制造半导体器件的方法
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1373504A

    公开(公告)日:2002-10-09

    申请号:CN02106551.9

    申请日:2002-02-28

    Abstract: 通过使用很少数目的光掩膜,得到对于象素部分的驱动条件和驱动电路最佳的TFT(薄膜晶体管)结构。在第一绝缘薄膜上形成第一到第三半导体薄膜。在第一到第三半导体薄膜上形成第一形状的第一、第二、第三电极。在第一掺杂处理中,使用第一形状的第一、第二、第三电极作为掩膜,在第一到第三半导体薄膜中形成一种导电类型的第一浓度杂质区域。从第一形状的第一、第二、第三电极形成第二形状的第一、第二、和第三电极。在第二掺杂处理中,在第二半导体薄膜中形成与第二形状的第二电极相重叠的、一种导电类型的第二浓度杂质区域。在第二掺杂处理中,还在第一和第二半导体薄膜中形成一种导电类型的第三浓度杂质区域。在第三掺杂处理中,在第三半导体薄膜中形成具有与一种导电类型相反的另一种导电类型的、第四和第五浓度杂质区域。

    显示装置及显示装置的制造方法
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116569241A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202180080919.4

    申请日:2021-12-06

    Abstract: 提供一种高清晰显示装置。本发明是一种显示装置,该显示装置包括第一导电体、第一导电体上的第一绝缘体、设置在第一绝缘体的开口的内部的第二导电体、与第二导电体的顶面及第一绝缘体的顶面接触的第一发光层以及与第一发光层的顶面接触的第三导电体。

    生产发光器件的装置及用该装置生产发光器件的方法

    公开(公告)号:CN100346884C

    公开(公告)日:2007-11-07

    申请号:CN03147197.8

    申请日:2003-07-09

    CPC classification number: H01L51/0005

    Abstract: 一种占地面积小的生产发光器件的装置及用此装置生产发光器件的方法。生产发光器件的装置包含装载工作室、形成发光材料薄膜的工作室、形成导电材料薄膜的工作室、形成绝缘材料薄膜的工作室、以及卸载工作室,其中,形成发光材料薄膜的工作室是用液体喷射方法形成发光材料薄膜的工作室,形成导电材料薄膜的工作室是用溅射方法形成导电材料薄膜的工作室,而形成绝缘材料薄膜的工作室是用溅射方法来形成绝缘材料薄膜的工作室,且其中,在所有装载工作室、形成发光材料薄膜的工作室、形成导电材料薄膜的工作室、形成绝缘材料薄膜的工作室、以及卸载工作室中,待要处理的衬底被支持成待要处理的衬底的成膜表面与重力方向所对着的角度在0-30度内。

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