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公开(公告)号：CN102792168B
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201180013009.0
申请日：2011-02-24
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: H01L23/10 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , B81C2203/019 , B81C2203/035 , G01P15/0802 , G01P15/125 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的目的在于提供一种MEMS传感器，特别是能够提高密封接合部的Al-Ge共晶接合界面处的接合强度以及密封气密性。所述MEMS传感器构成为具有：第一基材；第二基材；密封接合部，该密封接合部位于所述第一基材与所述第二基材之间，通过使形成在所述第一基材侧的第一连接金属层和形成在所述第二基材侧的第二连接金属层共晶接合而成，所述密封接合部(50)从所述第一基材侧至所述第二基材侧依次层叠有Ti层(52)、Ta层(53)、由Al或Al合金形成的所述第一连接金属层(54)、以及由Ge形成的所述第二连接金属层(55)。
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公开(公告)号：CN102792170A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180012940.7
申请日：2011-02-24
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , H01L29/84
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0837
Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够抑制可动部即可动电极与固定电极层间的电短路的物理量传感器。物理量传感器具备：基材，其具有锚定部(29)及在锚定部上经由弹簧部被支承成能够沿高度方向上变位的可动部(34)；对置部(20)，其与基材在高度方向上对置且固定支承锚定部，并且与可动部在高度方向上空出间隔地对置；固定电极层(28)，其形成在对置部的表面上；突起部(23)，其表面为对可动部限位的限位面；固定支承部(22)，其设置在对置部的表面上；接合部(26)，其由将固定支承部和锚定部间接合的金属层构成。突起部(23)从对置部(20)的表面突出，在下凹的对置部的表面上配置有固定电极层(28)，突起部(23)的表面比固定电极层(28)的表面在高度方向上突出。
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公开(公告)号：CN102792168A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180013009.0
申请日：2011-02-24
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: H01L23/10 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , B81C2203/019 , B81C2203/035 , G01P15/0802 , G01P15/125 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的目的在于提供一种MEMS传感器，特别是能够提高密封接合部的Al-Ge共晶接合界面处的接合强度以及密封气密性。所述MEMS传感器构成为具有：第一基材；第二基材；密封接合部，该密封接合部位于所述第一基材与所述第二基材之间，通过使形成在所述第一基材侧的第一连接金属层和形成在所述第二基材侧的第二连接金属层共晶接合而成，所述密封接合部(50)从所述第一基材侧至所述第二基材侧依次层叠有Ti层(52)、Ta层(53)、由Al或Al合金形成的所述第一连接金属层(54)、以及由Ge形成的所述第二连接金属层(55)。
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公开(公告)号：CN102770770A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201180011060.8
申请日：2011-02-24
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , H01L29/84
CPC classification number: B81B3/0051 , B81B2201/0235
Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够提高重物部相对于对置部的耐碰撞性及防粘性的物理量传感器。该物理量传感器具备弹簧部(21)、与所述弹簧部(21)连结且被支承成沿高度方向可变位的重物部(20)、与所述重物部在高度方向上对置的对置部(22)，在所述对置部(22)与所述重物部(20)之间配置高度不同的多个突起部(23、24)，所述多个突起部(23、24)使得在所述重物部(20)朝向高度方向变位时，所述重物部(20)与所述对置部(21)之间能够阶段性地抵接，并且所述重物部与所述对置部之间还能够阶段性地分离。
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公开(公告)号：CN102483426A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080039349.6
申请日：2010-12-10
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/02 , G01P15/125 , H01L29/84
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0837 , G01P2015/0874
Abstract: 本发明的目的在于提供一种尤其是耐冲击性及耐粘附性优良的物理量传感器。该物理量传感器具有在高度方向上位移的可动部(50)和在高度方向上与可动部(50)对置配置且限制可动部(50)的位移的突起状的限动部(51)。在限动部(51)的与可动部(50)对置的对置面(51a)的外周(51b)设有第一接触端部(53)和第二接触端部(54)，第一接触端部(53)为可动部(50)向接近限动部(51)的方向位移而首先与对置面(51a)接触的部分，第二接触端部(54)为可动部从与所述限动部(51)抵接的抵接状态向离开的方向位移时首先从对置面(51a)分离的部分。第一接触端部(53)的与可动部接触的接触长度比第二接触端部(54)的与可动部接触的接触长度长。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102792170B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201180012940.7
申请日：2011-02-24
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , H01L29/84
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0837
Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够抑制可动部即可动电极与固定电极层间的电短路的物理量传感器。物理量传感器具备：基材，其具有锚定部(29)及在锚定部上经由弹簧部被支承成能够沿高度方向上变位的可动部(34)；对置部(20)，其与基材在高度方向上对置且固定支承锚定部，并且与可动部在高度方向上空出间隔地对置；固定电极层(28)，其形成在对置部的表面上；突起部(23)，其表面为对可动部限位的限位面；固定支承部(22)，其设置在对置部的表面上；接合部(26)，其由将固定支承部和锚定部间接合的金属层构成。突起部(23)从对置部(20)的表面突出，在下凹的对置部的表面上配置有固定电极层(28)，突起部(23)的表面比固定电极层(28)的表面在高度方向上突出。
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公开(公告)号：CN102449489B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201080024182.6
申请日：2010-05-18
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/125 , H01L29/84
CPC classification number: G01P15/08 , B81B3/001 , B81B3/0021 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0837 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明的目的在于提供传感器灵敏度良好且耐粘附性良好的物理量传感器。物理量传感器具有：被固定支承的被定位部(5～7)；沿高度方向变位的可动部(2)；与被定位部和可动部连结成转动自如的支承部(3、4)；用于检测可动部的变位的检测部。支承部(3、4)构成为具有：连结被定位部与可动部(2)间的第一连结臂(3a、4a)；从被定位部向第一连结臂的反方向延伸且在支承部(3、4)转动而可动部(2)沿高度方向变位时向可动部(2)的变位方向的反方向变位的腿部(3b、4b)。在腿部(3b、4b)向可动部(2)的变位方向的反方向变位时，在腿部的前端部可抵接的位置设置有限动面，腿部的前端部与限动面抵接而抑制可动部(2)的变位。
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公开(公告)号：CN102449489A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201080024182.6
申请日：2010-05-18
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/125 , H01L29/84
CPC classification number: G01P15/08 , B81B3/001 , B81B3/0021 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0837 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明的目的在于提供传感器灵敏度良好且耐粘附性良好的物理量传感器。物理量传感器具有：被固定支承的被定位部(5～7)；沿高度方向变位的可动部(2)；与被定位部和可动部连结成转动自如的支承部(3、4)；用于检测可动部的变位的检测部。支承部(3、4)构成为具有：连结被定位部与可动部(2)间的第一连结臂(3a、4a)；从被定位部向第一连结臂的反方向延伸且在支承部(3、4)转动而可动部(2)沿高度方向变位时向可动部(2)的变位方向的反方向变位的腿部(3b、4b)。在腿部(3b、4b)向可动部(2)的变位方向的反方向变位时，在腿部的前端部可抵接的位置设置有限动面，腿部的前端部与限动面抵接而抑制可动部(2)的变位。
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公开(公告)号：CN103449354B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310094691.1
申请日：2013-03-22
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种与以往相比尤其是具有粘附抑制效果高的限动部结构的MEMS传感器及其制造方法。该MEMS传感器的特征在于，具有：功能层(9)，其具有被支承为在高度方向上能够进行位移的可动部；对置构件，其与功能层隔开间隔而对置配置，其中，在对置构件上的与可动部对置的位置设有限动部(46)，该限动部(46)限制可动部的向高度方向的位移，限动部(46)具有Ti层(48)和使Ti层的表面氧化而得到的氧化Ti层(49)，氧化Ti层(49)的表面构成限动部表面(46a)，氧化Ti层的膜厚(H2)在2.5nm以上且10nm以下的范围内形成。
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公开(公告)号：CN102770770B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201180011060.8
申请日：2011-02-24
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , H01L29/84
CPC classification number: B81B3/0051 , B81B2201/0235
Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够提高重物部相对于对置部的耐碰撞性及防粘性的物理量传感器。该物理量传感器具备弹簧部(21)、与所述弹簧部(21)连结且被支承成沿高度方向可变位的重物部(20)、与所述重物部在高度方向上对置的对置部(22)，在所述对置部(22)与所述重物部(20)之间配置高度不同的多个突起部(23、24)，所述多个突起部(23、24)使得在所述重物部(20)朝向高度方向变位时，所述重物部(20)与所述对置部(21)之间能够阶段性地抵接，并且所述重物部与所述对置部之间还能够阶段性地分离。
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