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公开(公告)号：CN102792170A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180012940.7
申请日：2011-02-24
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , H01L29/84
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0837
Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够抑制可动部即可动电极与固定电极层间的电短路的物理量传感器。物理量传感器具备：基材，其具有锚定部(29)及在锚定部上经由弹簧部被支承成能够沿高度方向上变位的可动部(34)；对置部(20)，其与基材在高度方向上对置且固定支承锚定部，并且与可动部在高度方向上空出间隔地对置；固定电极层(28)，其形成在对置部的表面上；突起部(23)，其表面为对可动部限位的限位面；固定支承部(22)，其设置在对置部的表面上；接合部(26)，其由将固定支承部和锚定部间接合的金属层构成。突起部(23)从对置部(20)的表面突出，在下凹的对置部的表面上配置有固定电极层(28)，突起部(23)的表面比固定电极层(28)的表面在高度方向上突出。
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公开(公告)号：CN102792170B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201180012940.7
申请日：2011-02-24
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , H01L29/84
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0837
Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够抑制可动部即可动电极与固定电极层间的电短路的物理量传感器。物理量传感器具备：基材，其具有锚定部(29)及在锚定部上经由弹簧部被支承成能够沿高度方向上变位的可动部(34)；对置部(20)，其与基材在高度方向上对置且固定支承锚定部，并且与可动部在高度方向上空出间隔地对置；固定电极层(28)，其形成在对置部的表面上；突起部(23)，其表面为对可动部限位的限位面；固定支承部(22)，其设置在对置部的表面上；接合部(26)，其由将固定支承部和锚定部间接合的金属层构成。突起部(23)从对置部(20)的表面突出，在下凹的对置部的表面上配置有固定电极层(28)，突起部(23)的表面比固定电极层(28)的表面在高度方向上突出。
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公开(公告)号：CN102449489B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201080024182.6
申请日：2010-05-18
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/125 , H01L29/84
CPC classification number: G01P15/08 , B81B3/001 , B81B3/0021 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0837 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明的目的在于提供传感器灵敏度良好且耐粘附性良好的物理量传感器。物理量传感器具有：被固定支承的被定位部(5～7)；沿高度方向变位的可动部(2)；与被定位部和可动部连结成转动自如的支承部(3、4)；用于检测可动部的变位的检测部。支承部(3、4)构成为具有：连结被定位部与可动部(2)间的第一连结臂(3a、4a)；从被定位部向第一连结臂的反方向延伸且在支承部(3、4)转动而可动部(2)沿高度方向变位时向可动部(2)的变位方向的反方向变位的腿部(3b、4b)。在腿部(3b、4b)向可动部(2)的变位方向的反方向变位时，在腿部的前端部可抵接的位置设置有限动面，腿部的前端部与限动面抵接而抑制可动部(2)的变位。
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公开(公告)号：CN102449489A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201080024182.6
申请日：2010-05-18
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/125 , H01L29/84
CPC classification number: G01P15/08 , B81B3/001 , B81B3/0021 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0837 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明的目的在于提供传感器灵敏度良好且耐粘附性良好的物理量传感器。物理量传感器具有：被固定支承的被定位部(5～7)；沿高度方向变位的可动部(2)；与被定位部和可动部连结成转动自如的支承部(3、4)；用于检测可动部的变位的检测部。支承部(3、4)构成为具有：连结被定位部与可动部(2)间的第一连结臂(3a、4a)；从被定位部向第一连结臂的反方向延伸且在支承部(3、4)转动而可动部(2)沿高度方向变位时向可动部(2)的变位方向的反方向变位的腿部(3b、4b)。在腿部(3b、4b)向可动部(2)的变位方向的反方向变位时，在腿部的前端部可抵接的位置设置有限动面，腿部的前端部与限动面抵接而抑制可动部(2)的变位。
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公开(公告)号：CN107229022A
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201710139926.2
申请日：2017-03-09
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01R33/09
Abstract: 本发明的课题在于提供一种进行了结构上的改善使得具有良好的传感器灵敏度的磁传感器容易适当发挥本来的功能的磁传感器。磁传感器(10)具备：第1磁阻效应元件(21)，位于基板(15)的第1面(15A)上，并具有沿着作为第1面(15A)的面内方向之一的第1方向的灵敏度轴；定位用软磁性体(40b)，规定第1最近部位(40E1)相对于第1磁阻效应元件(21)的相对位置，并相对于第1磁阻效应元件(21)非接触地设置；和第1软磁性体(35)以及第2软磁性体(36)，沿着第1方向并排设置，分别向远离第1面(15A)的方向延伸，第1软磁性体(35)以及第2软磁性体(36)分别与定位用软磁性体(40b)磁连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102792168B
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201180013009.0
申请日：2011-02-24
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: H01L23/10 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , B81C2203/019 , B81C2203/035 , G01P15/0802 , G01P15/125 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的目的在于提供一种MEMS传感器，特别是能够提高密封接合部的Al-Ge共晶接合界面处的接合强度以及密封气密性。所述MEMS传感器构成为具有：第一基材；第二基材；密封接合部，该密封接合部位于所述第一基材与所述第二基材之间，通过使形成在所述第一基材侧的第一连接金属层和形成在所述第二基材侧的第二连接金属层共晶接合而成，所述密封接合部(50)从所述第一基材侧至所述第二基材侧依次层叠有Ti层(52)、Ta层(53)、由Al或Al合金形成的所述第一连接金属层(54)、以及由Ge形成的所述第二连接金属层(55)。
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公开(公告)号：CN100399423C
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200610092657.0
申请日：2006-06-13
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
Abstract: 本发明的目的特别在于提供一种磁检测元件及其制造方法，在利用层叠体形成用掩模层将具有固定磁性层、非磁性材料层、以及自由磁性层的层叠体形成为预定形状时，能够将上述层叠体适当地形成为预定形状，并且能够防止上述自由磁性层的腐蚀。在自由磁性层(28)上层叠有中间层(35)、防腐蚀层(36)，上述防腐蚀层(36)防止由反应性离子蚀刻腐蚀自由磁性层(28)。由此，能够将层叠体(22)适当地形成为预定形状，并且能够防止上述自由磁性层(28)的腐蚀，能够制造再生特性良好的磁检测元件。
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公开(公告)号：CN1572518A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410046432.2
申请日：2004-05-31
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
Abstract: 本发明提供一种热敏头基板、热敏头及其制造方法。为在基板(1)上顺次设置有保温层(2)，电阻层(3)，共通导体(5a)及多个单独导体(5b)，电镀种晶层(7)，以及共通电极(8)，由与单独导体(5b)的长边方向垂直的机械切断面(P1)和与该长边方向平行的机械切断面(P2)规定外围的热敏头，电镀种晶层(7)由耐腐蚀性金属材料所构成，在机械切断面(P1)、(P2)上，共通导体(5a)及多个单独导体(5b)不露出，而仅露出保温层(2)、或电镀种晶层(7)与保温层(2)、或电镀种晶层(7)、电阻层(3)与保温层(2)。由此得到能够防止导体的腐蚀。
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公开(公告)号：CN102792168A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180013009.0
申请日：2011-02-24
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: H01L23/10 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , B81C2203/019 , B81C2203/035 , G01P15/0802 , G01P15/125 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的目的在于提供一种MEMS传感器，特别是能够提高密封接合部的Al-Ge共晶接合界面处的接合强度以及密封气密性。所述MEMS传感器构成为具有：第一基材；第二基材；密封接合部，该密封接合部位于所述第一基材与所述第二基材之间，通过使形成在所述第一基材侧的第一连接金属层和形成在所述第二基材侧的第二连接金属层共晶接合而成，所述密封接合部(50)从所述第一基材侧至所述第二基材侧依次层叠有Ti层(52)、Ta层(53)、由Al或Al合金形成的所述第一连接金属层(54)、以及由Ge形成的所述第二连接金属层(55)。
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公开(公告)号：CN102770770A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201180011060.8
申请日：2011-02-24
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , H01L29/84
CPC classification number: B81B3/0051 , B81B2201/0235
Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够提高重物部相对于对置部的耐碰撞性及防粘性的物理量传感器。该物理量传感器具备弹簧部(21)、与所述弹簧部(21)连结且被支承成沿高度方向可变位的重物部(20)、与所述重物部在高度方向上对置的对置部(22)，在所述对置部(22)与所述重物部(20)之间配置高度不同的多个突起部(23、24)，所述多个突起部(23、24)使得在所述重物部(20)朝向高度方向变位时，所述重物部(20)与所述对置部(21)之间能够阶段性地抵接，并且所述重物部与所述对置部之间还能够阶段性地分离。
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