그래핀 전사 방법 및 이를 이용한 소자의 제조방법

    公开(公告)号:KR101920720B1

    公开(公告)日:2018-11-21

    申请号:KR1020120155320

    申请日:2012-12-27

    Abstract: 그래핀전사방법및 이를이용한소자의제조방법에관해개시되어있다. 개시된그래핀전사방법은비금속촉매(예컨대, 반도체촉매)를포함하는기판상에그래핀층을형성하는단계, 상기그래핀층상에박막을형성하는단계및 상기기판으로부터상기그래핀층과상기박막의적층구조물을분리하는단계를포함할수 있다. 상기비금속촉매(예컨대, 반도체촉매)는 Ge 및 SiGe 중적어도하나를포함할수 있다. 상기박막은무기물박막일수 있고, 단층또는다층구조로형성할수 있다. 상기기판으로부터상기적층구조물을분리하는단계는물리적박리공정으로수행할수 있다. 상기기판으로부터상기적층구조물을분리하는단계전, 상기박막상에유기막을형성하는단계를더 수행할수 있다.

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