公开(公告)号：CN116793267A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202310270895.X

申请日：2023-03-20

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 森裕美子 ,  加藤庆显

IPC: G01B11/30

Abstract: 提供能减少测量时间的表面形状的测量方法和表面形状测量装置。在测量方法中，针对N个堆叠图像中的共同位置，根据通过对由指示干涉光强度沿Z轴方向的变化的N个点的值构成的干涉信号的平方值或绝对值进行积分而获得的、由N个点的值构成的积分曲线来确定：起点侧噪声部直线，其近似起点侧噪声部，起点侧噪声部位于测量对象表面的起点侧并且对应于斜率小于测量对象表面附近的斜率的范围；终点侧噪声部直线，其近似终点侧噪声部，终点侧噪声部位于所述测量对象表面的终点侧并且对应于斜率小于测量对象表面附近的斜率的范围；以及表面邻近直线，其近似与测量对象表面附近相对应的表面邻近部。

公开(公告)号：CN116793266A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202310270893.0

申请日：2023-03-20

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 森裕美子 ,  加藤庆显

IPC: G01B11/30

Abstract: 提供了能够减少测量时间的表面形状的测量方法和表面形状测量装置。表面形状的测量方法使用用于获取由参考光和测量光之间的光路差生成的干涉条纹图像的干涉仪光学头，通过使干涉仪光学头针对测量对象表面在沿干涉仪光学头的光轴的Z轴方向上从起点到终点进行扫描来获取N个干涉条纹图像，并且基于干涉条纹图像来对测量对象表面的表面形状进行测量。在该测量方法中，针对N个干涉条纹图像中的共同位置，关于由指示沿Z轴方向的干涉光强度的变化的N个点的值构成的干涉信号，来确定由预定分析波长的光产生的干涉条纹的相位，并且基于该相位来确定分析波长的范围内的测量对象表面在Z轴方向上的相对位置。