公开(公告)号：KR1020010038790A

公开(公告)日：2001-05-15

申请号：KR1019990046906

申请日：1999-10-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오정현 ,  백영민

IPC: C03B5/18

Abstract: PURPOSE: A device for preparing silica glass for a sol-gel process and its manufacture method are provided which improve an effectiveness for eliminating air bubbles. CONSTITUTION: The device comprises: (i) a supersonic waves vibrator(12) which disperses a mixture containing silica, a dispersant, a binder, a gelating agent and deionized water by supersonic waves vibration to form a sol and eliminates air bubbles from the sol; and (ii) a cooler(15) which cools the dispersed sol to keep the temperature of the formed sol constant. The method comprises steps of: (i) after mixing silica, a dispersant, a binder, a gelating agent and deionized water, dispersing the mixture with supersonic waves to form a sol; and (ii) cooling the dispersed sol to keep the temperature of the formed sol constant.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制备溶胶 - 凝胶法的石英玻璃的装置及其制造方法，其提高消除气泡的效果。 构成：该装置包括：（i）超声波振动器（12），其通过超声波振动分散包含二氧化硅，分散剂，粘合剂，凝胶剂和去离子水的混合物以形成溶胶并从溶胶中除去气泡 ; 和（ii）冷却分散的溶胶以使所形成的溶胶的温度恒定的冷却器（15）。 该方法包括以下步骤：（i）在混合二氧化硅，分散剂，粘合剂，凝胶剂和去离子水之后，将混合物用超声波分散以形成溶胶; 和（ii）冷却分散的溶胶以保持形成的溶胶的温度恒定。

公开(公告)号：KR1020010038740A

公开(公告)日：2001-05-15

申请号：KR1019990046850

申请日：1999-10-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김성환 ,  백영민 ,  황재희

IPC: H01L21/28

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a contact hole of a semiconductor device is provided to form a fine contact hole without increasing a critical dimension on the contact hole and depending on the resolution of a photoresist layer. CONSTITUTION: An interlayer dielectric(12) is formed on a semiconductor substrate(10). A polysilicon layer(14) is formed on the interlayer dielectric. The polysilicon layer is patterned with a mask pattern for etched the interlayer dielectric under the polysilicon layer and by using a photoresist layer pattern(16). The interlayer dielectric is etched by using the patterned polysilicon layer.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造半导体器件的接触孔的方法，以在不增加接触孔处的临界尺寸并且取决于光致抗蚀剂层的分辨率的情况下形成精细接触孔。 构成：在半导体衬底（10）上形成层间电介质（12）。 在层间电介质上形成多晶硅层（14）。 多晶硅层被图案化，用于蚀刻多晶硅层下方的层间电介质的掩模图案，并且通过使用光致抗蚀剂层图案（16）。 通过使用图案化的多晶硅层蚀刻层间电介质。

公开(公告)号：KR1020010028000A

公开(公告)日：2001-04-06

申请号：KR1019990040034

申请日：1999-09-17

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 김선욱 ,  전명철 ,  백영민

IPC: C03C3/06

CPC classification number: C03C1/006 ,  C03C3/06 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/30 ,  C03C2203/52

Abstract: PURPOSE: A silica glass composition is provided which reduces the time for drying process, and improves the productivity of silica glass, by reducing the amount of a main gelling agent of which cost is expensive, enhancing the drying ability and acting as a sub-gelling agent. CONSTITUTION: A silica glass composition used for a sol-gel process comprises silica particles, gelling agent, dispersing agent and deionized water is characteristically further containing 2-30 pts.wt% of formamide, based on the weight of the dispersing agent, as a sub-drying agent and sub-gelling agent. By using the composition, production of silica glass with big size, excluding toxic polymer of higher molecular weight is facilitated.

Abstract translation: 目的：提供一种二氧化硅玻璃组合物，其通过减少成本昂贵的主胶凝剂的量，提高干燥能力和作为次凝胶化而减少干燥过程的时间并提高石英玻璃的生产率 剂。 构成：用于溶胶 - 凝胶法的二氧化硅玻璃组合物包括二氧化硅颗粒，胶凝剂，分散剂和去离子水，其特征在于进一步含有2-30重量％的甲酰胺，基于分散剂的重量，作为 亚干燥剂和亚胶凝剂。 通过使用该组合物，促进了大尺寸的石英玻璃的生产，排除了高分子量的有毒聚合物。

公开(公告)号：KR1020010019269A

公开(公告)日：2001-03-15

申请号：KR1019990035602

申请日：1999-08-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 윤영식 ,  백영민

IPC: C03C3/06

CPC classification number: C03B19/12 ,  C04B35/14 ,  C04B2235/94

Abstract: PURPOSE: Provided is a manufacturing method of tube-shaped silica glass from a hollow rod-shaped green body, being wider as it is lower, which has a uniform cross sectional distribution with length, resulting in glass fiber having an excellent transmission property. CONSTITUTION: The method comprises the steps of: molding a hollow rod-shaped green body(400), that is, the outer diameter(d2, d4) of the rod is constant and the inner diameter(d1, d3) is continuously increasing according as the lower it is; putting the green body in a furnace(100) vertically in order that its lower part is to be the bottom of furnace; sintering the green body, moving the furnace up and down, resulting in a tube-shaped silica glass(500). The above hollow rod-shaped green body is produced by the following steps: inserting raw material sol into a cylindrical mold having a tapered center-rod, where the raw material sol comprises silicon alkoxide and deionized water or fumed silica and deionized water, and optionally dispersant and binder; gelling; demolding and drying; calcining to remove organic matters from the green body and Cl2 gas-treating to remove remaining metallic impurities and OH-.

Abstract translation: 目的：提供一种中空棒状生坯体的管状石英玻璃的制造方法，其长度较宽，横截面分布均匀，导致玻璃纤维具有优异的透光性。 构成：该方法包括以下步骤：模制中空棒状生坯（400），即杆的外径（d2，d4）恒定，内径（d1，d3）连续增加，根据 因为它越低; 将生坯垂直放入炉（100）中，以使其下部为炉底; 烧结生坯，上下移动炉渣，形成管状二氧化硅玻璃（500）。 上述中空棒状生坯通过以下步骤制造：将原料溶胶插入具有锥形中心棒的圆柱形模具中，其中原料溶胶包含硅醇盐和去离子水或热解法二氧化硅和去离子水，以及任选地 分散剂和粘合剂; 胶凝; 脱模和干燥; 煅烧以从生坯中除去有机物质和Cl 2气体处理以除去剩余的金属杂质和OH-。

公开(公告)号：KR1020010001881A

公开(公告)日：2001-01-05

申请号：KR1019990021369

申请日：1999-06-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정원일 ,  백영민

IPC: C03B20/00

Abstract: PURPOSE: An apparatus for thermal-treating gel to eliminate organics and OH- for silica glass formation is provided, which prevents the remaining water vapor in a process tube from condensing into water in an end cap. Therefore, the crystallization of gel arising from the water in thermal-treating process is effectively prevented, resulting in active glassification of gel for high purity silica glass. CONSTITUTION: The apparatus comprises; a quartz process tube(20) through a furnace body(21); several heaters(24) near the process tube for heating a sample in the process tube; a doughnut-typed refractory plug(23) installed in the both ends of the process tube for insulating the tube; a quartz end cap(22) linked to the both ends of the tube for blocking gas leakage, having a hole to pass the process gas such as air, O2, Cl2 or He ; a heating element(26) surrounding the end cap.

Abstract translation: 目的：提供了一种用于热处理凝胶以消除有机物和OH-用于石英玻璃形成的装置，其防止处理管中的剩余水蒸汽冷凝成端盖中的水。 因此，有效地防止了热处理工艺中由水引起的凝胶的结晶，导致高纯度二氧化硅玻璃凝胶的活性玻璃化。 构成：装置包括： 通过炉体（21）的石英工艺管（20）; 处理管附近的几个加热器（24），用于加热处理管中的样品; 安装在处理管的两端的用于绝缘管的环形耐火塞（23）; 连接到管的两端以阻止气体泄漏的石英端盖（22），具有通过诸如空气，O 2，Cl 2或He的处理气体的孔; 围绕端盖的加热元件（26）。

公开(公告)号：KR100241969B1

公开(公告)日：2000-02-01

申请号：KR1019970007976

申请日：1997-03-10

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 윤영식 ,  백영민 ,  김선욱 ,  전명철

IPC: C03B19/06

Abstract: 본 발명은 솔-젤법을 이용하여 광섬유 제조용 대형 유리튜브를 제조하기 위하여 크게 4부분으로 구성된 몰드를 사용한다, 상기 몰드는 서로 크기가 다른 원통부를 가지고 중심에 제1고정구멍이 형성된 상부몰드와, 중심에 제2고정구멍을 가지고 상기 젤화 과정 또는 상기 건조 과정시에 발생하는 응력을 최소화하기 위해 중심방향으로 소정의 각도로 경사지게 형성된 제1하부원통부와 상기 건조 과정시에 진공에 의한 응력을 방지하기 위한 진공제거 구멍을 가지는 제2하부원통부로 형성된 하부몰드와, 상기 상부몰드와 하부몰드 사이에 설치되어 상기 솔 과정과 젤화 과정 및 건조 과정이 진행되는 실린더 형태의 외부몰드와, 상기 외부몰드의 중심축에 설치되어 상기 건조 후에 튜브형상이 성형될 수 있도록 로드 모양의 중심지지대로 구성된다. 그리고 본 발명의 몰드는 균열이 없고 고순도의 광섬유 제조용 유리튜브를 제조할 수 있다.

公开(公告)号：KR100229900B1

公开(公告)日：1999-11-15

申请号：KR1019970007973

申请日：1997-03-10

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 백영민 ,  윤영식 ,  김선욱 ,  전명철

IPC: C03B19/06

CPC classification number: C03B19/1492 ,  C03B37/01493 ,  C03C1/006

Abstract: 본 발명은 고농도 실리카 함유 분말 100 중량부와 100 - 300 중량부의 물을 혼합하여 1차 솔을 만들고, 상기 솔의 pH를 9 - 11의 범위로 조절하여 속히 건조시키고 600℃ 이상에서 열처리한 다음, 이를 다시 100 - 200 중량부의 탈이온수와 혼합하여 2차 솔을 형성하고, 상기 솔을 금형에서 젤화시키고, 건조한 후 열처리 및 소결하여 고순도 실리카 유리 단일체를 제조하는 방법이 제공된다. 그리고, 1차 솔의 젤화를 거치지 않고 빠른 시간에 1차 솔을 건조시킴으로써 공정시간과 단계를 단축시킬 수 있고, 수용성 유기 결합제를 첨가함으로써 건조시 문제가 되는 균열 발생 억제시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR100229884B1

公开(公告)日：1999-11-15

申请号：KR1019970007974

申请日：1997-03-10

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 백영민 ,  윤영식 ,  김선욱 ,  전명철

IPC: C03B19/06

CPC classification number: C03B37/016 ,  C03B19/12 ,  C03C1/006 ,  C03C3/06 ,  C03C2203/20 ,  C03C2203/34

Abstract: 본 발명은 발연 실리카 분말 100중량부와 100 - 300 중량부의 탈이온수를 혼합하여 1차 솔을 만들고, 이를 젤화, 건조, 분말 제조 및 열처리한 다음, 이를 100 - 200 중량부의 탈이온수와 혼합하여 2차 솔을 형성하고, 이를 다시 분산, 젤화 및 건조한 후 소결하여 고순도 실리카 유리를 제조하는 방법에 있어서, 2차 솔의 분산시 열처리되지 않은 원분말 발연 실리카 20 - 50 중량부를 첨가하는 것을 특징으로 하는 고순도 실리카 유리의 제조방법이 제공된다. 그리고, 1차 열처리된 분말과 원분말을 적당한 비율로 혼합함으로써 열처리 후 입자 성장에 의한 공극의 확대로 건조시 균열 방지의 효과를 얻을 수 잇을 뿐만 아니라 동시에 원분말의 첨가로 충진률이 향상되며 및 이로 인하여 수축률이 저하된다.

公开(公告)号：KR1019990023144A

公开(公告)日：1999-03-25

申请号：KR1019980019263

申请日：1998-05-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 백영민 ,  오정현

IPC: C03B20/00

Abstract: 본 발명은 실리카 글래스의 제조방법에 관한 것으로서, 아크릴수지 형성용 단량체 및 가교제를 증류수에 용해한 프리믹스(premix) 용액에 실리카 및 분산제를 첨가하고, 혼합 및 분산한 다음, pH를 조절하여 졸(sol)을 형성하는 단계; 상기 졸내의 기포를 제거한 다음, 숙성하는 단계; 상기 결과물에 중합개시제를 부가하고 반응 혼합물의 pH를 조절하는 단계; 상기 반응 혼합물을 몰드에 붓고, 이를 항온챔버에서 고온숙성 및 겔화시키는 단계; 얻어진 겔을 소정기간동안 숙성시킨 다음, 숙성된 겔을 몰드로부터 분리하여 건조시키는 단계; 건조된 겔을 열처리하여 겔내의 유기물을 제거하는 단계; 및 유기물이 제거된 겔에 대해 수산기 제거반응과 소결반응을 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 건조후 균열이 거의 발생되지 않고 소결후 수축율이 현저하게 낮아진 고순도의 실리카 글래스 튜브를 제조할 수 있다. 그리고 대형의 실리카 글래스 튜브를 제조하는 것도 가능해진다.

公开(公告)号：KR1019980072946A

公开(公告)日：1998-11-05

申请号：KR1019970007977

申请日：1997-03-10

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 백영민 ,  오정현 ,  윤영식 ,  김선욱 ,  전명철

IPC: C03B19/06

Abstract: 본 발명은 발연 실리카 100 중량부와 탈이온수 80 - 140 중량부에 결합제 5 - 15 중량부를 첨가하여 혼합하고, 이를 결합제와 함께 과립화하여 출발원료의 입자를 성장시킨 다음, 상기 입자들을 열처리하지 않은 발연 실리카 20 - 50 중량부와 혼합하여 탈이온수에 재분산하고, 금형에 부어 젤화시킨 후, 건조하고, 수득된 건조 젤을 1100℃ 이하의 온도에서 열처리하여 탈히드록실화하고, 1400℃ 이하의 온도에서 소결하는 것을 특징으로 하는 고순도 실리카 유리 단일체의 제조방법이 제공된다. 그리고 용융법이나 다른 합성법에 의하여 제조되는 유리보다 저렴한 생산 원가로 순도가 향상된 유리를 수득할 수 있다. 솔-젤 공법에 의한 다른 제조 방법들과 비교시 대형의 유리 단일체의 제조가 가능하고, 젤의 건조단계에서의 균열 발생도 효과적으로 억제할 수 있다.