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公开(公告)号：KR1020060077986A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：KR1020040116646
申请日：2004-12-30
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04L43/50 , G06F3/147 , H04L12/10 , H04L41/24 , H04L43/045
Abstract: 본 발명은 네트워크 시스템에서 네트워크 간의 패킷을 모니터링하기 위한 허브 장치를 제공하는 것이다.
이러한 본 발명은 네트워크 시스템에서 송수신되는 패킷을 모니터링하는 허브 장치에 있어서, 적어도 둘 이상의 네트워크 장비들을 연결하는 다수의 포트들과, 상기 포트들을 통해 송수신되는 패킷의 경로를 선택적으로 모니터링하고자 온/오프로 동작하는 모니터링 스위치와, 상기 모니터링을 수행하기 위하여 전원을 공급하는 배터리를 구비함을 특징으로 한다.
네트워크, 허브, 트래픽 모니터링 방향 선택 스위치-
公开(公告)号：KR100342021B1
公开(公告)日：2002-06-27
申请号：KR1019990008392
申请日：1999-03-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06F9/00
CPC classification number: H04L67/125 , G06F21/35
Abstract: 여기에개시된식별번호가저장된리모트콘트롤러를구비한컴퓨터시스템은이를원격으로조정하기위한원격제어신호를발생하는리모트콘트롤러및 상기리모트콘트롤러로부터의원격제어신호를받아들이는원격제어신호수신부를포함한다. 원격제어신호수신부및 리모트콘트롤러에는고유번호가저장되어있고, 이들은두 고유번호가일치하는경우에만리모트콘트롤러로부터의원격제어신호를수행한다. 상기원격제어신호는컴퓨터시스템의전원상태정보에따라리모트콘트롤러의지정된버튼에상응하는원격제어신호를수행한다. 상기원격제어신호는지정된프로그램에대한처리뿐 아니라윈도우즈(Windows)와같은운영시스템에대한자동로그온 기능도수행한다. 그결과, 본발명에의한컴퓨터시스템은, 리모트콘트롤러를통해지정된원격제어신호에따라서, 운영시스템을포함한응용프로그램들의실행을일괄적으로처리할수 있다.
Abstract translation: 在具有存储用户标识号的遥控器的计算机系统中，遥控器产生用于远程控制计算机系统的遥控信号，遥控信号接收器从遥控器接收遥控信号。 用户识别号分别存储在遥控器和遥控信号接收器中。 如果两个用户标识号匹配，则执行与来自遥控器的遥控信号对应的功能。 对应于遥控信号的功能对应于根据计算机系统的功率状态信息的遥控器的分配的按钮。 遥控信号不仅可以执行分配的程序，还可以执行诸如Windows操作系统的操作系统的自动登录。 结果，计算机系统可以根据由遥控器分配的遥控信号，对应用程序（包括操作系统）进行批处理。
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公开(公告)号：KR1020010054803A
公开(公告)日：2001-07-02
申请号：KR1019990055776
申请日：1999-12-08
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김동일
IPC: B65G1/04
Abstract: PURPOSE: A logistics management system is provided to apply plural carriers to one LOT ID and to automatically manage the LOT ID and the re-publish of LOT cards. CONSTITUTION: A host(10) collects information from various servers. Herein, a test condition change or process command and data input for an LOT ID is transferred from an operator server(14). The data about a process result for each LOT ID is collected from a process server(16). The data about a test result for each LOT ID is collected from a test server(18). Stored state for an article of each LOT ID is collected from CBS(20,22) by using a carrier. Then, the host decides a carrier for the LOT IDs inputted into CBSs. The information is transferred to an LOT card publisher(24) through the CBS. Then, the LOT card publisher publishes an LOT card for LOT inputted to and outputted from the CBS. Herein, the LOT card is published in inputting and outputting a processed article corresponding to the LOT while being loaded in an AGV(Auto Guided Vehicle)(26) or an LGV(Laser Guided Vehicle)(28) in a stored state in the carriers.
Abstract translation: 目的：提供物流管理系统，将多个运营商应用于一个LOT ID，并自动管理LOT ID和重新发布LOT卡。 构成：主机（10）从各种服务器收集信息。 这里，从操作员服务器（14）传送用于LOT ID的测试条件改变或处理命令和数据输入。 关于每个LOT ID的处理结果的数据从进程服务器（16）收集。 从测试服务器（18）收集关于每个LOT ID的测试结果的数据。 通过使用载体从CBS（20,22）收集每个LOT ID的文章的存储状态。 然后，主机决定输入到CBS的LOT ID的载体。 信息通过CBS转移到LOT卡发行商（24）。 然后，LOT卡出版商出版了LOT卡，用于从CBS输入和输出的LOT卡。 这里，LOT卡被公开在输入和输出对应于LOT的处理物品，同时被装载在载体中的存储状态的AGV（自动引导车辆）（26）或LGV（激光引导车辆）（28） 。
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公开(公告)号：KR1020010045247A
公开(公告)日：2001-06-05
申请号：KR1019990048458
申请日：1999-11-03
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김동일
IPC: H01L21/00
Abstract: PURPOSE: A method for processing data of a system for managing semiconductor quality is provided to computerize a quality control and to improve application of the system, by using reliability data in the quality control of a semiconductor product. CONSTITUTION: A plurality of operator servers, a test server, a process server and a carrier buffer system are connected to a host server(14) having a data server(12) through a network. Reliability data uploaded in the operator servers, the test server and the process server are collected at a host level and stored in the data server as raw data. The reliability data is supplied to the carrier buffer system and the operator servers as a predetermined form.
Abstract translation: 目的：提供一种用于处理用于管理半导体质量的系统的数据的方法，通过使用半导体产品的质量控制中的可靠性数据来计算机化质量控制并改进系统的应用。 构成：多个运营商服务器，测试服务器，进程服务器和载波缓冲系统通过网络连接到具有数据服务器（12）的主机服务器（14）。 上载在运营商服务器，测试服务器和进程服务器上的可靠性数据在主机级收集，并作为原始数据存储在数据服务器中。 将可靠性数据作为预定形式提供给运营商缓冲系统和运营商服务器。
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公开(公告)号：KR1020000001504A
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019980021803
申请日：1998-06-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/22
Abstract: PURPOSE: A diffusion furnace is provided to allow the sufficient amount of reactive gas to be supplied to a center of a wafer loaded on a boat. CONSTITUTION: The diffusion furnace for a semiconductor device formation comprises: an internal tube(42) in which a boat(4) is placed, wherein plural wafers(16) are loaded on the boat; an external tube(40) for retaining the internal tube; a reactive gate supply unit for supplying a reactive gas in the internal tube; and a reactive gas diffusion unit placed in an inner side of the internal tube, for making the supplied reactive gas diffused from the inner side of the internal tube(42) to the center of the internal tube(42).
Abstract translation: 目的：提供扩散炉以允许将足够量的反应气体供应到装载在船上的晶片的中心。 构成：用于半导体器件形成的扩散炉包括：其中放置船（4）的内管（42），其中多个晶片（16）装载在船上; 用于保持内管的外管（40）; 用于在内管中供应反应性气体的反应栅极供应单元; 以及放置在内管的内侧的反应性气体扩散单元，用于使供给的反应气体从内管（42）的内侧扩散到内管（42）的中心。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019980039931A
公开(公告)日：1998-08-17
申请号：KR1019960059049
申请日：1996-11-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 튜브에 적재된 다수매의 웨이퍼를 챔버내에 넣어 공정이 수행될 수 있도록 하고, 공정이 수행된 웨이퍼를 다시 챔버로부터 꺼낼 수 있도록 된 반도체 확산공정설비의 웨이퍼 이송용 로더에 관한 것이다.
본 발명의 구성은 다수매의 웨이퍼가 적재된 튜브의 이송이 원활하게 이루어지도록 하는 베어링 조립체(30)의 베이스(32)와 베어링(33) 사이에 설치된 베어링 블록(34)(35)을 구비하는 반도체 확산공정설비의 웨이퍼 이송용 로더에 있어서, 상기 베어링 블록(34)(35)에 걸리는 하중이 분산되도록 이들 사이에 또 다른 베어링 블록(36)을 추가 설치하여 이루어진다.
따라서 다수매의 웨이퍼를 적재한 튜브의 이송시 웨이퍼의 편심하중이 추가 설치된 베어링 블록에 의해 분산되므로 라이너와의 마모가 감소되는 것이고, 이로써 마모로 인해 발생되는 이물질에 의해 기능이 저하되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019980028494A
公开(公告)日：1998-07-15
申请号：KR1019960047554
申请日：1996-10-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/22
Abstract: 반도체소자 제조공정이 진행되는 석영관(Quartz tube)이 공정과정에 수평상태를 유지할 수 있는 반도체 제조용 수평형 확산로에 관한 것이다.
본 발명은, 확산공정이 진행되는 원통형의 석영관, 상기 석영관과 이격되면서 상기 석영관을 감싸고 있는 원통형의 히터, 상기 히터 양쪽 가장자리부와 연결되어 상기 석영관과 외부로 이격되면서 상기 석영관을 감싸고 있는 한쌍의 원통형 베스티불 블럭, 상기 히터와 상기 석영관 사이의 이격된 공간을 채우는 석영관 패드가 구비된 반도체 제조용 수평형 확산로에 있어서, 상기 베스티불 블럭 내측면에는 상기 석영관을 상기 히터의 중심부에 위치하도록 지지하는 석영관 지지대가 설치됨을 특징으로 한다.
따라서, 히터에서 발산되는 열이 웨이퍼 상에 고르게 전달되어 균일한 막질이 형성되는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019980017536A
公开(公告)日：1998-06-05
申请号：KR1019960037321
申请日：1996-08-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/22
Abstract: 확산로에서 방출되는 배기가스에 포함된 이물질을 제거하는 반도체 확산로의 습식스크러버에 관한 것이다.
본 발명은, 공급된 시수를 이용하여 배기가스에 포함된 이물질을 제거하는 본체, 본체에 투입된 시수를 다시 본체 상부로 공급하는 제 1 배관, 투입된 시수가 외부로 방출하도록 본체 저면 내벽에 관통연장 형성된 제 2 배관, 본체 내벽 중앙에 복수의 배기가스 방출구가 형성된 반도체 확산로의 습식 스크러버에 있어서, 상기 배기가스 방출구와 제 2 배관 사이에 상기 본체를 외부에서 내부로 관통연장하여 돌출부를 가지며 평면에 대해서 5° 내지 10°의 경사를 가지는 제 3 배관이 형성되어 상기 제 2 배관과 연결되도록 구성됨을 특징으로 한다.
따라서, 시수가 오우버 플로우 라인을 통해서 외부로 유츨되는 것이 방지됨으로 시수부족에 의해서 순환펌프가 가열되는 것이 방지되고, 확산로에서 배기되는 배기가스의 압력이 변화되고 이로 인해서 확산로의 공정압력에도 영향을 끼쳐 공정불량을 일으키는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.-
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公开(公告)号：KR1019950010191B1
公开(公告)日：1995-09-11
申请号：KR1019910016322
申请日：1991-09-18
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김동일
IPC: G01R31/34
CPC classification number: H02P21/06 , H02P21/141 , H02P21/16 , H02P2207/01 , Y10S388/906
Abstract: A three-phase stator current is resolved by A/D conversion into d- and g-axis components. Pulses corresponing to revolution of a rotor are counted and four proportional-integral controller are used in approximate computation of deviations of rotor flux and resistance from estimates. The variations of temperature and environmental influences are taken into account in adjustments to the three-phase current for compensation of the resistance of the rotor. Precision of control is not impaired by variation of rotor resistance.
Abstract translation: 三相定子电流通过A / D转换分解成d轴和g轴分量。 对转子转数进行计数的脉冲和四个比例积分控制器用于近似计算转子磁通和阻力与估计的偏差。 在调整用于补偿转子电阻的三相电流时，考虑温度和环境影响的变化。 控制精度不受转子电阻变化的影响。
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