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公开(公告)号：KR1020060081537A
公开(公告)日：2006-07-13
申请号：KR1020050002017
申请日：2005-01-10
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01N33/544 , C12Q1/6837 , C12Q1/00 , C12Q1/701 , G01N33/53
Abstract: 생분자칩 및 이를 제조하는 방법이 개시된다. 본 생분자칩은 기판; 상기 기판 상부에 형성된 절연층; 상기 절연층 상부에 형성되고 소정 영역에 패터닝 되어 홀이 형성된 접착층; 상기 접착층 상부에 형성되고 상기 접착층과 같은 영역에 패터닝 되어 홀이 형성된 시드층(seed layer); 상기 시드층 상부에 형성되고 상기 시드층과 같은 영역에 패터닝 되어 홀이 형성된 전기도금층; 및 상기 전기 도금층 상부에 형성된 생분자 고정층;을 포함하며, 상기 생분자 고정층의 형성 전에 상기 전기 도금층이 플라즈마 처리되어 있다. 본 발명에 따르면, 기재의 표면 개질을 통해서 생분자의 고정이 효율적으로 향상되는 생분자칩을 제공할 수 있는 효과가 있다.
생분자, 플라즈마, RIE-
公开(公告)号：KR1020060081505A
公开(公告)日：2006-07-13
申请号：KR1020050001850
申请日：2005-01-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C12Q1/68
CPC classification number: G01N33/54373 , C12Q1/6876
Abstract: 바이오결합 유무에 따른 프로브 생분자가 형성된 무선 안테나를 통해 전송되는 신호의 변화를 측정함으로써 바이오결합을 검출하는 무선 안테나를 이용한 바이오결합 검출장치 및 그 방법이 개시된다. 본 무선 안테나를 이용한 바이오결합 검출장치는 분석하고자 하는 시료가 포함한 특정 유전 정보를 탐색할 수 있도록 하는 프로브 생분자가 형성되며, 신호를 전송할 수 있는 안테나를 구비하는 송신부, 및 프로브 생분자와 시료의 바이오결합 전후의 송신부로부터 전송된 신호의 특성을 비교하여 바이오결합 유무를 검출하는 수신부를 포함한다. 이에 의해, 무선 안테나 상부에 프로브 생분자를 형성하여 바이오결합 전후에 무선 안테나를 통해 전송되는 신호 특성 변화를 측정함으로써 용이하게 바이오결합 유무를 검출할 수 있다.
안테나, RF 안테나, 신호의 특성-
公开(公告)号：KR1020060080992A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：KR1020050001286
申请日：2005-01-06
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01N29/022 , G01N29/2412 , G01N29/2437 , G01N2291/02466 , G01N2291/0256 , G01N2291/0423 , C12Q1/6876 , G06F19/20
Abstract: 생분자가 형성된 변환부 하부에서 초음파를 발생시켜 변환부의 진동 변화를 측정함으로써 바이오결합 유무를 검출하는 초음파를 이용한 바이오결합 검출장치 및 그 방법이 개시된다. 본 초음파를 이용한 바이오결합 검출 장치는 초음파를 발생시키는 발생부, 발생부 상부와 소정거리 이격되어 형성되어 발생된 초음파에 의해 진동을 하며 초음파의 특성을 변화시키는 변환부, 변환부 위에 형성되며, 분석하고자 하는 시료에 포함된 특정 유전 정보를 탐색할 수 있게 하는 프로브 생분자, 변환부 상부와 소정거리 이격되어 형성되는 금속판, 및 프로브 생분자와 시료의 바이오 결합 유무에 따른 변환부와 금속판 사이의 거리가 변화에 의한 캐패시턴스의 변화를 측정하는 분석부를 포함한다. 이에 의해, 초음파를 이용하여 바이오결합 전후의 초음파 신호의 특성 변화 및 캐패시턴스의 변화를 측정함으로써 용이하게 바이오결합 유무를 검출한다.
초음파, 캐패시턴스, 멤브레인, 소닉 필터-
公开(公告)号：KR1020060063123A
公开(公告)日：2006-06-12
申请号：KR1020040102198
申请日：2004-12-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F04B43/04
CPC classification number: F04B19/006 , F04B43/043
Abstract: 구조가 간단한 마이크로 펌프가 개시된다. 본 발명에 의한 마이크로 펌프는, 구동유체의 유입통로와 유출통로가 마련된 펌프챔버; 상기 유입통로를 선택적으로 개폐시키는 제1밸브; 상기 유출통로를 선택적으로 개폐시키는 제2밸브; 및 상기 펌프챔버를 가열 또는 냉각시키기 위한 펌프챔버 냉온유닛;를 포함한다.
마이크로, 펌프, 열전소자, 수직형, 수평형, 공기Abstract translation: 公开了一种结构简单的微型泵。 根据本发明的微型泵包括：具有用于驱动流体的入口通道和出口通道的泵室; 第一阀，其选择性地打开和关闭流入通道; 有选择地打开和关闭流出通道的第二阀; 以及用于加热或冷却泵室的泵室冷却/加热单元。
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公开(公告)号：KR100579552B1
公开(公告)日：2006-05-15
申请号：KR1020040072863
申请日：2004-09-13
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01N33/5438 , G01N33/553
Abstract: 바이오결합 전후의 전기적 특성을 측정하여 바이오결합 유무를 검출하는 바이오결합 검출장치 및 그 방법이 개시된다. 본 바이오결합 검출 장치는 기판 상부의 소정영역에 표면에 단차를 갖는 금속박막이 형성되고, 금속박막 위에 분석하고자 하는 시료에 대한 특정정보를 탐색할 수 있는 프로브 생분자가 형성된 신호변환부, 신호변환부 일측과 연결되며 신호변환부의 전기적 특성을 측정하기 위한 신호가 입력되는 입력포트, 및 신호변환부의 다른 일측과 연결되며 신호변환부의 전기적 특성을 측정하는 특징량검출부를 구비한다. 이에 의해, 표면적이 증가된 금속박막에 프로브 생분자를 고정화시킨 후 바이오결합 전후의 전기적 특성을 측정하여 바이오결합 유무를 검출함으로써 검출력이 향상되고, 바이오결합 검출장치의 구조가 간단하며 고가의 계측장비가 필요하지 않다. 또한, 웨이퍼 팹(wafer fab) 및 패키징(packaging) 공정을 이용하여 바이오결합을 검출함으로써 웨이퍼 레벨로 작업이 가능하여 소형화 및 저가화할 수 있다.
바이오결합, 전기적 특성, 생분자, 금, 표면적, 금속박막-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060012766A
公开(公告)日：2006-02-09
申请号：KR1020040061402
申请日：2004-08-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/1337 , B29C59/02 , B41F17/26 , G02F1/1303 , G02F1/1368
Abstract: 본 발명에 따른 배향막 형성 장치용 고무판의 제조 방법은 EPDM 계열의 고무판을 위치시키는 단계, 고무판의 표면에 기계적 가공을 진행하여 요철 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 기계적 가공은 레이저 가공, 프레스 가공 또는 스퍼터링 중에서 선택된 어느 하나인 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명에 따른 배향막 형성 장치용 고무판의 제조 방법은 노광 장치를 이용하지 않고 기계적 가공으로 고무판에 요철 패턴을 형성함으로써 대형 고무판의 제작이 용이하다는 장점이 있다.
배향막, PI, 아니록스롤, 인쇄롤, 고무판, EPDM, 수지판, 레이저가공-
公开(公告)号：KR100495008B1
公开(公告)日：2005-06-14
申请号：KR1020030011809
申请日：2003-02-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L23/053 , H01L23/02
Abstract: 본 발명은 기판단위로 형성된 복수의 캐비티의 진공도 산포가 최소화되는 기판단위 진공실장방법에 관한 것이다. 이와 같은 진공실장방법은, 밀봉뚜껑의 캐비티와 관통홀을 연통하는 채널을 형성하는 단계; 밀봉뚜껑과 웨이퍼를 접합하는 단계; 및 관통홀의 하부를 적층하여 채널을 밀폐하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판단위 진공실장방법을 제공함으로써 달성된다. 여기서, 채널은 웨이퍼 상이나 밀봉뚜껑 중의 어느 한 곳에 형성되는 것이 바람직하다. 이때, 채널은 관통홀에 전극 금속을 박막증착할 때 증착된 전극 금속에 의해 밀폐되도록 하는 것이 바람직하다.
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公开(公告)号：KR1020020072367A
公开(公告)日：2002-09-14
申请号：KR1020010012244
申请日：2001-03-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06F3/00
CPC classification number: G06F3/016 , G06F3/014 , G06F2203/014
Abstract: PURPOSE: A system and a method for inputting information are provided to improve input speed and accuracy by detecting the motion of fingers in a space or on a plane surface and to enhance recognition rate and reliability by using force and visual feedback and spatial information inputting process. CONSTITUTION: A sensor(510) attached to a specific portion of a hand or a finger. An information input processing unit(550) converts the motion information of the hand or finger into hand or finger position information. On the basis of the position information, a corresponding finger is decided and an information input completion signal is generated from the information input processing unit. A processor(530) transmits finger motion information data to the information input processing unit and receives the information input completion signal of the corresponding finger. An analog-digital converting unit converts the motion information sensed by the sensor into a digital signal. A force generating unit is included in the analog-digital converting unit. A communication module(536) transmits modulated motion information to the information input unit and receives the information input completion signal from the information input unit.
Abstract translation: 目的：提供一种用于输入信息的系统和方法，通过检测手指在空间或平面上的运动来提高输入速度和精度，并通过使用力和视觉反馈和空间信息输入过程来提高识别率和可靠性 。 构成：附接到手或手指的特定部分的传感器（510）。 信息输入处理单元（550）将手或手指的运动信息转换为手或手指位置信息。 基于位置信息，决定相应的手指，并从信息输入处理单元生成信息输入完成信号。 处理器（530）将手指运动信息数据发送到信息输入处理单元，并接收相应手指的信息输入完成信号。 模拟数字转换单元将由传感器感测的运动信息转换为数字信号。 力产生单元包括在模拟数字转换单元中。 通信模块（536）将调制的运动信息发送到信息输入单元，并从信息输入单元接收信息输入完成信号。
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公开(公告)号：KR1020000050397A
公开(公告)日：2000-08-05
申请号：KR1019990000248
申请日：1999-01-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: PURPOSE: An apparatus for controlling a density of semiconductor cleaning chemical is provided to prevent a manufacturing process from being delayed by a controlled density, and to prevent productivity from decreasing, by controlling the density in real time. CONSTITUTION: An apparatus for controlling a density of semiconductor cleaning chemical comprises a storing tank(1), a chemical material supplying element(2), a density detecting element(3), and a system control element(4). The storing tank stores cleaning liquid including a plurality of chemical materials. The chemical material supplying element supplies the plurality of chemical materials to the storing tank separately. The density detecting element measures densities of respective chemical materials among the cleaning liquid in the storing tank, and generates an electrical signal. The system control element determines a quantity of compensation of each chemical material according to the signal from the density detecting element, and supplies the determined quantity of compensation of each chemical material to the storing tank by the chemical material supplying element.
Abstract translation: 目的：提供一种用于控制半导体清洁化学品的密度的装置，以通过实时控制密度来防止制造过程由受控的密度延迟并且防止生产率降低。 构成：用于控制半导体清洁化学品的密度的装置包括储存箱（1），化学物质供应元件（2），密度检测元件（3）和系统控制元件（4）。 存储罐存储包括多种化学材料的清洗液。 化学物质供给元件将多种化学物质分别供给储存罐。 密度检测元件测量存储罐中的清洁液体中的各化学物质的密度，并产生电信号。 系统控制元件根据来自密度检测元件的信号确定每种化学物质的补偿量，并通过化学物质供给元件将确定的每种化学物质的补偿量提供给储存罐。
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公开(公告)号：KR1020000039174A
公开(公告)日：2000-07-05
申请号：KR1019980054424
申请日：1998-12-11
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 강정호
IPC: H01L21/302
Abstract: PURPOSE: A wet station containing a cover with a cooling line is provided to reduce evaporation of a chemical solution and recycle it. CONSTITUTION: A wet station containing a cover with a cooling line comprises a chemical bath(110) having an inner and an outer bath(112, 114), a duct(130) connected to the inner and the outer bath(112, 114), a circulating part(140) connected to the duct(130) to make the chemical solution circulate, a heater(150) connected to the duct(130) between the circulating part(140) and the chemical bath(110), a cover(170) covering the top of the chemical bath(110), wherein the cover(170) is provided with a cooling line(180) to cool a vapor generated from the heated chemical solution, and a frame(160).
Abstract translation: 目的：提供含有冷却管线的盖子的湿站，以减少化学溶液的蒸发并回收。 构成：包含具有冷却管线的盖子的湿站包括具有内浴和外浴（112,114）的化学浴（110），连接到内浴和外浴（112,114）的管道（130） 连接到所述管道（130）以使所述化学溶液循环的循环部分（140），连接到所述循环部分（140）和所述化学浴（110）之间的所述管道（130）的加热器（150），盖 （170），其覆盖所述化学浴（110）的顶部，其中所述盖（170）设置有冷却管线（180）以冷却由所述加热的化学溶液产生的蒸气和框架（160）。
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