AZO 박막의 전기전도도 향상방법

    公开(公告)号:KR101811927B1

    公开(公告)日:2017-12-26

    申请号:KR1020150157073

    申请日:2015-11-10

    Abstract: 본발명의목적은투명전도막중 특히, AZO 투명전도막에대한전기전도도향상에대해좀 더원리적인접근에기인한후처리방법을제안하고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은, AZO 투명전도막에자외선을처리함으로써전기전도도를향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여후처리공정을실시하여전기전도도로향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여처리하고난 다음다시자외선을조사하는복합적인후처리공정을제공하였다.

    플라즈마를 이용한 플라이 애시의 미연탄소 제거방법
    12.
    发明公开
    플라즈마를 이용한 플라이 애시의 미연탄소 제거방법 有权
    使用等离子体去除飞灰中的未燃烧碳的方法

    公开(公告)号:KR1020140134437A

    公开(公告)日:2014-11-24

    申请号:KR1020130054292

    申请日:2013-05-14

    CPC classification number: Y02W30/92 B01J19/08 B01J2219/0894 C04B18/08

    Abstract: 본 발명은 플라즈마를 이용한 플라이 애시의 미연탄소 제거방법에 관한 것이다. 본 발명은 보다 구체적으로, 플라즈마의 처리 공정에서 가스 종류를 산소로 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 플라이 애시의 미연탄소 제거방법을 제공한다.

    Abstract translation: 本发明涉及使用等离子体去除飞灰中的未燃烧碳的方法。 更具体地,本发明提供了一种使用等离子体除去飞灰中的未燃烧碳的方法,其在等离子体工艺中使用氧气作为一种气体。

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