公开(公告)号：KR101758649B1

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：KR1020100029509

申请日：2010-03-31

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 이은경 ,  최병룡 ,  황동목 ,  이재현

IPC: C01B31/02 ,  C23C16/26

CPC classification number: H01L21/02527 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/186 ,  C01B2204/04 ,  C23C16/0272 ,  C23C16/26 ,  C30B25/02 ,  C30B29/08 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/0262

Abstract: 게르마늄층을이용한그래핀제조방법이개시된다. 개시된게르마늄층을이용한그래핀제조방법은, 기판상에게르마늄층을형성하는단계와, 상기기판이배치된챔버내에탄소함유개스를공급하여상기게르마늄층상에직접그래핀을형성하는단계를포함할수 있다. 본발명의실시예에따른그래핀제조방법은촉매금속층을사용하지않으므로, 촉매금속으로오염되지않은그래핀층을제조할수 있다.

Abstract translation: 公开了一种使用锗层制造石墨烯的方法。 所公开的使用锗层制造石墨烯层的方法可以包括在衬底上形成锗层并将含碳气体供应到其中设置衬底的腔室中以直接在锗层上形成石墨烯 。 由于根据本发明实施方式的石墨烯制造方法不使用催化剂金属层，因此可以制造未被催化剂金属污染的石墨烯层。

公开(公告)号：KR1020150026119A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：KR1020130104508

申请日：2013-08-30

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 이은경 ,  최병룡 ,  주원제 ,  김병성 ,  이재현 ,  이종운 ,  황동목

IPC: B82B1/00 ,  H01L31/12

CPC classification number: H01L24/45 ,  H01B1/04 ,  H01L24/43 ,  H01L2224/43 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45186 ,  H01L2224/45193 ,  H01L2224/45663 ,  H01L2224/45693 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/12043 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/00014

Abstract: 개시된 와이어 구조체는, 와이어 형상을 가지는 제1 와이어 코어와, 상기 제1 와이어 코어를 둘러싸는 것으로 탄소를 포함하는 제1 카본 셸을 포함하는 제1 와이어; 및 상기 제1 와이어의 길이 방향으로 연장되는 제2 와이어를 포함한다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种其纵向控制掺杂的导线结构，具有该线结构的半导体器件及其制造方法。 所公开的线结构包括：第一线，其包括具有线形的第一线芯和覆盖第一线芯并包括碳的第一碳壳; 以及延长到第一线的纵向方向的第二线。

公开(公告)号：KR1020130061514A

公开(公告)日：2013-06-11

申请号：KR1020110127863

申请日：2011-12-01

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 이은경 ,  최병룡 ,  차승남 ,  이재현 ,  황동목

IPC: C08K3/04 ,  C08L101/00 ,  C01B31/04 ,  H01L35/22

CPC classification number: H01L35/28 ,  B32B3/263 ,  B32B3/30 ,  B82Y30/00 ,  H01L35/22 ,  H01L35/32 ,  Y10T428/24521 ,  Y10T428/24612 ,  C08K3/04 ,  C01B32/182 ,  C08L101/00

Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a composite of a polymer and a graphene is provided to obtain the composite with a 3-dimensional structure, having both high electric conductivity of the graphene and low thermal conductivity of the polymer. CONSTITUTION: A composite of a composite of a polymer and a graphene comprises at least one 3-dimensioanl polymer structure; and a graphene layer formed on the polymer structure. A manufacturing method of the composite comprises a step of preparing a substrate for growth(110), having an uneven surface; a step of synthesizing a graphene layer on the surface of the substrate; a step of forming a polymer structure on the graphene layer; and a step of removing the substrate.

Abstract translation: 目的：提供聚合物和石墨烯的复合材料的制造方法，以获得具有石墨烯的高导电性和聚合物的低导热性的三维结构的复合体。 构成：聚合物和石墨烯的复合材料的复合材料包含至少一种3-维聚合物结构; 和形成在聚合物结构上的石墨烯层。 复合材料的制造方法包括制备具有不平坦表面的用于生长的基底（110）的步骤; 在所述基板的表面上合成石墨烯层的工序; 在石墨烯层上形成聚合物结构的步骤; 以及去除基板的步骤。

公开(公告)号：KR102149331B1

公开(公告)日：2020-08-28

申请号：KR1020130104508

申请日：2013-08-30

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 이은경 ,  최병룡 ,  주원제 ,  김병성 ,  이재현 ,  이종운 ,  황동목

IPC: B82B1/00 ,  H01L31/12

公开(公告)号：KR101851578B1

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：KR1020150054239

申请日：2015-04-17

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 황동목 ,  이재현 ,  임재영 ,  장현식

IPC: C30B25/00

Abstract: 제 1 금속기재에서성장된단결정 2 차원물질을박리하여씨드를수득하는단계; 제 2 기재에상기씨드를전사하는단계; 및상기전사된씨드를성장시켜대면적단결정 2 차원물질을수득하는단계를포함하는, 대면적단결정 2 차원물질의제조방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR1020110109680A

公开(公告)日：2011-10-06

申请号：KR1020100029509

申请日：2010-03-31

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 이은경 ,  최병룡 ,  황동목 ,  이재현

IPC: C01B31/02 ,  C23C16/26

CPC classification number: H01L21/02527 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/186 ,  C01B2204/04 ,  C23C16/0272 ,  C23C16/26 ,  C30B25/02 ,  C30B29/08 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/0262

Abstract: 게르마늄층을 이용한 그래핀 제조방법이 개시된다. 개시된 게르마늄층을 이용한 그래핀 제조방법은, 기판 상에 게르마늄층을 형성하는 단계와, 상기 기판이 배치된 챔버 내에 탄소함유 개스를 공급하여 상기 게르마늄층 상에 직접 그래핀을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 그래핀 제조방법은 촉매금속층을 사용하지 않으므로, 촉매금속으로 오염되지 않은 그래핀층을 제조할 수 있다.