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公开(公告)号：KR100737860B1
公开(公告)日：2007-07-12
申请号：KR1020050001850
申请日：2005-01-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C12Q1/68
CPC classification number: G01N33/54373
Abstract: 바이오결합 유무에 따른 프로브 생분자가 형성된 무선 안테나를 통해 전송되는 신호의 변화를 측정함으로써 바이오결합을 검출하는 무선 안테나를 이용한 바이오결합 검출장치 및 그 방법이 개시된다. 본 무선 안테나를 이용한 바이오결합 검출장치는 분석하고자 하는 시료가 포함한 특정 유전 정보를 탐색할 수 있도록 하는 프로브 생분자가 형성되며, 신호를 전송할 수 있는 안테나를 구비하는 송신부, 및 프로브 생분자와 시료의 바이오결합 전후의 송신부로부터 전송된 신호의 특성을 비교하여 바이오결합 유무를 검출하는 수신부를 포함한다. 이에 의해, 무선 안테나 상부에 프로브 생분자를 형성하여 바이오결합 전후에 무선 안테나를 통해 전송되는 신호 특성 변화를 측정함으로써 용이하게 바이오결합 유무를 검출할 수 있다.
안테나, RF 안테나, 신호의 특성-
公开(公告)号：KR100631208B1
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：KR1020040056519
申请日：2004-07-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N27/72
CPC classification number: G01N27/3276 , G01N29/036
Abstract: 전자기유도를 이용한 바이오결합 검출장치 및 이를 이용한 검출 방법이 개시된다. 본 전자기유도를 이용한 바이오결합 검출장치는 일단은 고정되고 다른 일단은 요동가능하게 설치된 컨틸레버, 컨틸레버의 판면 상에 형성되며, 주파수성분을 갖는 신호가 인가되는 제1 금속, 제1 금속 상부에 형성되며, 분석하고자 하는 시료에 대한 특정정보를 탐색할 수 있는 프로브 생분자가 형성된 바이오칩, 제1 금속에 인가되는 신호의 방향과 동일한 평면상에서 신호가 인가되는 방향과 수직한 방향으로 자기장이 형성되도록 하는 전자기유도부, 제1 금속에 주파수성분을 갖는 신호를 인가하는 신호소스부, 및 생분자와 시료의 바이오결합 전후의 각각 제1 금속의 신호값을 측정하는 검출부를 구비한다. 이에 의해, 전자기유도를 이용하여 바이오결합 전후의 물성변화를 전기적인 신호를 변환시켜 바이오결합 여부를 검출함으로써 바이오결합 검출력이 향상되며, 바이오결합 검출시간이 단축된다.
바이오결합, 전자기유도, 컨틸레버, 바이오칩-
公开(公告)号：KR1020060084092A
公开(公告)日：2006-07-24
申请号：KR1020050004095
申请日：2005-01-17
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 히팅 및 쿨링이 가능한 펠티에 소자 상부에 형성되는 생분자의 열에 관한 측정치에 따라 바이오결합 유무를 검출하는 펠티에 소자를 이용한 바이오결합 검출장치 및 그 방법이 개시된다. 본 펠티에 소자를 이용한 바이오결합 검출장치는 전류방향의 전환에 의해 히팅과 쿨링이 가능한 펠티에(peltier) 소자, 펠티에 소자 상부에 형성되며, 분석하고자 하는 시료가 포함한 특정 유전정보를 탐색할 수 있는 프로브 생분자, 및 프로브 생분자와 시료의 바이오결합 전후의 펠티에 소자의 히팅에 의한 열에 관한 측정치를 계산하는 검출부를 포함한다. 이에 의해, 히팅과 쿨링이 가능한 펠티에 소자를 이용하여 바이오결합을 검출함으로써, 펠티에 소자에 의해 발생한 열을 검출한 후 단시간내에 쿨링시켜 반복적으로 발생하는 열을 측정하여 바이오결합의 검출력을 향상시킬 수 있다.
펠티에, 열변화량-
公开(公告)号：KR1020060083251A
公开(公告)日：2006-07-20
申请号：KR1020050003687
申请日：2005-01-14
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N27/22
Abstract: 병원균 분석, 유전자 분석, 생체 정보분석 등에 사용되는 가변 정전용량 소자, 이것을 이용한 바이오물질 검출장치, 및 바이오물질 검출방법이 개시된다. 가변 정전용량 소자는 서로 소정 간극을 두고 배치된 제1 및 제2전극, 및 제1 및 제2전극의 간극이 변화될 수 있도록 제1 및 제2전극 중 하나를 움직일 수 있게 지지하는 전극이동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 가변 정전용량 소자가 제1 및 제2 전극 사이의 간극을 변화시킬 수 있는 전극이동부를 구비함으로써, 제1 및 제2 전극의 표면에 인식물질을 고정하거나 검출할 특정물질을 포함할 가능성이 있는 물질을 투입할 때는 제1 및 제2 전극 사이의 간극을 확대시켜 특정물질이 제1 및 제2 전극의 표면에 쉽게 고정되게 하거나 특정물질과 인식물질의 반응이 쉽게 이루어지도록 할 수 있는 반면, 특정물질과 인식물질의 반응을 검출할 때는 제1 및 제2 전극 사이의 간극을 1미크론 이하로 축소시켜서 반응검출의 정확도를 높일 수 있다.
바이오, 센서, 정전용량, 가변, 전극, 이동-
公开(公告)号：KR100555659B1
公开(公告)日：2006-03-03
申请号：KR1020030094448
申请日：2003-12-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B60C23/04
CPC classification number: B60C23/0411
Abstract: 본 발명에 따른 자가 발전형 센싱 모듈 및 그것을 사용하는 타이어 공기압 모니터링 시스템은 타이어의 온도, 압력, 및 가속도 중의 최소한 하나를 측정하는 최소한 하나의 센서를 구비하는 센서 유니트; 및 타이어의 동작시 타이어에 의해 기계적으로 변형되어 전력을 발전하고 센서 유니트의 센서의 작동에 필요한 전력을 센서에 공급하는 전력 발전 유니트를 포함한다. 본 발명의 자가발전형 센싱 모듈 및 그것을 사용하는 타이어 공기압 모니터링 시스템은 별도의 전원을 사용하지 않고 기계적인 변형에 의해 전력을 발생하는 발전 유니트를 전원으로 사용하므로, 센싱 모듈의 전지를 교체하는 번거로운 작업을 필요없게 함과 동시에 유지 비용을 절감시키는 효과를 제공한다.
자기발전, 센서, 전원, 공급, 타이어, 공기압, 모니터링-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060009483A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：KR1020040057898
申请日：2004-07-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N1/28
CPC classification number: B01L3/50273 , B01L3/502715 , B01L2200/10 , B01L2300/049 , B01L2400/049 , B01L2400/06 , G01N1/286 , B01L9/527 , G01N2035/00158
Abstract: A bio sample processing apparatus and method using vacuum chambers in which a bio sample is injected into a first vacuum chamber connected with one end of a bio processor and, after processing, is ejected into a second vacuum chamber connected with the other end of the bio processor. The vacuum chambers and bio processor are connected with each other to form an environment with a pressure lower than atmospheric pressure, and the bio sample moves toward the second vacuum chamber due to the pressure difference created by the injection of the bio sample into the first vacuum chamber.
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公开(公告)号：KR1020010077392A
公开(公告)日：2001-08-17
申请号：KR1020000005168
申请日：2000-02-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: PURPOSE: An apparatus for detecting operation of a robot chuck of semiconductor cleaning equipment is provided to prevent damage to a wafer, by making a sensor smoothly detect an operation according to a transfer of a cam plate, and by precisely controlling the operation of the robot chuck by the sensor. CONSTITUTION: The first detection unit includes a bar set up in an end portion of a driving axis(12,14) and a sensor for detecting the transfer of the bar so that the transfer of the driving axis connected to a cam plate(38) is detected. The second detection unit includes a bar set up in the cam plate and a sensor for detecting the transfer of the bar so that the transfer of the cam plate is detected.
Abstract translation: 目的：提供一种用于检测半导体清洁设备的机器人卡盘的操作的装置，以防止损坏晶片，通过使传感器平滑地检测到根据凸轮板的传递的操作，并且通过精确地控制机器人的操作 由传感器卡住。 构成：第一检测单元包括设置在驱动轴线（12,14）的端部中的杆和用于检测杆的传递的传感器，使得连接到凸轮板（38）的驱动轴的传递， 被检测到。 第二检测单元包括设置在凸轮板中的杆和用于检测杆的传递的传感器，从而检测到凸轮板的传递。
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公开(公告)号：KR1019970077414A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960017096
申请日：1996-05-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 웨이퍼가 스페이스 체이저의 웨이퍼 삽입홈을 이탈하여 웨이퍼 삽입홈 상부에 넘어져 있을 때, 이를 감지하는 잔류 웨이퍼의 이중 감지 시스템 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 목적은 수평 상태의 웨이퍼 검지 광섬유 센서를 웨이퍼 삽입홈과 삽입홈 사이의 이격 공간에 형성하여 스페이스 체인저의 웨이퍼 삽입홈 상부에 수평으로 넘어져 있는 웨이퍼를 감지하는 잔류 웨이퍼를 이중으로 감지하는 시스템 및 감지 방법으로 제공함에 있다.
본 발명의 효과는 웨이퍼의 수직·수평 셋팅 상태를 감지하는 이중 감지 센서를 스페이스 체인저에 형성하여 웨이퍼 상태를 상호 보완하여 웨이퍼의 파손을 막고 공정 진행을 원활하게 함에 있다.-
公开(公告)号：KR1019960039170A
公开(公告)日：1996-11-21
申请号：KR1019950009797
申请日：1995-04-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 반도체 제조장비의 순환 배관 시스템에 있어서, 에어 동작 밸브(Air Operated Valve)의 오픈/클로우즈(open/close) 상태를 전기적으로 감지할 수 있는 에어동작밸브의 구동시스템을 개시한다. 본 발명은 시스템 컨트롤러의 제어신호에 의해 구동되는 솔레노이드 밸브, 상기 솔레노이드 밸브에 접속되어 솔레노이드 밸브의 구동상태에 따라 공기의 흐름을 제어하는 에어포트, 상기 에어포트의 에어라인에 접속되고 유입되는 공기의 공기압에 의해 구동되어 유체의 흐름을 제어하는 에어동작밸브, 및 상기 에어동작밸브의 열림/닫힘 상태를 감지하여 상기 시스템 컨트롤러에 에어밸브의 구동상태를 알려주기 위한 감지수단을 포함하여, 에어밸브의 오동작 및 불량에 신속히 대처함과 아룰러 이상 발생시 관련 장비들의 손상을 방지할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100667339B1
公开(公告)日：2007-01-12
申请号：KR1020050002406
申请日：2005-01-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N27/04
CPC classification number: G01N27/3271
Abstract: 본 발명은 적외선의 흡수량에 따라 전압이 변하는 것을 이용하여 표적물질을 검출하는 바이오 센서에 관한 것이다. 본 발명에 의한 바이오 센서는 적외선 흡수량에 따라 저항이 변하는 적외선 흡수체 및 적외선 흡수체에 고정되며 표적물질과 선택적으로 반응 및 결합하는 생체감지물질을 포함하며, 생체감지물질이 표적물질과 반응 및 결합하였는지 여부에 따라 적외선 흡수체에 유기되는 전압이 변화한다.
적외선, 흡수량, 적외선 흡수체, 전압변화, 저항변화
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