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公开(公告)号：KR101723308B1
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：KR1020150157067
申请日：2015-11-10
Applicant: 군산대학교산학협력단
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18 , H01L31/0392
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명의목적은투명전도막중 특히, AZO 투명전도막에대한전기전도도향상에대해좀 더원리적인접근에기인한후처리방법을제안하고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은, AZO 투명전도막에자외선을처리함으로써전기전도도를향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여후처리공정을실시하여전기전도도로향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여처리하고난 다음다시자외선을조사하는복합적인후처리공정을제공하였다.
Abstract translation: 本发明的一个目的是提出一种后处理方法，这是由于改善透明导电膜，尤其是AZO透明导电膜的导电性的更基本的方法。 根据上述目的，本发明提供了一种通过在AZO透明导电膜上处理紫外线来改善导电性的方法。 此外，本发明提供了通过用氢和氩混合物筛将等离子体放电到AZO透明导电膜以执行后处理工艺来提高电导率的方法。 此外，本发明提供复杂的后处理工艺，其中通过用氢和氩混合物筛子排出等离子体来处理AZO透明导电膜，然后再次用紫外线照射。
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公开(公告)号：KR1020170055028A
公开(公告)日：2017-05-19
申请号：KR1020150157073
申请日：2015-11-10
Applicant: 군산대학교산학협력단
IPC: H01B13/00 , H01B1/08 , H01B5/14 , H01B13/016 , H05B3/00
Abstract: 본발명의목적은투명전도막중 특히, AZO 투명전도막에대한전기전도도향상에대해좀 더원리적인접근에기인한후처리방법을제안하고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은, AZO 투명전도막에자외선을처리함으로써전기전도도를향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여후처리공정을실시하여전기전도도로향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여처리하고난 다음다시자외선을조사하는복합적인후처리공정을제공하였다.
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公开(公告)号：KR101811927B1
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：KR1020150157073
申请日：2015-11-10
Applicant: 군산대학교산학협력단
IPC: H01B13/00 , H01B1/08 , H01B5/14 , H01B13/016 , H05B3/00
Abstract: 본발명의목적은투명전도막중 특히, AZO 투명전도막에대한전기전도도향상에대해좀 더원리적인접근에기인한후처리방법을제안하고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은, AZO 투명전도막에자외선을처리함으로써전기전도도를향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여후처리공정을실시하여전기전도도로향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여처리하고난 다음다시자외선을조사하는복합적인후처리공정을제공하였다.
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