公开(公告)号：CN112640082A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201980056824.1

申请日：2019-08-08

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 酒田现示 ,  横尾秀和

IPC: H01L21/683 ,  C23C14/50 ,  C23C16/458 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供一种抑制气体体积的急剧增加、稳定地支承基板的静电吸盘、真空处理装置及基板处理方法。静电吸盘具有吸盘板，所述吸盘板具有支承基板的第一面和与第一面相反一侧的第二面。在吸盘板中设置有排气通路，在第一面支承基板时，在基板与第一面之间，所述排气通路将从基板排放的气体从基板与第一面之间排出。

公开(公告)号：CN103907208B

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201280054056.4

申请日：2012-10-11

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 酒田现示 ,  横尾秀和 ,  富田真人 ,  铃木英夫

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/068

CPC classification number: H01L22/20 ,  H01L31/022441 ,  H01L31/042 ,  H01L31/0682 ,  H01L31/1804 ,  H01L2924/0002 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521 ,  H01L2924/00

Abstract: 太阳能电池的制造方法具有：第一中心对准工序(S10)，设定基板中心位置作为相对于杂质注入工序(S20)的处理的基准位置；以及第二中心对准工序(S30)，设定基板中心位置作为相对于电极形成工序(S40)的处理的基准位置。