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公开(公告)号：CN109719103A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201811250661.4
申请日：2018-10-25
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明的目的在于，提供能够提高晶片等基板的处理效率的基板保持装置。另外，本发明的目的在于，提供用于使用这样的基板保持装置而对基板的表面进行处理的基板处理装置以及基板处理方法。基板保持装置具有：多个辊(11a、11b)，该多个辊能够与晶片(W)的周缘部接触；辊旋转机构(12)，该辊旋转机构使多个辊(11a、11b)旋转；以及多个偏心轴(13a、13b)，该多个偏心轴将多个辊(11a、11b)和辊旋转机构(12)连结，多个偏心轴具有：多个第一轴部(14a、14b)；以及分别从多个第一轴部偏心的多个第二轴部(15a、15b)，多个第一轴部(14a、14b)固定于辊旋转机构(12)，多个辊(11a、11b)分别固定于多个第二轴部(15a、15b)。
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公开(公告)号：CN109702641A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201811241908.6
申请日：2018-10-24
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种在基板的背面朝下的状态下，能够有效地对包含最外部的基板的背面整体进行研磨的研磨装置。研磨装置具有：使晶片(W)旋转的基板保持部(10)；对晶片(W)的背面进行研磨的研磨头(50)；带输送装置(46)；以及使研磨头(50)进行平移旋转运动的平移旋转运动机构(60)。基板保持部(10)具有多个辊(11)。多个辊(11)构成为能够以各辊(11)的轴心为中心旋转，并具有能够与晶片(W)的周缘部接触的基板保持面(11a)。研磨头(50)相比于基板保持面(11a)配置在下方，具有对研磨带(31)进行按压的研磨托板(55)、和将研磨托板(55)向上方抬起的加压机构(52)。
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公开(公告)号：CN109702641B
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN201811241908.6
申请日：2018-10-24
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种在基板的背面朝下的状态下，能够有效地对包含最外部的基板的背面整体进行研磨的研磨装置。研磨装置具有：使晶片(W)旋转的基板保持部(10)；对晶片(W)的背面进行研磨的研磨头(50)；带输送装置(46)；以及使研磨头(50)进行平移旋转运动的平移旋转运动机构(60)。基板保持部(10)具有多个辊(11)。多个辊(11)构成为能够以各辊(11)的轴心为中心旋转，并具有能够与晶片(W)的周缘部接触的基板保持面(11a)。研磨头(50)相比于基板保持面(11a)配置在下方，具有对研磨带(31)进行按压的研磨托板(55)、和将研磨托板(55)向上方抬起的加压机构(52)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110788746A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201910707101.5
申请日：2019-08-01
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B37/34
Abstract: 本发明提供一种用于辅助顶环的卸下、安装作业的夹具，将顶环的至少一部分卸下的方法以及将顶环的至少一部分安装于顶环主体的方法。根据一实施方式，提供一种用于进行顶环的至少一部分的装卸的夹具，该顶环用于保持基板，该夹具具有：可动板，该可动板用于支承已卸下的状态的顶环的至少一部分；多个支柱，该多个支柱用于将夹具相对于顶环而对准于规定位置，并构成为与顶环卡合；以及驱动机构，该驱动机构用于使所述可动板向接近于顶环的方向以及远离顶环的方向移动。
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公开(公告)号：CN110026868A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201811552723.7
申请日：2018-12-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种结构简单且大小紧凑的研磨头和基板研磨装置。研磨头(10)具备：研磨器具按压部件(12)，该研磨器具按压部件支承研磨器具(3)；可动轴(15)，该可动轴与研磨器具按压部件(12)连结；壳体(18)，在该壳体的内部收纳可动轴(15)；以及隔壁膜(25)，该隔壁膜在可动轴(15)的端部与壳体(18)之间形成压力室(20)，隔壁膜具(25)有：中央部(25a)，该中央部与可动轴(15)的端部接触；内壁部(25b)，该内壁部与中央部(25a)连接，并且沿着可动轴(15)的侧面延伸；折返部(25c)，该折返部与内壁部(25b)连接，并且具有弯曲的剖面；以及外壁部(25d)，该外壁部与折返部(25c)连接，并且位于内壁部(25b)的外侧。
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公开(公告)号：CN106029297B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201580008700.8
申请日：2015-02-12
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B21/00 , B24B9/00 , H01L21/304
Abstract: 本发明涉及一种研磨晶圆等基板的研磨装置及研磨方法，特别涉及一种用研磨带研磨晶圆的边缘部的研磨装置及研磨方法。本发明的研磨装置，具备：基板保持部(1)，保持并旋转基板(W)；以及研磨单元(7)，用研磨带(5)来研磨基板(W)的边缘部。研磨单元(7)具有：圆盘头(12)，具有支撑研磨带(5)的外周面；以及头移动装置(50)，使圆盘头(12)移动至基板(W)的切线方向，使圆盘头(12)的外周面上的研磨带(5)接触基板(W)的边缘部。
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公开(公告)号：CN106029297A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201580008700.8
申请日：2015-02-12
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B21/00 , B24B9/00 , H01L21/304
Abstract: 本发明涉及一种研磨晶圆等基板的研磨装置及研磨方法，特别涉及一种用研磨带研磨晶圆的边缘部的研磨装置及研磨方法。本发明的研磨装置，具备：基板保持部(1)，保持并旋转基板(W)；以及研磨单元(7)，用研磨带(5)来研磨基板(W)的边缘部。研磨单元(7)具有：圆盘头(12)，具有支撑研磨带(5)的外周面；以及头移动装置(50)，使圆盘头(12)移动至基板(W)的切线方向，使圆盘头(12)的外周面上的研磨带(5)接触基板(W)的边缘部。
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公开(公告)号：CN305255950S
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201930028261.8
申请日：2019-01-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：基板保持部件。
2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品是用于保持基板的基板保持部件。
3．本外观设计产品的设计要点：整体形状和结构。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1立体图1。
5．本外观设计产品设计1的左视图与右视图对称，设计2的左视图与右视图对称，故省略本外观设计产品设计1的左视图和设计2的左视图。
6．本外观设计产品为相似外观设计，设计1是基本设计。
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