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公开(公告)号：CN106276771A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610859918.0
申请日：2016-09-27
Applicant: 广西安捷讯电子科技有限公司
Inventor： 赵京
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0035 , B81B3/0037 , B81B2201/01 , B81B2201/04 , B81B2203/0118
Abstract: 本发明公开一种位移放大结构，包括第一横梁、第二横梁及运动挡板，第二横梁与第一横梁平行设置，第一横梁的前端与结构框架相固定，第二横梁的前端与运动制动器相连接，第一横梁的尾端与第二横梁的尾端相平齐，且第一横梁的尾端与第二横梁的尾端均与运动挡板相固定连接。本发明还公开了应用上述位移放大结构的微机电系统，通过设置新的位移放大结构，并将该位移放大结构与微机电系统相结合，运动制动器移动，并使第二横梁产生位移，从而在第一横梁与第二横梁之间的差分位移的作用下，致使运动挡板产生竖直方向的位移，将运动制动器的横向位移通过运动挡板在竖直方向进行放大，同时该位移放大结构，结构简单，加工方便，降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN104843635B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201510086498.2
申请日：2015-02-17
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： D·哈贝雷尔
CPC classification number: B81B1/004 , B81B7/02 , B81B2201/04 , B81B2201/047 , B81B2203/0353 , B81C1/00087 , B81C1/00103 , B81C2201/0194 , B81C2203/0172
Abstract: 本发明涉及一种用于制造微机械部件的方法以及一种微机械部件。方法包括以下步骤：提供具有第一外表面和第二外表面的衬底，第二外表面背离第一外表面；构造穿过衬底从衬底的第一外表面直到衬底的第二外表面的通孔；在衬底的第二外表面上安装光学功能层，其中，光学功能层遮盖通孔；在衬底的第一外表面处如此移除衬底的第一区段，使得形成相对于衬底的第二外表面倾斜的第三外表面，第三外表面背离衬底的第二外表面，其中，倾斜的第三外表面包围通孔；通过分离衬底的具有通孔的第一部分和光学功能层的安装在第一部分处的第二部分与衬底的剩余部和光学功能层的剩余部来分离微机械部件。
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公开(公告)号：CN109052312A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810801341.7
申请日：2018-07-20
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十四研究所
CPC classification number: B81C1/00015 , B81B7/02 , B81B2201/04
Abstract: 本发明属于光电技术领域，具体为增强硅探测器近红外响应的微光栅光腔结构及其制造方法。微光栅光腔制作过程集成在硅探测器制作工艺中，与其制作工艺兼容。方法包括对硅探测器圆片进行预处理，在探测器圆片背面形成铬光栅；将铬光栅转移到硅衬底上，在硅衬底上形成周期为微米量级硅光栅微结构；在硅光栅微结构表面大剂量注入与硅衬底同类型的杂质；并在其表面淀积硼磷硅玻璃，形成光腔介质层薄膜；采用高温，快速退火的方式，对硼磷硅玻璃进行回流，平坦化；在所述光腔介质层薄膜表面溅射一层的铝膜，形成铝反射镜；构成微光栅光腔结构。本发明为硅探测器的背反射结构，将入射光子束缚在硅探测器内，延长其传播路径，显著提高硅探测器的吸收效率。
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公开(公告)号：CN104348326A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410346693.X
申请日：2014-07-21
Applicant: 智动全球股份有限公司
CPC classification number: G02B7/08 , B81B3/00 , B81B3/0018 , B81B2201/02 , B81B2201/04 , B81B2201/042 , G02B7/18 , G02B7/182 , G02B26/0833 , G02B26/085 , G02B26/101 , H02K33/18 , H02K35/00 , H02K41/02
Abstract: 本发明提供一种微机电系统的可动载具结构，应用微机电系统技术于一硅基板形成的可动载具结构，包括框架部、可动承载部，及二组弹簧结构分别设于可动承载部直线移动方向的二侧用以连接可动承载部于框架部内；透过可动承载部上的导电线圈回路及组弹簧结构设计，通过线圈回路导入电流后与外界的铁磁性材料相互作用而产生的作用力使可动承载部直线移动。该可动载具结构具有体积微小化、系统整合性佳、高光轴精度、批量化制造能力等优点。
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公开(公告)号：CN104348326B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201410346693.X
申请日：2014-07-21
Applicant: 智动全球股份有限公司
CPC classification number: G02B7/08 , B81B3/00 , B81B3/0018 , B81B2201/02 , B81B2201/04 , B81B2201/042 , G02B7/18 , G02B7/182 , G02B26/0833 , G02B26/085 , G02B26/101 , H02K33/18 , H02K35/00 , H02K41/02
Abstract: 本发明提供一种微机电系统的可动载具结构，应用微机电系统技术于一硅基板形成的可动载具结构，包括框架部、可动承载部，及二组弹簧结构分别设于可动承载部直线移动方向的二侧用以连接可动承载部于框架部内；透过可动承载部上的导电线圈回路及组弹簧结构设计，通过线圈回路导入电流后与外界的铁磁性材料相互作用而产生的作用力使可动承载部直线移动。该可动载具结构具有体积微小化、系统整合性佳、高光轴精度、批量化制造能力等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106323173A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610642260.8
申请日：2016-06-24
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
CPC classification number: G01C19/5726 , B81B2201/0228 , B81B2201/04 , B81B2203/053 , G01C19/5621 , G01C19/5656 , G01C19/574 , G01C25/00 , G01P15/032 , G01P15/093 , G01P21/00 , G01P2015/0822 , G02B6/29331 , G01B11/02 , G01C19/56
Abstract: 提供了用于MEMS传感器的针对基于时间的光学敏感元件的系统和方法。在一个实施例中，一种用于集成波导的基于时间的光学敏感元件传感器的方法包括：将由光源生成的光束发射到在第一基板中单片制造的集成波导光学敏感元件中，集成波导光学敏感元件包括光学输入端、耦合端和光学输出端；以及通过在光学输出端测量光束的衰减，来探测耦合端和与耦合端隔开一间隙的移动传感器部件之间的重叠面积的改变，其中，移动传感器部件关于包括耦合端的第一基板的表面做平面内移动，且耦合端被定位为探测移动传感器部件的边沿的移动。
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公开(公告)号：CN106248067A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610542711.0
申请日：2016-04-28
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
CPC classification number: G01B11/272 , B81B2201/0228 , B81B2201/04 , B81B2203/053 , G01C19/5621 , G01C19/5656 , G01C25/00 , G01P15/093 , G01P15/13 , G01P21/00 , G01P2015/0822 , G02B6/12 , G02B6/4295 , G02B6/43 , G02B2006/12138 , G01C19/00 , G01C19/32
Abstract: 提供了用于高度集成的光学读出MEMS传感器的系统和方法。在一个实施例中，一种用于集成波导光学拾取器传感器的方法包括：将由激光光源产生的激光束发射到在第一基板内单片制作的集成波导光学拾取器中，该集成波导光学拾取器包括光学输入端口、耦合端口和光学输出端口；以及通过测量在光学输出端口处激光束的衰减，检测激光束从耦合端口到与耦合端口分离一定间隙的传感器部件的耦合的量。
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公开(公告)号：CN1740088A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510093268.5
申请日：2005-08-23
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: C23F4/00 , B81B2201/04 , G02B26/0833
Abstract: 本发明揭示一种镜面制程，其是使用钨保护层来防止因金属突穿造成镜面结构的桥接，并改善镜面结构的曲率，其步骤包含：在一基底上的第一牺牲层之上，图形化一镜面结构；毯覆性地沉积一钨保护层，以覆盖上述镜面结构的侧壁及上表面；形成第二牺牲层于上述钨保护层上；以及使用含二氟化氙的一蚀刻剂施以一释出的步骤，以同时移除上述第二牺牲层、上述钨保护层、与上述第一牺牲层。
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公开(公告)号：CN106461936A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580031689.7
申请日：2015-05-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G02B26/085 , B81B3/004 , B81B3/0051 , B81B2201/042 , G02B26/105 , H04N9/312 , B81B2201/04
Abstract: 本发明公开了一种微镜组件，所述微镜组件具有弹性悬挂的镜；具有至少一个止挡装置，该止挡装置构造成用于在所述镜从该镜的静止位置出发沿预给定方向运动时限制所述镜的运动。此外，本发明公开了一种投影装置。
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公开(公告)号：CN104843635A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510086498.2
申请日：2015-02-17
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： D·哈贝雷尔
CPC classification number: B81B1/004 , B81B7/02 , B81B2201/04 , B81B2201/047 , B81B2203/0353 , B81C1/00087 , B81C1/00103 , B81C2201/0194 , B81C2203/0172
Abstract: 本发明涉及一种用于制造微机械部件的方法以及一种微机械部件。方法包括以下步骤：提供具有第一外表面和第二外表面的衬底，第二外表面背离第一外表面；构造穿过衬底从衬底的第一外表面直到衬底的第二外表面的通孔；在衬底的第二外表面上安装光学功能层，其中，光学功能层遮盖通孔；在衬底的第一外表面处如此移除衬底的第一区段，使得形成相对于衬底的第二外表面倾斜的第三外表面，第三外表面背离衬底的第二外表面，其中，倾斜的第三外表面包围通孔；通过分离衬底的具有通孔的第一部分和光学功能层的安装在第一部分处的第二部分与衬底的剩余部和光学功能层的剩余部来分离微机械部件。
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