Abstract:
The present invention relates to a computation scheduling method and a system thereof. The computation scheduling method and the system using the method can determine the operation attributes of an application on a real-time basis to enable all nodes in the system to interactively and organically replace schedulers to satisfy the QoS expected in the system. The scheduling method according to the present invention includes the steps of: detecting an event requesting a scheduler to be replaced; selecting a scheduler corresponding to the event among schedulers; and replacing the scheduler of the node with the selected scheduler without rebooting the node scheduling the usage of a control unit.
Abstract:
A coil manufacturing method for a micro actuator is provided to reduce a drive current applied to a coil and power consumption by covering the upper side of a wafer except for trenches formed with the coil. A coil manufacturing method for a micro actuator comprises the steps of: preparing a substrate(100); forming a plurality of trenches for forming a coil on the upper side of the substrate; covering the upper side of the substrate except for the trenches with shielding agents(120); electro-plating conductive material to the trenches; and forming a passivation layer on the substrate.
Abstract:
본 발명은 광스캐너의 배선 구조 및 그 제조방법을 개시한다. 개시된 광스캐너의 배선 구조는: 메탈라인영역이 소정 깊이로 식각된 유리기판; 상기 메탈라인영역 상에 돌출부를 포함하여 형성된 메탈라인; 상기 유리기판 상에서, 상기 돌출부를 제외한 영역을 덮는 절연층; 및 상기 유리기판과 결합된 광스캐너 구조물;을 구비한다.
Abstract:
본 발명은 MEMS(Micro-electro-mechanical system) 구조에 의해 제공된 미소거울의 구동각도를 향상시킨 공간형 이중 콤전극 구조 및 이를 이용한 마이크로 스캐너를 개시한다. 본 발명에 따른 공간형 이중 콤전극 구조는, 광을 반사시키는 미러부; 상기 미러부의 양측면에 돌출하여 형성된 다수의 구동콤전극; 및 상기 미러부의 양측면에 형성된 다수의 구동콤전극과 상호 교번하도록, 상기 구동콤전극의 상부와 하부에 각각 형성된 다수의 상부 고정콤전극 및 하부 고정콤전극;을 포함하며, 여기서, 상기 상부 고정콤전극 및 하부 고정콤전극의 구동콤전극과의 간격이 서로 다른 것을 특징으로 한다. 이중 콤전극, 구동콤전극, 고정콤전극, 마이크로 스캐너, 마이크로 액추에이터, MEMS(Micro-electro-mechanical system)
Abstract:
본 발명은 MEMS(Micro-electro-mechanical system) 구조에 의해 제공된 미소거울의 구동각도를 향상시킨 광스캐너 및 이를 적용한 레이저 영상투사장치를 개시한다. 본 발명에 따른 광스캐너는, 기판; 상기 기판의 상방에 소정의 높이로 현가되어 있는 미러부; 상기 미러부가 현가될 수 있도록 미러부의 양단부를 지지하는 기판 상의 지지체; 상기 미러부가 상기 지지체에 회전 가능하게 지지될 수 있도록 상기 미러부의 양단부와 지지체 사이에 각각 연결된 지지축; 상기 미러부의 양측면에 돌출하여 형성된 다수의 이동콤전극; 및 상기 미러부 양측면의 이동콤전극과 상호 교번하도록 기판 상에 설치된 다수의 고정콤전극;을 구비하며, 상기 고정콤전극은 2층 구조의 전극인 것을 특징으로 한다. 레이저 영상투사장치, 이동콤전극, 고정콤전극, 광스캐너, 마이크로 액추에이터, MEMS(Micro-electro-mechanical system)
Abstract:
PURPOSE: A multicore-based computing device and a hierarchical scheduling method thereof are provided to reduce unnecessary cache use and optimize a scheduling process for a multicore system. CONSTITUTION: A computing device (100) has a multicore system with a hierarchical structure (a first hierarchy, a second hierarchy). The first hierarchy includes a physical platform (102) and a virtual machine monitor (103) which runs on the physical platform. The second hierarchy includes virtual platforms (104a, 104b) controlled by the virtual machine monitor (103) and operation systems (105a, 105b) which run on the virtual platforms. A virtual platform includes multiple virtual cores (106a, 106b, 106c, 106d, 106e). [Reference numerals] (102) Physical platform; (104a) Virtual platform #1; (104b) Virtual platform #2; (131) Global scheduler; (132a) Local scheduler #1; (132b) Local scheduler #2; (133) Load monitor; (134) Policy setting unit; (135a) Guide unit #1; (135b) Guide unit #2
Abstract:
A MEMS device and a method for forming a comb electrode at the same are provided to improve an arrangement structure of a comb electrode to maintain a linear state between an inputted driving voltage and a rotation angle as an outputted stage. A method for forming a comb electrode at a MEMS device includes a step of forming a plurality of trenches on one surface of a first silicon substrate in parallel to form a first region and a second region having a step difference from each other along one surface. An oxide layer having a step difference is formed along the first region and the second region by performing an oxidation process on the first silicon substrate. A poly silicon layer burying the step difference is formed on the oxide layer. A second substrate is directly integrated on the poly silicon layer. An upper comb electrode(111) is formed at the first region by selectively etching the second silicon substrate and the poly silicon layer with a first mask.
Abstract:
2축 액츄에이터 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 액츄에이터는: 제1 방향으로 시이소 운동하는 스테이지부와, 상기 스테이지부의 시이소 운동을 지지하는 제1 지지부와, 상기 스테이지부의 상기 제1방향의 마주보는 양측에서 바깥쪽으로 연장된 제1구동 콤전극과, 상기 제1구동 콤전극과 대면하는 상기 제1지지부에서 상기 제1구동콤전극과 교호적으로 배치되게 연장된 제1고정콤전극을 구비하는 스테이지부 구동부와, 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 상기 제1 지지부가 시이소 운동하도록 상기 제1 지지부를 지지하는 제2 지지부와, 상기 제1 지지부에 설치된 제2 구동 콤전극과, 상기 제2 구동 콤전극에 대응되게 형성된 제2 고정 콤전극을 구비하는 제1 지지부 구동부를 구비한다. 상기 제1 및 제2 구동콤전극은 상기 스테이지부와 같은 제1레벨에 형성되며, 상기 제1 및 제2 고정콤전극은 수직면에서 상기 제1 및 제2 고정콤전극과 겹치지 않게 상기 스테이지 보다 낮은 제2레벨로 형성된 것을 특징으로 한다.
Abstract:
2축 액츄에이터 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 액츄에이터는: 제1 방향으로 시이소 운동하는 스테이지부와, 상기 스테이지부의 시이소 운동을 지지하는 제1 지지부와, 상기 스테이지부의 상기 제1방향의 마주보는 양측에서 바깥쪽으로 연장된 제1구동 콤전극과, 상기 제1구동 콤전극과 대면하는 상기 제1지지부에서 상기 제1구동콤전극과 교호적으로 배치되게 연장된 제1고정콤전극을 구비하는 스테이지부 구동부와, 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 상기 제1 지지부가 시이소 운동하도록 상기 제1 지지부를 지지하는 제2 지지부와, 상기 제1 지지부에 설치된 제2 구동 콤전극과, 상기 제2 구동 콤전극에 대응되게 형성된 제2 고정 콤전극을 구비하는 제1 지지부 구동부를 구비한다. 상기 제1 및 제2 구동콤전극은 상기 스테이지부와 같은 제1레벨에 형성되며, 상기 제1 및 제2 고정콤전극은 수직면에서 상기 제1 및 제2 고정콤전극과 겹치지 않게 상기 스테이지 보다 낮은 제2레벨로 형성된 것을 특징으로 한다.