公开(公告)号：KR1020150046739A

公开(公告)日：2015-04-30

申请号：KR1020140141741

申请日：2014-10-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나베야마유키 ,  다나카세이지

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  F16K3/06 ,  F16K25/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67772 ,  F16K3/06 ,  F16K25/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67126

Abstract: 본발명은밸브체와처리용기와의도통을확보하면서, 밸브체및 처리용기의손상을저감하며, 금속파티클의발생을억제할수 있는게이트밸브장치를제공한다. 밸브시트플레이트(204)는프레임형상을이루며, 기판반송용개구(1b1)와거의동등한크기의개구(204a)를갖는다. 밸브시트플레이트(204)는금속등의도전성재료에의해서구성되며, 밸브체(202)에의해서기판반송용개구(1b1)를폐색한상태에서밸브체(202)와처리용기(1)와의사이에개재한다. 밸브시트플레이트(204)와실드링(232, 242)을동종의금속재료로구성하는것에의해서, 이종금속사이의접촉을줄이고, 금속파티클의발생을억제한다.

Abstract translation: 提供一种闸阀装置，其确保阀和处理室之间的电连接，减少对阀单元和处理室的损坏，并且可以防止金属颗粒的产生。 阀片板（204）具有框架形状和与用于基板转印的开口（1b1）大致相同尺寸的开口（204a）。 阀片板（204）由诸如金属等的导电材料制成，并且插入在阀单元（202）和处理室（1）之间，而用于基板转印的开口（1b1）被阀闭合 单元（202）。 阀片板（204）和屏蔽环（232,242）由均匀的金属材料制成，从而减少非均质金属材料之间的接触，并防止金属颗粒的产生。

公开(公告)号：KR1020100108216A

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：KR1020100023113

申请日：2010-03-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사사키카즈오 ,  나베야마유키

IPC: F16K51/02 ,  F16K49/00 ,  F16K3/18 ,  H01L21/02

Abstract: PURPOSE: A gate valve apparatus is provided to enable a connector to supply the power to a heater in a state a valve body closes an opening. CONSTITUTION: A gate valve apparatus comprises a valve body(12), a valve body moving unit, a heater(13) and a connector(30). The valve body controls the opening installed on a wall by which a space is divided into two sub spaces. The valve body moving unit moves the valve body to control the opening by the valve body. The heater heats the valve body. The connector is electrically connected to the heater. The connector can be electrically and physically connected to a power output unit which outputs the power supplied to the heater.

Abstract translation: 目的：提供一种闸阀装置，用于使得连接器能够在阀体关闭开口的状态下向加热器供电。 构成：闸阀装置包括阀体（12），阀体移动单元，加热器（13）和连接器（30）。 阀体控制安装在墙壁上的开口，通过该开口将空间分成两个子空间。 阀体移动单元移动阀体以通过阀体控制开口。 加热器加热阀体。 连接器电连接到加热器。 连接器可以电气和物理地连接到输出提供给加热器的电力的功率输出单元。

公开(公告)号：KR101033055B1

公开(公告)日：2011-05-06

申请号：KR1020080133089

申请日：2008-12-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나베야마유키

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 진공실에 구비된 게이트 밸브의 작동용 에어의 공급이 부족한 경우에도, 게이트 밸브가 급격하게 개방되는 것을 방지하는 것에 관한 것이다. 압력 제어 기구(201)에서는, 에어 실린더(123)로 공급되는 에어가 정지하면, 메카니컬 밸브(121)의 포트가 전환하고, 에어 오퍼레이터 밸브(113)가 개방되어, 진공 리크용 포트(109), 기체 도입 배관(111) 및 연통 구멍(107)을 거쳐서 진공 상태의 반송실(3) 내에 외부 기체가 조금씩 유입한다. 반송실(3)의 압력 제어는, 체크 밸브(103) 및 버퍼 탱크(105)에 의해 에어 실린더(47)의 작동용 에어를 확보한 상태에서 실행되기 때문에, 게이트 밸브(7b)의 급격한 개방이 방지된다.

公开(公告)号：KR1020090071436A

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：KR1020080133089

申请日：2008-12-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나베야마유키

IPC: H01L21/02

Abstract: A vacuum system, and a method of controlling the pressure of vacuum chamber and a vacuum processing system are provided to use even in case the power supply stops with the power outage by controlling the opening and shutting of the first switching tool by using the first control gas. A gate valve(7b) is operated by the operation gas supplied from a gas source. A vacuum chamber is maintained into the vacuum condition by the gate valve. A through hole(107) is formed in the wall of the vacuum chamber in order to introduce the outside gas within the vacuum chamber. One end side of piping(111) is connected to the through hole. A vacuum leaking port(109) is formed at the other end side of piping. An air piping(115) for control is connected to the air operator valve(113). Opening and shutting of the air operator valve are controlled by the first control air.

Abstract translation: 提供真空系统和控制真空室的压力的方法和真空处理系统，以便即使在通过使用第一控制来控制第一开关工具的打开和关闭的情况下电源停止而停电 加油站。 闸阀（7b）由从气体源供给的操作气体操作。 真空室由闸阀保持在真空状态。 在真空室的壁中形成通孔（107），以将外部气体引入真空室内。 管道（111）的一端连接到通孔。 在管道的另一端侧形成真空泄漏口109。 用于控制的空气管道（115）连接到空气操作器阀（113）。 打开和关闭空气操作阀由第一控制空气控制。

公开(公告)号：KR1020100064346A

公开(公告)日：2010-06-14

申请号：KR1020090119209

申请日：2009-12-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나베야마유키 ,  아마노츠토무 ,  와카모리츠토무

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67772 ,  F16K3/029 ,  F16K51/02 ,  H01L21/67201

Abstract: PURPOSE: A load lock device and a vacuum processing system are provided to prevent the generation of a particle due to an abrasion of a seal material by controlling the displacement of s seal surface on both ends of a partition. CONSTITUTION: A load lock device includes a vacuum preparing chamber with two up and down stages blocked with a partition(47). A pair of slits(101,102) are formed on the partition to vertically pass through the partition. The inside of the slit is a cavity and the upper and lower openings of the slit are sealed with an elastic plate. A reinforcement member is arranged to resist compressive force applied to the width direction of the slit. A partition includes a pressure control hole(50) from the inside of the slit to the seal surface.

Abstract translation: 目的：提供一种装载锁定装置和真空处理系统，以通过控制分隔件两端的密封表面的位移来防止由于密封材料的磨损而产生的颗粒。 构成：装载锁定装置包括具有用分隔件（47）封闭的两个上下级的真空准备室。 在隔板上形成一对狭缝（101,102），以垂直地穿过隔板。 狭缝的内部是空腔，狭缝的上下开口用弹性板密封。 加强构件被布置成抵抗施加到狭缝的宽度方向的压缩力。 分隔件包括从狭缝的内部到密封表面的压力控制孔（50）。

公开(公告)号：KR1020090047349A

公开(公告)日：2009-05-12

申请号：KR1020080098326

申请日：2008-10-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나베야마유키

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/02 ,  H01L21/68 ,  G02F1/13

Abstract: 본 발명의 목적은 파티클(particle)의 발생이나 기구부 수명저하를 생기게 하는 일 없이, 동작 시간을 목표 시간에 마치는 것이 가능한 게이트 밸브 장치를 제공하는 것이다.
진공 처리실(10)의 측벽에 마련된 유리 기판(G)의 반입·반출용의 반입·반출구(10a)를 개폐하기 위한 게이트 밸브 장치(30)는, 반입·반출구(10a)를 개폐하는 밸브체(33)와, 밸브체(33)를 구동시키는 에어 실린더(36)와, 밸브체(33)의 위치에 따라서 밸브체(33)의 이동 속도를 다르게 하도록 밸브체(33)의 구동을 제어하는 에어 구동 회로(60)를 구비한다.

公开(公告)号：KR102100032B1

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：KR1020180050946

申请日：2018-05-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오모리다카시 ,  나베야마유키 ,  사에구사나오야 ,  이토다케시

IPC: F16K3/314 ,  F16K27/04 ,  F16K51/02 ,  H01L21/3065

公开(公告)号：KR101124922B1

公开(公告)日：2012-03-27

申请号：KR1020090119209

申请日：2009-12-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나베야마유키 ,  아마노츠토무 ,  와카모리츠토무

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67

Abstract: 본 발명은 다단의 진공 예비실을 갖는 로드록 장치에 있어서, 격벽의 변형에 기인하는 파티클의 발생을 방지한다. 로드록 장치(5)는 격벽(47)에 의해 가로막힌 상하 2단의 진공 예비실(27a, 27b)을 갖고 있다. 격벽(47)에는 상하로 관통하는 한쌍의 슬릿(101, 102)이 형성되어 있다. 슬릿(101)의 내부는 공동이며, 슬릿(101)의 상하의 개구 부분은 탄성판(61)에 의해 밀봉되어 있다. 슬릿(101) 내에는 슬릿(101)의 폭방향으로 가해지는 압축력에 저항하도록 보강 부재(71)가 배치되어 있다. 격벽(47)에는 슬릿(101, 102)의 내부로부터 시일면(47a, 47b)에 각각 도달하는 압력 조정 구멍(50)이 마련되어 있다.

公开(公告)号：KR1020180006473A

公开(公告)日：2018-01-17

申请号：KR1020180002099

申请日：2018-01-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나베야마유키 ,  다나카세이지

IPC: H01L21/677 ,  F16K3/06 ,  F16K25/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67772 ,  F16K3/06 ,  F16K25/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67126

Abstract: 본발명은밸브체와처리용기와의도통을확보하면서, 밸브체및 처리용기의손상을저감하며, 금속파티클의발생을억제할수 있는게이트밸브장치를제공한다. 밸브시트플레이트(204)는프레임형상을이루며, 기판반송용개구(1b1)와거의동등한크기의개구(204a)를갖는다. 밸브시트플레이트(204)는금속등의도전성재료에의해서구성되며, 밸브체(202)에의해서기판반송용개구(1b1)를폐색한상태에서밸브체(202)와처리용기(1)와의사이에개재한다. 밸브시트플레이트(204)와실드링(232, 242)을동종의금속재료로구성하는것에의해서, 이종금속사이의접촉을줄이고, 금속파티클의발생을억제한다.

Abstract translation: 本发明提供一种能够在确保阀芯与处理容器之间的导通的同时抑制金属粒子的产生并且减少阀芯和处理容器的损伤的门阀装置。 阀座板204具有框架形状并且具有开口204a，开口204a具有与基板运送开口1b1大致相同的尺寸。 阀座板204由金属等导电性材料构成，在阀体202关闭基板搬运用开口1b1的状态下介于阀体202与处理容器1之间。 的。 阀座板204和密封模具232和242由相同的金属材料制成，以减少不同金属之间的接触并抑制金属颗粒的产生。

公开(公告)号：KR101215578B1

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：KR1020100023113

申请日：2010-03-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사사키카즈오 ,  나베야마유키

IPC: F16K51/02 ,  F16K49/00 ,  F16K3/18 ,  H01L21/02

Abstract: 개구부를개폐하기위한밸브체에히터를장착하고, 이히터에용이하게전력을공급할수 있도록한다. 게이트밸브장치(10)는, 인접하는 2 개의공간을구획하는벽에설치된개구부(112)를개폐하기위한밸브체(12)와, 밸브체(12)를이동시키는밸브체이동장치(20)와, 밸브체(12)를가열하기위한히터(13)와, 히터(13)에전기적으로접속되어있고또한, 히터(13)로공급되는전력을출력하는전력출력부에대하여전기적및 물리적으로접속가능한커넥터를구비하고있다. 밸브체(12), 히터(13) 및커넥터는일체화되어있다. 커넥터는, 밸브체(12)가개구부(112)를폐색한상태에서는전력출력부에대하여전기적및 물리적으로접속되고, 밸브체(12)가개구부(112)를개방한상태에서는전력출력부로부터전기적및 물리적으로괴리되도록밸브체(12)와연동한다.