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发明授权
게이트 밸브 장치, 진공 처리 장치 및 게이트 밸브 장치에 있어서의 밸브체의 개방 방법 有权
Title translation: 门阀装置，真空过程和在门阀设备中打开和关闭阀体的方法

公开(公告)号：KR101037846B1

公开(公告)日：2011-05-31

申请号：KR1020080098326

申请日：2008-10-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나베야마유키

IPC: H01L21/205 , H01L21/02 , H01L21/68 , G02F1/13

Abstract: 본 발명의 목적은 파티클(particle)의 발생이나 기구부 수명 저하를 생기게 하는 일 없이, 동작 시간을 목표 시간에 마치는 것이 가능한 게이트 밸브 장치를 제공하는 것이다. 진공 처리실(10)의 측벽에 마련된 유리 기판(G)의 반입·반출용의 반입·반출구(10a)를 개폐하기 위한 게이트 밸브 장치(30)는, 반입·반출구(10a)를 개폐하는 밸브체(33)와, 밸브체(33)를 구동시키는 에어 실린더(36)와, 밸브체(33)의 위치에 따라서 밸브체(33)의 이동 속도를 다르게 하도록 밸브체(33)의 구동을 제어하는 에어 구동 회로(60)를 구비한다.

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