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公开(公告)号：KR101209403B1
公开(公告)日：2012-12-06
申请号：KR1020100071769
申请日：2010-07-26
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 지지벽으로둘러싸인화살촉구조의미세전극어레이의제조방법은, 기판의제1 영역이식각되며, 식각된상기제1 영역의바닥면은뾰족한형상을갖도록상기기판을식각하는단계; 식각된상기제1 영역에제1 도전층및 제2 도전층을순차적으로형성하는단계; 상기제1 도전층및 상기제2 도전층을둘러싸는상기기판의제2 영역을식각하는단계; 및상기제2 영역에제1 고분자물질층을형성하는단계를포함할수 있다. 이상과같이제조된지지벽으로둘러싸인화살촉구조의미세전극은생체신호의기록및/또는전달대상에안정적인밀착을담보하고, 생체내 이식시 생체조직에의한물리적영향을최소화할수 있다. 또한, 지지벽으로둘러싸인화살촉구조의미세전극은균일한어레이, 오목한어레이, 또는볼록한어레이등의미세전극의어레이로구성될수도있다.
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