公开(公告)号：KR100617713B1

公开(公告)日：2006-08-28

申请号：KR1020040009394

申请日：2004-02-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오정현 ,  백영민 ,  박근덕 ,  김순재 ,  김병삼

IPC: G02B6/00

CPC classification number: C03C13/04 ,  C03B37/016 ,  C03B2203/14 ,  C03B2203/23 ,  C03B2203/42 ,  C03C11/007 ,  G02B6/02333 ,  G02B6/02357

Abstract: 본 발명은 공기구멍(air hole)을 갖는 다공 광섬유(holey fiber)의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 다공 광섬유의 제조방법은, 광섬유외측튜브와, 내측튜브 및 중심 봉을 구비하는 튜브(tube) 형태의 몰드(mold)를 준비하는 제1 과정과; 상기 외측튜브에 비정질 실리카 입자가 함유된 슬러리(slurry)를 주입하고 젤(gel)화 시켜 외측 클래딩을 형성하는 제2 과정과; 상기 외측 클래딩과 중심 봉 사이에 이후 열처리 공정에 의해 기포를 형성하도록 기포 형성물이 첨가된 실리카 슬러리를 주입하고 성형하여 내측 클래딩을 형성하는 제3 과정과; 상기 중심 봉을 제거한 후, 중심 봉이 제거된 부분에 코어 물질을 주입하고 젤화시켜 코어를 형성하는 제4 과정과; 상기 제1 내지 제4 과정에 의해 성형된 다공 광섬유용 모재를 열처리하면서 광섬유를 인출하는 제5 과정을 포함함을 특징으로 한다.
다공 광섬유, 공기구멍, 광자결정 광섬유, 기포 형성

公开(公告)号：KR1020050089104A

公开(公告)日：2005-09-07

申请号：KR1020040014272

申请日：2004-03-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 방정제 ,  백영민 ,  박근덕 ,  김순재 ,  김병삼

IPC: G02B6/00

CPC classification number: C03B37/016 ,  C03B37/0122 ,  C03B2203/14 ,  C03B2203/42

Abstract: 본 발명은 공기구멍(air hole)을 갖는 다공 광섬유용 모재의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 다공 광섬유용 모재의 제조방법에 있어서, (a) 실리카 글라스의 출발물질을 이용하여 솔을 형성하는 솔 형성 과정과; (b) 상기 솔 형성 과정에서 생성된 솔을 다수의 몰드에 주입하고 젤화시켜 각각 하나의 공기구멍을 구비하는 다수의 젤 튜브를 형성하는 젤화 과정과; (c) 상기 다수의 젤 튜브를 각각의 몰드로부터 분리한 후 건조시키는 건조 과정과; (d) 상기 건조과정에서 건조된 다수의 젤 튜브를 열처리하여 상기 젤 튜브에 함유된 수분 및 불순물을 제거하는 열처리 과정과; (e) 상기 열처리가 완료된 다수의 젤 튜브를 예정된 배열로 적재(stacking)하는 젤 튜브 적재 과정과; (f) 상기 적재된 다수의 젤 튜브를 소결시켜 유리화하는 소결 과정을 포함함을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면 솔-젤 공법에 의한 다공 광섬유용 모재의 제조 시 건조 또는 열처리 과정에서 젤이 균열되는 것을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020030047106A

公开(公告)日：2003-06-18

申请号：KR1020010077499

申请日：2001-12-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박근덕 ,  오정현 ,  백영민

IPC: C03B19/12 ,  C03B37/016 ,  G02B6/00

CPC classification number: C03B37/016 ,  C03B2203/26

Abstract: PURPOSE: A method for preparing silica glass using centrifugation molding method is provided, which is useful to prepare a multiple mode optical fiber and is improved in the reproducibility of thickness of a molded layer owing to the centrifugal force. CONSTITUTION: The method comprises the steps of (23) mixing a starting material with deionized water, and adding a dispersant to the mixture to prepare sol; (31) injecting the sol into a cylindrical mold, and (33) gelling the sol into a certain thickness along the circumference of the mold with rotating the mold; and repeating the centrifugation molding process at least two times with changing the content of dopant of the sol added to the mold step by step according to the distribution of refractive index of the molded silica glass. The closer the centrifugation molding layer to the center of the mold, the greater the addition amount of the dopant.

Abstract translation: 目的：提供一种使用离心成型法制备石英玻璃的方法，其可用于制备多模光纤，并且由于离心力而提高了模制层的厚度的再现性。 方法：该方法包括以下步骤：（23）将原料与去离子水混合，并向混合物中加入分散剂以制备溶胶; （31）将溶胶注入圆筒形模具中，（33）通过旋转模具将溶胶沿着模具的圆周胶凝成一定厚度; 并且根据模制石英玻璃的折射率分布，逐渐改变添加到模具中的溶胶的掺杂剂的含量，重复离心模制过程至少两次。 离心成型层越靠近模具的中心，掺杂剂的添加量越多。

公开(公告)号：KR100357638B1

公开(公告)日：2002-10-25

申请号：KR1019990036610

申请日：1999-08-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오정현 ,  박근덕 ,  김동준 ,  백영민

IPC: C03B37/012

CPC classification number: C03B19/12 ,  B01F11/0283 ,  C01B33/146 ,  C03B37/016 ,  C03C1/006 ,  Y10S516/929

Abstract: 본발명은실리카솔을분산시키는장치에있어서, 분산되기전의솔이저장된솔 공급부와; 분산된후의솔이저장되는솔 저장부와; 액상의초음파전달매질로채워진매질탱크와; 상기매질탱크내에서초음파를발생하는초음파진동자와; 상기솔 공급부와솔 저장부를연결하는솔의이동로가되며, 소정구간이상기매질탱크의초음파전달매질내를통과하도록설치된솔 파이프를포함하여구성함을특징으로하는실리카솔의초음파분산장치를제공한다.

公开(公告)号：KR100346112B1

公开(公告)日：2002-08-01

申请号：KR1019990060249

申请日：1999-12-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 윤영식 ,  백영민

IPC: C03B27/012

CPC classification number: C03B19/12

Abstract: 본발명은솔-젤공법을채용한광섬유모재제조공정의소결공정에서오버자케팅튜브소결장치및 방법에관한것으로서, 개시된소결장치는석영재질의공정튜브; 상기공정튜브의상단에장착되어공정튜브내를실링시킴과아울러일정한주속으로회전하는상부회전캡과, 상기상부회전캡의중심축에서하방으로연장된세라믹핀과, 상기세라믹핀의하단에매달려공정튜브내에동축으로위치하는젤튜브로구성되는젤튜브어셈블리; 및초기에공정튜브의하부에위치하고, 상기젤튜브어셈블리가공정튜브에삽입된후에상기공정튜브를따라서하부에서상부로이동하여상기젤튜브를열처리하는로를포함한다. 따라서, 본발명은정밀도를향상시킴으로서설비의유지보수가용이하다.

公开(公告)号：KR100313275B1

公开(公告)日：2001-11-05

申请号：KR1019990021369

申请日：1999-06-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정원일 ,  백영민

IPC: C03B20/00

Abstract: 본발명은퍼니스몸체, 이퍼니스몸체를관통하고있는프로세스튜브, 이프로세스튜브의인접영역에설치되어있으며, 프로세스튜브안에위치해있는시료를히팅하기위한복수개의가열수단, 상기프로세스튜브의양 말단부의입구에삽입되어있고상기프로세스튜브를단열시키기위한도우넛형의내화물플러그및 상기내화물플러그가삽입되며, 프로세스튜브의양 말단부에결합되어있어서프로세스튜브안에흐르는프로세스가스누출을막기위한엔드캡을구비하고있는실리카글래스형성용겔의열처리장치에있어서, 상기엔드캡에서수분이잔류하지않도록엔드캡의외주면을감싸서이의온도를일정하게유지시키는히팅부재를더 포함하고있는것을특징으로하는실리카글래스형성용겔의열처리장치를제공한다. 본발명의열처리장치를사용하면, 겔로부터유기물과수산기를제거하기위한열처리공정에서건조된프로세스튜브안에잔존해있는수증기들이엔드켑에응축되는것을방지할수 있다. 그결과, 겔의유리화를위한고온열처리과정에서겔의결정화를효율적으로막을수 있게된다. 그결과, 겔의유리화가원활하게이루어져순도특성이개선된실리카글래스를얻을수 있게된다.

公开(公告)号：KR100312230B1

公开(公告)日：2001-11-03

申请号：KR1019990043121

申请日：1999-10-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박근덕 ,  오정현 ,  백영민

IPC: C03C17/06

Abstract: 본발명은졸-겔공법을이용한실리카글래스의제조방법에있어서, 메탈알콕사이드를가수분해하는제1과정과; 형성될겔이발연실리카의건조특성을따르고습윤겔의강도가증가하도록상기메탈알콕사이드와의몰수비가 1:0.1 이하가되도록메탈알콕사이드보다더많은양의발연실리카를탈이온수와혼합하는제2과정과; 상기제1과정에의한가수분해물을상기제2과정에의한혼합물과혼합하여졸을형성하는제3과정과; 상기졸을몰드에주입하여겔화시키는제4과정과; 상기겔을디몰딩하여건조시키는제5과정과; 상기건조된겔을소결시켜유리화하는제6과정을포함하는것을특징으로하는메탈이도핑된실리카글래스의제조방법을제공한다.

公开(公告)号：KR100312228B1

公开(公告)日：2001-11-03

申请号：KR1019990036611

申请日：1999-08-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오정현 ,  박근덕 ,  백영민

IPC: C03B5/00

Abstract: 본발명은솔-젤공법을이용한실리카글래스제조용몰드장치에있어서, 솔배출구를구비하며내부에솔을저장한솔 리저버와; 솔주입구를구비한원통모양의몰드와; 개구된양단이상기솔 리저버의솔 배출구와몰드의솔 주입구사이에연결되어솔의이동통로가되는연결호스와; 상기연결호스경로상에설치되어솔 내부의기포및 불순물을필터링하는필터를포함하여구성함을특징으로하는실리카글래스제조용몰드장치를제공한다.

公开(公告)号：KR1020010086502A

公开(公告)日：2001-09-13

申请号：KR1020000010424

申请日：2000-03-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 백영민

IPC: H01L21/3065

Abstract: PURPOSE: A dry etching apparatus is provided to prevent a semiconductor wafer from polluting due to an outgrowth by arranging an outlet on the sidewall of a processing chamber to exhaust the outgrowth on the upper side of a wafer. CONSTITUTION: The first outlet(110) is arranged on the upper side of a processing chamber(100), and the one or more second outlet(116) is arranged on the sidewall of the processing chamber(100) while being the same level as the upper side of a semiconductor wafer(104). A vacuum pump(130) is connected with the first outlet(110) and the second outlet(116). The first valve(112) and the second valve(118) are arranged to the connecting part of the first outlet(110) and the second outlet(116), respectively.

Abstract translation: 目的：提供一种干蚀刻装置，以防止半导体晶片由于通过在处理室的侧壁上布置出口而排出在晶片上侧的向外生长而产生污染。 构成：第一出口（110）布置在处理室（100）的上侧，并且一个或多个第二出口（116）布置在处理室（100）的侧壁上，同时具有与 半导体晶片（104）的上侧。 真空泵（130）与第一出口（110）和第二出口（116）连接。 第一阀（112）和第二阀（118）分别布置在第一出口（110）和第二出口（116）的连接部分上。

公开(公告)号：KR1020010060675A

公开(公告)日：2001-07-07

申请号：KR1019990063082

申请日：1999-12-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 백영민

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: An apparatus for displaying operation status is provided to directly inform malfunctions of lamps to a user by respectively connecting a number of luminescent devices to the lamps. CONSTITUTION: A wafer(20) is loaded on a basket(30) in a process chamber(10). A window(40) divides a vacuum area and a facility area for loading the wafer(20). The window(40) is made of transparent quarts to maximize heat transmission to the vacuum area. A number of lamps(50a,50b,50c) are installed in the facility area to generate heat for maintaining the temperature in the vacuum area into a uniform level. A lamp driving unit(60) powers to each of the lamps(50a,50b,50c) to drive the lamps(50a,50b,50c). A display unit(70) is installed in the process chamber(10) and it performs a lighting operation during the operation of the lamps(50,50b,50c). The operation of the display unit(70) is externally confirmed by a user.

Abstract translation: 目的：提供一种用于显示操作状态的装置，通过将多个发光装置分别连接到灯来直接向用户通知灯的故障。 构成：将晶片（20）装载在处理室（10）中的筐（30）上。 窗口（40）划分真空区域和装载晶片（20）的设施区域。 窗口（40）由透明石英制成，以最大化对真空区域的热传递。 许多灯（50a，50b，50c）安装在设备区域中以产生用于将真空区域中的温度保持在均匀水平的热量。 灯驱动单元（60）对每个灯（50a，50b，50c）供电以驱动灯（50a，50b，50c）。 显示单元（70）安装在处理室（10）中，并且在灯（50,50b，50c）的操作期间执行点亮操作。 显示单元（70）的操作由用户外部确认。