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公开(公告)号：KR1019940005140B1
公开(公告)日：1994-06-11
申请号：KR1019910024380
申请日：1991-12-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김동일
IPC: H02P21/00
Abstract: The induction motor control apparatus and method is includes a stator q-axis current instruction generator for receiving the output of a first comparator; a second comparator for receiving the output of the current instruction generator; a variable structure controller for receiving the outputs of the first and second comparators; and 2-phase-to-3-phase converter for receiving the outputs of the variable structure controller and a magnetic flux maintainer, thereby compensating for an influence of disturbance which is smaller than the output of the induction motor.
Abstract translation: 感应电动机控制装置和方法包括用于接收第一比较器的输出的定子q轴电流指令发生器; 第二比较器，用于接收当前指令发生器的输出; 可变结构控制器，用于接收第一和第二比较器的输出; 以及用于接收可变结构控制器和磁通量保持器的输出的2相到3相转换器，从而补偿小于感应电动机的输出的干扰的影响。
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公开(公告)号：KR1019940004955B1
公开(公告)日：1994-06-07
申请号：KR1019910017138
申请日：1991-09-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김동일
IPC: H02P5/00
Abstract: The controller is for controlling AC servo motors regardless of types of a position sensor. The controller comprises a one-chip microprocessor (1) for calculating the speed and absolute position of permanent magnet rotor of a motor from the pulse train of the encoder attached to a motor and for calculating speed error between the calculated speed and a command speed and for generating three phase current commands of the motor, three current controllers for controlling the currents of respective phases of the motor calculating through three PWM signal distributors (17) and a inverter according to the current commands.
Abstract translation: 控制器用于控制交流伺服电机，而不管位置传感器的类型如何。 该控制器包括一个单芯片微处理器（1），用于根据安装在电机上的编码器的脉冲串计算电动机永磁转子的速度和绝对位置，并计算计算出的速度与指令速度之间的速度误差， 用于产生电动机的三相电流指令，三个电流控制器，用于通过三个PWM信号分配器（17）和根据当前命令的逆变器来控制电动机的各相的电流。
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公开(公告)号：KR1019940010480A
公开(公告)日：1994-05-26
申请号：KR1019920019485
申请日：1992-10-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H02P7/00
Abstract: 본 발명은 제어신호의 주파수를 변화시켜 유도전동기의 속도를 조절하는 단상 유도전동기의 속도조절장치에 관한 것으로써, 유도전동기의 속도를 선택하기 의한 동작개시 신호 및 속도명령신호를 신호입력수단과, 상기 신호입력수단으로부터 출력되는 속도명령신호를 받아서 원하는 주파수의 정현파 신호를 만들도록 디지탈 데이타로 변환하여 출력하는 마이크로컴퓨터와, 상기 마이크로컴퓨터로부터 출력되는 디지탈 데이타를 받아서 아날로그 데이타로 변환하여 정현파 신호를 출력하는 D/A변환기와, 삼각파신호를 발생하는 삼각파 발생기와, 상기 D/A변환기로부터 출력되는 정현파신호를 입력받음과 동시에 상기 삼각파발생기로부터 출력되는 삼각파신호를 입력받아 이들을 비교해서 모터의 속도를 조절하기 위한 제어신호를 입력하는 비교기와, 상기 비교기로부터 출력되는 제어신호를 받아서 직류전원을 원하는 주파수의 교류전원으로 변환시켜 상기 모터를 구동하는 인버터로 이루어진 것은 특징으로 한다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1019930007054A
公开(公告)日：1993-04-22
申请号：KR1019910017138
申请日：1991-09-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김동일
IPC: H02P5/00
Abstract: 본 발명은 ONE - Chip 마이크로 프로세서를 이용한 교류서보 전동기 제어장치에 관한 것으로, ONE - Chip 마이크로 프로세서를 이용하여 속도연산을 행하고 연산된 속도를 외부 D/A변환기로 출력한후, 이값을 속도명령값과 비교하여 오차를 발생시킨후, 비례적분 또는 이와 유사한 제어를 행하여 전동기를 제어하는 마이크로 프로세서를 이용한 교류서보 전동기 제어장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR100727484B1
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：KR1020050069129
申请日：2005-07-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
CPC classification number: B24B53/017 , B24B1/04
Abstract: 본 발명은 화학기계적 연마 장치 및 패드 컨디셔닝 방법에 관한 것으로, 본 발명은 웨이퍼가 장착된 캐리어를 패드가 부착된 회전하는 폴리싱 테이블에 슬러리의 공급하에 회전시켜 상기 웨이퍼를 평탄화하는 화학기계적 연마 장치에 있어서, 상기 패드에 유체를 공급하고 이와 병행하여 상기 유체에 초음파 진동을 전달하여 초음파 진동으로써 상기 패드의 표면으로부터 이물질을 제거하여 상기 패드를 컨디셔닝하는 패드 컨디셔너 어셈블리를 포함한다. 이에 의하면, 초음파 방식을 사용함으로써 패드 표면과의 접촉이 없으므로 패드의 손상이 없으므로 패드의 수명이 연장되고 다이아몬드 디스크의 교체가 필요하지 않는다. 이에 따라 패드를 반영구적으로 사용 가능하므로 제조 비용 측면과 안정된 화학기계적 연마 공정을 얻을 수 있는 효과가 있다.
반도체, 화학기계적 연마(CMP), 패드 컨디셔너, 초음파
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