公开(公告)号：KR1020160125564A

公开(公告)日：2016-11-01

申请号：KR1020150055823

申请日：2015-04-21

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 최혁렬 ,  김의겸 ,  박준우 ,  한효승

IPC: G01D21/02 ,  G01L1/14 ,  G01L5/16 ,  G01V3/08

Abstract: 본발명은근접검출이가능한다축힘 센서에관한것으로서, 유연성을갖는비전도성재질로형성된기판; 상기기판상부에형성되며, 상기기판의상면의중심에형성되는하나의음극전극, 상기음극전극을기준으로각각인접하여소정의간극을갖도록형성되는복수개의양극전극들로구성되는전극레이어; 및상기전극레이어상부에형성되며, 상기음극전극의일부와상기복수개의양극전극들중 하나의일부에중첩되게배치되는복수개의 CMC 패드들로구성되는 CMC 패드부; 를포함할수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种能够进行接近检测的多轴力传感器，包括：由具有柔性的非导电材料形成的基板; 形成在上部电极是邻近每个阳极电极，形成在多个被形成为具有预定的间隙层的阳极电极的构成的基板的上表面的中心处的阴极电极中的一个的基础上，所述衬底; 以及形成在电极层上的CMC衬垫部分，CMC衬垫部分由多个CMC衬垫构成，所述多个CMC衬垫布置成与阴极电极的一部分和多个阳极电极中的一个的一部分重叠; 该可包含。