Patent search ap:("阿尔卑斯电气株式会社") AND inv:"宇都宜隆" Page 2

11.

发明公开
MEMS传感器及其制造方法失效

公开(公告)号：CN103449354A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310094691.1

申请日：2013-03-22

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 小林俊宏 , 宫武亨 , 矢泽久幸 , 大川尚信 , 宇都宜隆

IPC: B81B7/02 , B81C1/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种与以往相比尤其是具有粘附抑制效果高的限动部结构的MEMS传感器及其制造方法。该MEMS传感器的特征在于，具有：功能层(9)，其具有被支承为在高度方向上能够进行位移的可动部；对置构件，其与功能层隔开间隔而对置配置，其中，在对置构件上的与可动部对置的位置设有限动部(46)，该限动部(46)限制可动部的向高度方向的位移，限动部(46)具有Ti层(48)和使Ti层的表面氧化而得到的氧化Ti层(49)，氧化Ti层(49)的表面构成限动部表面(46a)，氧化Ti层的膜厚(H2)在2.5nm以上且10nm以下的范围内形成。

Patent Agency Ranking