC: G01D5/347
Abstract: 光编码器的标尺中的标尺图案包括第一标尺标记和第二标尺标记，第一标尺标记阻挡第一光被引导到图像捕获器并且将第二光引导到图像捕获器，第二标尺标记将第一光和第二光引导到图像捕获器。第二标尺标记被布置成ABS图案，并且第一标尺标记通过结合第二标尺标记被布置成INC图案。图像捕获器包括：从经由第二标尺标记到达的第一光捕获ABS图案的图像的第一图像捕获部；以及从经由第一标尺标记和第二标尺标记到达的第二光捕获INC图案的图像的第二图像捕获部。计算器计算头部相对于标尺的位置。
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公开(公告)号：CN112781625B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202011228985.5
申请日：2020-11-06
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 加藤庆显
IPC: G01D5/12
Abstract: 提供一种即使标尺图案的图案被划伤也能够保持测量精度的标尺。标尺(2)包括标尺图案(4)，标尺图案(4)在其表面上具有沿着测量方向以预定间距设置的多个单元图案。多个单元图案中的至少一个包括由环形导体形成的多个环形部分(8)。包括在单元图案中的多个环形部分(8)被布置成彼此隔开，使得环形部分(8)的重心在标尺(2)的表面上在测量方向上处于相同的位置。因此，包括在单元图案中的多个环形部分(8)可以防止磁通量分布的重心在测量方向上的偏移，即使多个环形部分(8)中的任何一个被划伤。因此，标尺(2)可以保持测量精度。
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