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公开(公告)号：CN107367817A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201710304253.1
申请日：2017-05-03
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： R.K.布里尔
Abstract: 一种用于确定成像的表面的表面Z高度测量的可变焦距(VFL)透镜系统。所述系统的控制器配置为控制VFL透镜(例如，可调谐声学梯度折射率透镜)以周期性地调制其光功率，从而以第一操作频率周期性地调制聚焦位置，其中周期性调制的VFL透镜光功率定义第一周期性调制相位。相位定时信号与该控制器中的具有第一操作频率以及具有第二周期性调制相位的周期信号同步，所述第二周期性调制相位相对于第一周期性调制相位具有相位偏移。相位偏移补偿部分配置为执行相位偏移补偿处理，其提供Z高度测量，其中至少部分地消除与相位偏移贡献相关的Z高度误差或Z高度变化中的至少一个。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109995996B
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201811570084.7
申请日：2018-12-21
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及包括聚焦状态参考子系统的可变焦距透镜系统。一种包括聚焦状态参考对象(FSRO)和参考对象光学器件(ROO)的聚焦状态参考子系统用于在可变焦距(VFL)透镜系统中使用，该系统包括VFL透镜，调节其光功率的控制器，以及沿包括物镜和VFL透镜的成像路径定位的摄像头。ROO沿着成像路径的一部分传输来自FSRO的图像光通过VFL透镜到摄像头。FSRO的相应的FS参考区域(FSRR)包括相对于ROO固定在相应的焦点位置处的对比度图案。包括特定FSRR的最佳聚焦图像的摄像头图像定义与该FSRR相关联的最佳聚焦参考状态，其中该最佳聚焦参考状态包括VFL光功率和/或通过物镜的VFL透镜系统的有效焦点位置。
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公开(公告)号：CN108088424B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201711181228.5
申请日：2017-11-23
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种用于提供扩展景深(EDOF)图像的方法，包括：以高频率周期性地调制成像系统聚焦位置；使用图像曝光，其包括在包括所述聚焦位置的多个调制周期的图像积分时间期间在离散聚焦位置处获取的离散图像曝光增量；以及使用具有被配置为定义用于图像曝光增量的一组均匀地间隔的聚焦位置的受控定时的频闪操作。所述定时被配置为使得在其周期性调制期间在由聚焦位置的改变方向的至少一次反转分开的时间获取该组中的相邻聚焦位置。这解决了实际的定时问题，否则该定时问题可能阻止在高频率聚焦调制期间获得紧密间隔的离散图像曝光增量。可以使用反卷积操作来提高所得到的EDOF图像的清晰度。
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公开(公告)号：CN107367817B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201710304253.1
申请日：2017-05-03
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： R.K.布里尔
Abstract: 一种用于确定成像的表面的表面Z高度测量的可变焦距(VFL)透镜系统。所述系统的控制器配置为控制VFL透镜(例如，可调谐声学梯度折射率透镜)以周期性地调制其光功率，从而以第一操作频率周期性地调制聚焦位置，其中周期性调制的VFL透镜光功率定义第一周期性调制相位。相位定时信号与该控制器中的具有第一操作频率以及具有第二周期性调制相位的周期信号同步，所述第二周期性调制相位相对于第一周期性调制相位具有相位偏移。相位偏移补偿部分配置为执行相位偏移补偿处理，其提供Z高度测量，其中至少部分地消除与相位偏移贡献相关的Z高度误差或Z高度变化中的至少一个。
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公开(公告)号：CN108088424A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201711181228.5
申请日：2017-11-23
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种用于提供扩展景深(EDOF)图像的方法，包括：以高频率周期性地调制成像系统聚焦位置；使用图像曝光，其包括在包括所述聚焦位置的多个调制周期的图像积分时间期间在离散聚焦位置处获取的离散图像曝光增量；以及使用具有被配置为定义用于图像曝光增量的一组均匀地间隔的聚焦位置的受控定时的频闪操作。所述定时被配置为使得在其周期性调制期间在由聚焦位置的改变方向的至少一次反转分开的时间获取该组中的相邻聚焦位置。这解决了实际的定时问题，否则该定时问题可能阻止在高频率聚焦调制期间获得紧密间隔的离散图像曝光增量。可以使用反卷积操作来提高所得到的EDOF图像的清晰度。
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公开(公告)号：CN107340669A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710303501.0
申请日：2017-05-03
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种用于提供自动聚焦图像的系统包括：包括高速周期调制的可变焦距(VFL)透镜的成像系统、VFL透镜控制器、VFL投射光源、聚焦确定部分、曝光定时调整电路、和曝光选通时间控制器。聚焦确定部分包括光学检测器，其输入通过VFL透镜投射到工件并从工件反射的反射的VFL投射光，并提供聚焦偏差信号。曝光定时调整电路基于聚焦偏差信号提供曝光定时调整信号，其指示当成像系统聚焦Z高度与工件表面Z高度近似重合时的时间。曝光选通时间控制器使用曝光定时调整信号来调整图像曝光时间，使得成像系统聚焦Z高度在调整后的图像曝光时间与工件表面Z高度重合。
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