Abstract:
PURPOSE: A substrate alignment stage for a UV nano imprint device is provided to minimize the change of a substrate by uniformly distributing an adsorption nozzle along the edge of an alignment stage when fixing the substrate on an adsorption plate. CONSTITUTION: An adsorption plate(10) has a flat upper side in which a substrate is received. A vacuum hole(12) is formed on the upper side of the adsorption plate and is connected to a vacuum exhaust pipe through a vacuum path formed inside the absorption plate. An adsorption nozzle(14) is recessed on the upper side of the adsorption plate from the vacuum hole exposed to the upper side of the adsorption plate and forms vacuum pressure for vacuum adsorption of the substrate between the substrate received in the adsorption plate and the adsorption plate.
Abstract:
PURPOSE: A regenerative braking apparatus and a control method thereof are provided to charge a battery using the counter electromotive force converted through a DC/DC converter. CONSTITUTION: A motor(200) is driven by the power supplied from a battery(100) in an acceleration process. The motor generates the counter electromotive force when braking the motor. A DC/DC converter(300) charges the battery by converting the DC/DC conversion about the counter regenerative force. A controller(400) controls the motor and the DC/DC converter according to the acceleration signal and the braking signal and includes a first Schottky diode, a pulse width modulator, and a first switching device. The first Schottky diode is connected in parallel to the motor. The pulse width modulation generates the acceleration signal and the braking pulse based on the acceleration signal and the braking signal.
Abstract:
A temperature controller of a nano imprint apparatus and a nano imprint apparatus including the same are provided to reduce a manufacturing cost of the nano imprint apparatus by controlling arbitrarily and freely an installation position. A heat exchange pin(100) is composed of a heat-conducting material and includes a plurality of air flow paths. A first thermoelectric module(200) is coupled with the one side of the heat exchange pin in order to connect a heat-absorbing reaction part. A second thermoelectric module(300) is coupled with the heat exchange pin in order to connect a heat-radiating reaction part with the other side of the heat exchange pin. An air suction tube(400) is used for forming an air suction path from the inside of the chamber to the air flow path of the heat exchange pin. An air discharge tube(500) is used for forming an air returning path to the inside of the chamber through the heat exchange pin. A temperature sensor(600) senses the temperature of the air through the air suction tube or the air discharge tube. A temperature control unit(700) compares the temperature received from the temperature sensor with the reference temperature and supplies selectively the power to the first and second thermoelectric modules.
Abstract:
본 발명은 연료전지 시스템에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 개질촉매와 연소촉매 등의 고가의 촉매들이 사용되고 촉매 개질기 가열을 위한 버너가 반드시 필요함으로 인해 시스템의 복잡성 및 운용비용이 증가하고, 촉매의 열중량 효과에 의해 운전온도까지 승온하는데 시간이 오래 걸리며, 촉매반응시 산화제의 역할을 하는 수분 또는 공기의 투입이 적절하지 않은 경우 국부적으로 카본이 촉매 표면에 발생하여 촉매 수명이 단축되고, 카본 생성이 없는 원활한 촉매 개질을 위한 수분공급에 따른 증발열 손실이 발생하여 효과적인 설계와 안정적 운전을 위한 제어가 어려운 단점이 있었던 기존의 연료전지 시스템들의 문제점을 해결하기 위해, 촉매를 이용하지 않고 고속 역방향 공기노즐 주입방식의 무촉매 연료 개질기를 이용함으로써, 반응로 내 가스 재순환을 극대화시켜 온도의 균일화와 화학반응의 균일화를 달성하는 동시에, 촉매 승온을 위한 버너, 열교환기 등 부가적 부품들이 필요 없게 되고, 시스템의 정상운전조건까지 도달하는데 필요한 시간과 자원이 감소하여 빠른 승온과 함께 촉매의 주기적 교체에 따른 운영비용을 절감하고 운영이 용이하도록 구성되는 고속 역방향 공기노즐을 이용한 무촉매 무화염 연료 개질기 및 이를 이용한 연료전지 시스템에 관한 것이다.
Abstract:
The present invention relates to an industrial furnace. Provided is a flameless combustion industrial furnace using reverse air injection technique, which is capable of enhancing combustion efficiency and solving a problem of an acidic gas at the same time by injecting air in the reverse direction to the flow of a fuel and a combustion gas to make a combustion reaction, in order to solve problems of conventional industrial furnaces of a mixed combustion type and a multi-stage combustion type in that NOx of high concentration is produced by high temperature in a flame zone; industrial furnace materials having high-temperature resistance are required; a driving range is limited; and it is difficult to design a heat transfer; a heat transfer surface is polluted by melting of ash components generated by high temperature, and problems of conventional flameless combustion industrial furnaces in that the uniform temperature zone is formed in the whole combustion chamber space by introducing the preheated air of high temperature in the same direction as the fuel; and extraneous matter and slag are produced by the melting of the ash.
Abstract:
다수의 가스 배관에서의 가스 누출위치 검출방법이 개시된다. 본 발명은 다수의 가스 배관에 적어도 2개 이상 설치된 가스압력센서에서 상기 배관 내 가스의 압력을 미리 설정된 시간주기마다 연속적으로 검출하는 검출단계; 상기 가스압력센서 중 선택된 2개의 가스압력센서에서 검출된 가스압력 검출신호를 상기 각각의 시간주기마다 경과시간에 대해 각각 미분하는 미분단계; 상기 각각 미분된 두 가스압력 검출신호의 곱을 적분하여 상기 두 가스압력 검출신호 간의 상관관계 값(correlation value)을 구하는 적분단계; 및 상기 해당 시간주기의 적어도 어느 한 시점에서의 상관관계 값이 미리 설정된 기준치보다 큰 경우 상기 상관관계 값의 최고치에 대응하는 시점(T h ) 및 상기 시간주기의 중간시점(T/2) 간의 시간차이(△t)를 이용하여 상기 가스 배관의 가스 누출위치를 계산하는 계산단계를 포함한다.