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公开(公告)号：WO2014163267A1
公开(公告)日：2014-10-09
申请号：PCT/KR2013/009636
申请日：2013-10-28
Applicant: 군산대학교산학협력단
Inventor： 권성구
IPC: H01B13/00
CPC classification number: G02F1/13439 , G02F2001/133302
Abstract: 본 발명은 ITO를 대체할 수 있는 ABZO 투명전도막의 제조방법에 관한 것으로 좀 더 간편하고 저비용으로 ABZO 투명전도막을 제공하고자 제안된 것이다. 본 발명에 따르면, LCD 용 유리기판에 붕소를 열 확산 또는 증기 확산시킨 후, AZO층을 형성하고, 이를 어닐링 하여 AZO층에 붕소가 확산 되게 하여 ABZO로 된 투명전도막 기판 제조 방법을 제공함으로써 ITO에 필적하는 전기전도도와 투명도를 구비한 투명전도막을 양산성 있는 제조방법을 제공하였다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制备能够替代ITO的ABZO透明导电膜的方法，以更便于地以低成本提供ABZO透明导电膜。 根据本发明，提供一种通过在用于LCD的玻璃基板上的硼的热扩散或蒸汽扩散之后形成AZO层来制备由ABZO制成的透明导电膜的方法，并且允许硼在AZO中扩散 从而提供能够大量生产具有与ITO的导电性和透明度相同的导电性和透明性的透明导电膜的制备方法。
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公开(公告)号：WO2016072540A1
公开(公告)日：2016-05-12
申请号：PCT/KR2014/010637
申请日：2014-11-06
Applicant: 군산대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 플라즈마를 이용한 플라이 애시의 미연탄소 제거방법에 관한 것이다. 본 발명은 보다 구체적으로, 플라즈마의 처리 공정에서 가스 종류를 산소로 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 플라이 애시의 미연탄소 제거방법을 제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及使用等离子体除去飞灰的未燃烧碳的方法。 更具体地说，本发明提供了一种利用等离子体除去飞灰的未燃碳的方法，其特征在于，等离子体处理工艺中使用的气体种类是氧气。
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公开(公告)号：KR101723308B1
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：KR1020150157067
申请日：2015-11-10
Applicant: 군산대학교산학협력단
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18 , H01L31/0392
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명의목적은투명전도막중 특히, AZO 투명전도막에대한전기전도도향상에대해좀 더원리적인접근에기인한후처리방법을제안하고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은, AZO 투명전도막에자외선을처리함으로써전기전도도를향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여후처리공정을실시하여전기전도도로향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여처리하고난 다음다시자외선을조사하는복합적인후처리공정을제공하였다.
Abstract translation: 本发明的一个目的是提出一种后处理方法，这是由于改善透明导电膜，尤其是AZO透明导电膜的导电性的更基本的方法。 根据上述目的，本发明提供了一种通过在AZO透明导电膜上处理紫外线来改善导电性的方法。 此外，本发明提供了通过用氢和氩混合物筛将等离子体放电到AZO透明导电膜以执行后处理工艺来提高电导率的方法。 此外，本发明提供复杂的后处理工艺，其中通过用氢和氩混合物筛子排出等离子体来处理AZO透明导电膜，然后再次用紫外线照射。
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公开(公告)号：KR101811927B1
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：KR1020150157073
申请日：2015-11-10
Applicant: 군산대학교산학협력단
IPC: H01B13/00 , H01B1/08 , H01B5/14 , H01B13/016 , H05B3/00
Abstract: 본발명의목적은투명전도막중 특히, AZO 투명전도막에대한전기전도도향상에대해좀 더원리적인접근에기인한후처리방법을제안하고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은, AZO 투명전도막에자외선을처리함으로써전기전도도를향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여후처리공정을실시하여전기전도도로향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여처리하고난 다음다시자외선을조사하는복합적인후처리공정을제공하였다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150035247A
公开(公告)日：2015-04-06
申请号：KR1020130115574
申请日：2013-09-27
Applicant: 군산대학교산학협력단
Inventor： 권성구
IPC: C23C16/455 , C23C16/50 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/45565 , C23C16/452 , C23C16/45544 , C23C16/45574 , C23C16/5096
Abstract: 본발명은반도체소자제조공정에서화학기상증착장비의챔버내부로기체상태의원료를분사하는샤워헤드및 이를구비한박막장치에관한것으로, 상기샤워헤드는플라즈마생성부를통해공정가스를플라즈마처리하여유도되는라디칼과, 유기금속전구체가별개의통로를통해분사공간으로분사되기때문에라디칼과의접촉으로인한유기금속전구체의손상을방지할수 있으며, 분사노즐의장방비를조절하여플라즈마의소실을최소화시켜분사공간으로전달시킬수 있어균일하고, 빠르고효율적으로금속박막을증착할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于在半导体器件制造工艺期间将气态原料注入化学气相沉积装置的室中的喷头，以及具有该喷淋头的薄膜装置。 淋浴头防止由于与作为由等离子体生产部件进行等离子体处理的工艺气体形成的自由基接触而引起的有机金属前体的损坏，并且由于有机金属前驱体通过分开的通道注入到注入空间中; 并且均匀，快速且有效地执行金属薄膜的沉积，因为调节喷嘴的纵横比以最小化待输送到喷射空间的等离子体的损失。
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公开(公告)号：KR1020140134437A
公开(公告)日：2014-11-24
申请号：KR1020130054292
申请日：2013-05-14
Applicant: 군산대학교산학협력단
CPC classification number: Y02W30/92 , B01J19/08 , B01J2219/0894 , C04B18/08
Abstract: 본 발명은 플라즈마를 이용한 플라이 애시의 미연탄소 제거방법에 관한 것이다. 본 발명은 보다 구체적으로, 플라즈마의 처리 공정에서 가스 종류를 산소로 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 플라이 애시의 미연탄소 제거방법을 제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及使用等离子体去除飞灰中的未燃烧碳的方法。 更具体地，本发明提供了一种使用等离子体除去飞灰中的未燃烧碳的方法，其在等离子体工艺中使用氧气作为一种气体。
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公开(公告)号：KR1020170055028A
公开(公告)日：2017-05-19
申请号：KR1020150157073
申请日：2015-11-10
Applicant: 군산대학교산학협력단
IPC: H01B13/00 , H01B1/08 , H01B5/14 , H01B13/016 , H05B3/00
Abstract: 본발명의목적은투명전도막중 특히, AZO 투명전도막에대한전기전도도향상에대해좀 더원리적인접근에기인한후처리방법을제안하고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은, AZO 투명전도막에자외선을처리함으로써전기전도도를향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여후처리공정을실시하여전기전도도로향상시키는방법을제공하였다. 또한, 본발명은, AZO 투명전도막에수소와아르곤혼합기체로플라즈마를방전하여처리하고난 다음다시자외선을조사하는복합적인후처리공정을제공하였다.
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公开(公告)号：KR101314907B1
公开(公告)日：2013-10-04
申请号：KR1020130095133
申请日：2013-08-12
Applicant: 군산대학교산학협력단
Inventor： 권성구
IPC: H01B13/00
CPC classification number: G02F1/13439 , G02F2001/133302
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing an ABZO transparent conductive layer is provided to improve transparency by annealing a glass substrate after boron is diffused on the glass substrate. CONSTITUTION: Boron is thermally diffused on a glass substrate for an LCD. The boron is diffused on the glass substrate for the LCD with vapor. An AZO layer (200) is formed by diffusion processes. The AZO layer is annealed. The boron is diffused on the AZO layer. [Reference numerals] (100) Glass substrate for an LCD; (AA) Gas phase boron diffusion; (BB) Deposit an AZO layer (200); (CC) Annealing: boron diffusion
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造ABZO透明导电层的方法，用于在玻璃基板上扩散硼之后通过玻璃基板退火来提高透明度。 结论：硼在玻璃基板上热扩散到LCD上。 硼在蒸汽的玻璃基板上扩散。 通过扩散工艺形成AZO层（200）。 AZO层退火。 硼在AZO层上扩散。 （附图标记）（100）LCD的玻璃基板; （AA）气相硼扩散; （BB）沉积AZO层（200）; （CC）退火：硼扩散
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公开(公告)号：KR101027377B1
公开(公告)日：2011-04-11
申请号：KR1020100094893
申请日：2010-09-30
Applicant: 군산대학교산학협력단 , 한국과학기술연구원
Inventor： 권성구
IPC: H01L31/04 , H01L31/0224
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/04 , H01L31/0224
Abstract: PURPOSE: A ZnO dual structure transparent electrode, a manufacturing method thereof, and a solar cell using the same are provided to increase electric energy with low costs by forming a dual transparent electrode. CONSTITUTION: A ZnO layer of a texture structure is formed on a glass substrate(500) in a (110) direction. A ZnO layer with high electric conductivity is formed on the texture ZnO layer in a (100) or (101) direction. The ZnO layer in the (100) or (101) direction is contacted with a light absorbing layer. The ZnO layer in the (110) direction and the ZnO layer in the (100) or (101) direction are made with a CVD(Chemical Vapor Deposition) method.
Abstract translation: 目的：提供一种ZnO双结构透明电极及其制造方法以及使用其的太阳能电池，通过形成双透明电极，以低成本增加电能。 构成：在（110）方向的玻璃基板（500）上形成纹理结构的ZnO层。 在（100）或（101）方向的结构ZnO层上形成具有高导电性的ZnO层。 （100）或（101）方向的ZnO层与光吸收层接触。 （110）方向的ZnO层和（100）或（101）方向的ZnO层由CVD（化学气相沉积）法制成。
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