公开(公告)号：KR100272187B1

公开(公告)日：2000-12-01

申请号：KR1019930024101

申请日：1993-11-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  동경 엘렉트론 에이티 주식회사

Inventor： 나카사카무네토시 ,  아베유우이치 ,  야마구치마사오

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/07314 ,  G01R1/073 ,  G01R31/2831

Abstract: 프로우브장치는, 복수의 칩이 규칙적으로 배열된 반도체웨이퍼를, 칩이 실질적으로 XY면내에 위치하도록 위치하는 스테이지와, 이 스테이지상의 웨이퍼와 마주보고, 칩의 패드에 각각 대응하여 설치되고, 웨이퍼상의 모든 패드에 대하여 일괄하여 접촉되는 다수의 콘택터와, 이들 콘택터를 통하여 테스트신호를 칩회로에 보내고, 또한 테스트신호를 수신하는 테스터와, 스테이지를 Z축방향으로 승강시키는 승강기구와, 스테이지를 X축방향 및 Y축방향으로 각각 이동시키는 얼라이먼트기구와, 이 얼라이먼트기구 및 승강기구를 제어하는 콘트롤러를 가진다.

公开(公告)号：KR100133035B1

公开(公告)日：1998-04-16

申请号：KR1019930013466

申请日：1993-07-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마구치마사오

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/07371

Abstract: 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 우한 프로우브 장치는, 장치본체와, 여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단과, 상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구를 가지고 있다.
프로우브 카드 유지구는 프로우브 카드를 사용하여 피검사대상을 측정하기 위한 정보를 기억하기 위한 기억수단이 설치되어 있다.