基准信号发生装置和基准信号发生系统

    公开(公告)号:CN104236606A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201410360863.X

    申请日:2014-05-16

    Inventor: 木村彰秀

    CPC classification number: G01D5/347 G01D5/24438 G01D5/366 G01D5/38

    Abstract: 基准点检测光接收单元通过第一到第五光接收元件从基准点检测图案接收光。该第一到第五光接收元件布置在第一方向上并分别地输出第一到第五信号。基准信号发生电路输出一基准信号,该基准信号在其中通过将第一与第二信号相加而得到的信号的电平与通过将第三与第四信号相加而得到的信号的电平变为相等的周期处开始,以及在通过将该第二与第三信号相加而得到的信号与通过将该第四与第五信号相加而得到的信号的电平变为相等的周期处结束。

    位移检测装置、标尺校准方法和标尺校准程序

    公开(公告)号:CN103075965A

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN201210413781.8

    申请日:2012-10-25

    Inventor: 木村彰秀

    CPC classification number: G01D5/24495 G01D5/24452

    Abstract: 本发明涉及一种位移检测装置、标尺校准方法和标尺校准程序,所述位移检测装置包括:标尺,其具有光学格子;检测单元,其被配置为能够在扫描方向上相对于所述标尺移动,所述检测单元至少包括设置在所述扫描方向上以根据所述光学格子检测位置信息的第一检测部、第二检测部和第三检测部;以及计算部,用于通过基于所述检测单元所检测到的位置信息来确定所述检测部的位置并计算测量误差,来获得针对所述标尺的刻度的自校准曲线;其中,所述检测单元被设置为,所述第一检测部和所述第二检测部之间的距离与所述第二检测部和所述第三检测部之间的距离互不相同并且不形成整数倍的关系。

    编码器
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115707934B

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202210997391.3

    申请日:2022-08-19

    Abstract: 提供了一种编码器,即使标尺通过绕与接收表面正交的轴线旋转而相对于接收单元以倾斜方式设置,也能抑制精度劣化。编码器1包括标尺2和检测头3。检测头3包括光源(发射单元)4和光接收单元(接收单元)5。光接收单元包括光接收表面50,将在光接收表面50处接收的光转换成具有两个相位的差分检测信号并输出。光接收表面50包括元件阵列组7,其包括沿正交方向以平行方式设置的四个元件阵列71‑74,每个阵列包括多个光接收元件(接收元件)500。元件阵列组7中的多个元件阵列71‑74布置在(i)在正交方向上从参考位置到正相位信号元件阵列71、72的距离和(ii)在正交方向上从参考位置到负相位信号元件阵列73、74的距离之和对于至少两相位的所有相位都相同的位置处。

    编码器
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115707934A

    公开(公告)日:2023-02-21

    申请号:CN202210997391.3

    申请日:2022-08-19

    Abstract: 提供了一种编码器,即使标尺通过绕与接收表面正交的轴线旋转而相对于接收单元以倾斜方式设置,也能抑制精度劣化。编码器1包括标尺2和检测头3。检测头3包括光源(发射单元)4和光接收单元(接收单元)5。光接收单元包括光接收表面50,将在光接收表面50处接收的光转换成具有两个相位的差分检测信号并输出。光接收表面50包括元件阵列组7,其包括沿正交方向以平行方式设置的四个元件阵列71‑74,每个阵列包括多个光接收元件(接收元件)500。元件阵列组7中的多个元件阵列71‑74布置在(i)在正交方向上从参考位置到正相位信号元件阵列71、72的距离和(ii)在正交方向上从参考位置到负相位信号元件阵列73、74的距离之和对于至少两相位的所有相位都相同的位置处。

    用于提供位移信号的抗污染和缺陷光学编码器配置

    公开(公告)号:CN109211288B

    公开(公告)日:2021-01-12

    申请号:CN201810694981.2

    申请日:2018-06-29

    Abstract: 一种光学编码器配置包括照明部分、标尺和光电检测器配置。照明部分将源光传输至将周期性标尺光图案输出至光电检测器配置的标尺。光电检测器配置包括沿着横向于测量轴的方向以空间相位序列布置的N个空间相位检测器的集合,并且空间相位序列包括在沿着横向于测量轴的方向的序列的开始和结束处的两个外部空间相位检测器。至少大部分的各个空间相位检测器沿着测量轴方向相对伸长并且沿着垂直于测量轴方向的方向相对较窄,并且包括对应于该空间相位检测器相对于周期性标尺光图案的各个空间相位被定位的标尺光接收器区域,并且被配置为提供各个空间相位检测器信号。

    光学编码器
    16.
    发明公开
    光学编码器 审中-公开

    公开(公告)号:CN112013887A

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN202010472441.7

    申请日:2020-05-29

    Inventor: 木村彰秀

    Abstract: 本发明提供了一种光学编码器,其包括标尺、相对于标尺移动的头部、以及基于相对移动来进行计算的计算单元。头部包括光源和具有光接收面的接收单元。标尺包括标尺面上的台阶部。台阶部在光接收面上产生具有对比度图案的干涉光,并在对比度图案中产生具有最高对比度的最暗部。光源在相对于与标尺面垂直的方向倾斜的方向上用光照射台阶部。计算单元包括原点计算单元,该原点计算单元从对比度图案中识别最暗部、并计算所识别出的最暗部作为原点位置,该原点位置是标尺和头部之间的相对移动的基准。

    光学传感器
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111256585A

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN201911218621.6

    申请日:2019-12-03

    Inventor: 木村彰秀

    Abstract: 提供一种精度类似于使用角隅棱镜的情况的光学传感器,其中使用比角隅棱镜更便宜的光学组件作为测量目标。光学传感器1包括光源2、分割单元6、回射由分割单元6分割的第一光和第二光的回射单元4、组合单元7、光接收单元5和计算单元8。回射单元4包括:第一回射镜4a,通过对第一光执行两次反射在第一光的入射方向的相反方向上平行地回射第一光;第二回射镜4b,通过对第二光执行两次反射在第二光的入射方向的相反方向上平行地回射第二光;以及第三回射镜4c,将从第一回射镜4a发射的第一光回射到第一回射镜4a,并将从第二回射镜4b发射的第二光回射到第二回射镜4b。

    光学编码器
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105547338B

    公开(公告)日:2020-03-03

    申请号:CN201510695498.2

    申请日:2015-10-23

    Inventor: 木村彰秀

    Abstract: 一种光学编码器(10),包括:光源(11);分割器(12),用于对来自光源(11)的光进行分割;受光单元(16);标尺(13),其配置在光路上并且沿测量方向能够移动,其中在该标尺的主面上配置光栅;以及偏移衍射光栅(14),其包括配置在从分割器(12)到受光单元(16)的光路中的多个衍射光栅,其中这多个衍射光栅使分割后的光以不同的相位发生衍射,其中,偏移衍射光栅(14)中的多个衍射光栅(13)配置在与标尺的主面平行的一面中,并且在与测量方向垂直的偏移方向上彼此偏移,以及受光单元(16)包括沿偏移方向配置的多个受光元件(16‑11~16‑23)。

    光学位移传感器
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113532279B

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202110399883.8

    申请日:2021-04-14

    Inventor: 木村彰秀

    Abstract: 提供一种光学位移传感器,该光学位移传感器能够以高精度检测待测量对象的位移量,同时使得辐射到光接收单元中的复合光中的重叠量稳定。光学位移传感器(1)包括:分割单元(20),其将从光源(3)辐射的光分割为第一光线和第二光线;以及折返反射单元,其将已经穿过反射单元(5)的光折返并反射至反射单元(5)。光学位移传感器的特征在于,反射单元(5)将由分割单元(20)分割并已经穿过衍射单元(2)的第一光线和第二光线从第一反射部分(51)反射到第二反射部分(52),并且将由折返反射单元(6)反射的第一光线和第二光线从第二反射部分(52)反射至第一反射部分(51)。

    光学位移传感器
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113532279A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202110399883.8

    申请日:2021-04-14

    Inventor: 木村彰秀

    Abstract: 提供一种光学位移传感器,该光学位移传感器能够以高精度检测待测量对象的位移量,同时使得辐射到光接收单元中的复合光中的重叠量稳定。光学位移传感器(1)包括:分割单元(20),其将从光源(3)辐射的光分割为第一光线和第二光线;以及折返反射单元,其将已经穿过反射单元(5)的光折返并反射至反射单元(5)。光学位移传感器的特征在于,反射单元(5)将由分割单元(20)分割并已经穿过衍射单元(2)的第一光线和第二光线从第一反射部分(51)反射到第二反射部分(52),并且将由折返反射单元(6)反射的第一光线和第二光线从第二反射部分(52)反射至第一反射部分(51)。

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