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公开(公告)号：KR101281210B1
公开(公告)日：2013-07-02
申请号：KR1020087016017
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
IPC: H02K44/02
CPC classification number: F04B13/00 , F04B7/0076 , Y10T137/87885
Abstract: 펌핑 장치에서의 압력 섭동을 최소화하기 위한 시스템 및 방법이 개시된다. 본 발명의 실시예는, 밸브를 폐쇄하여 유체 경로에 폐쇄 공간 또는 밀폐 공간이 형성되지 않도록 함으로써, 그리고 유사하게 2개의 밀폐 공간 사이에서 밸브를 개방하지 않음으로써 펌핑 장치의 유체 경로에서의 압력 변동을 줄이는 역할을 할 수 있다. 보다 구체적으로, 본 발명의 실시예는 펌핑 장치를 통과하는 유체 유동 경로가 (예컨대, 펌핑 장치의 외부 영역에 대해) 폐쇄되는 시간을 실질적으로 최소화하도록 구성된 밸브 시퀀스에 따라 펌핑 장치의 밸브 시스템을 작동시키는 역할을 할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101212824B1
公开(公告)日：2012-12-14
申请号：KR1020077014324
申请日：2005-11-21
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
CPC classification number: F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
Abstract: 본발명의실시예들은펌프의장치내 용적을줄이기위한시스템과방법을제공한다. 특히, 본발명의실시예들은토출펌프및/또는이송펌프에서장치내 잔류량을줄이기위해홈 위치를결정하기위한시스템및 장치에관한것이다. 다이어프램의대한홈 위치는토출펌프및/또는이송펌프에서의챔버의용적이장치내 용적을최소화시키면서토출사이클의각종단계를수행하기에충분한유체를포함하도록선택될수 있다. 추가적으로, 다이어프램의홈 위치는양변위의유효범위를최적화시키기위해선택될수 있다.
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公开(公告)号：KR1020080071619A
公开(公告)日：2008-08-04
申请号：KR1020087015690
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
IPC: F04B49/00
CPC classification number: F04B49/08 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B51/00 , F04B2205/03
Abstract: Systems and methods for maintaining substantially a baseline pressure in a chamber of a pumping apparatus are disclosed. Embodiments of the present invention may serve to control a motor to compensate or account for a pressure drift which may occur in a chamber of the pumping apparatus. More specifically, a dispense motor may be controlled to substantially maintain a baseline pressure in the dispense chamber before a dispense based on a pressure sensed in the dispense chamber. In one embodiment, before a dispense is initiated a control loop may be utilized such that it is repeatedly determined if the pressure in the dispense chamber is above a desired pressure and, if so, the movement of the pumping means regulated to maintain substantially the desired pressure in the dispense chamber until a dispense of fluid is initiated.
Abstract translation: 公开了用于在泵送装置的腔室中基本维持基线压力的系统和方法。 本发明的实施例可以用于控制电动机以补偿或解释可能在泵送装置的腔室中发生的压力漂移。 更具体地，可以控制分配马达，以在基于在分配室中感测到的压力的分配之前基本维持分配室中的基准压力。 在一个实施例中，在分配开始之前，可以利用控制回路，使得重复地确定分配室中的压力是否高于期望的压力，并且如果是，调节泵送装置的运动以维持基本上所需的 在分配室内的压力直到开始分配流体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101308175B1
公开(公告)日：2013-09-26
申请号：KR1020087015528
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
IPC: B67D7/08
CPC classification number: F04B13/00 , F04B51/00 , Y10T436/115831 , Y10T436/2575
Abstract: 본 발명의 실시예는 펌프를 이용하여 정확하게 유체를 분배하는 펌핑 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 실시예는 분배 시스템의 컴플라이언스(compliance)에 대한 보정에 의해 펌프가 분배하는 유체의 양에 있어서의 오차를 줄이는 시스템 및 방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR101231945B1
公开(公告)日：2013-02-08
申请号：KR1020127021759
申请日：2005-11-21
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
IPC: H01L21/02
CPC classification number: F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
Abstract: 본 발명의 실시예들은 펌프의 장치 내 용적을 줄이기 위한 시스템과 방법을 제공한다. 특히, 본 발명의 실시예들은 토출 펌프 및/또는 이송 펌프에서 장치 내 잔류량을 줄이기 위해 홈 위치를 결정하기 위한 시스템 및 장치에 관한 것이다. 다이어프램의 대한 홈 위치는 토출 펌프 및/또는 이송 펌프에서의 챔버의 용적이 장치 내 용적을 최소화시키면서 토출 사이클의 각종 단계를 수행하기에 충분한 유체를 포함하도록 선택될 수 있다. 추가적으로, 다이어프램의 홈 위치는 양변위의 유효 범위를 최적화시키기 위해 선택될 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020080073351A
公开(公告)日：2008-08-08
申请号：KR1020087015528
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
IPC: B67D7/08
CPC classification number: F04B13/00 , F04B51/00 , Y10T436/115831 , Y10T436/2575
Abstract: Embodiments of the present invention are related to a pumping system that accurately dispenses fluid using a pump. Embodiments of the present invention provide systems and methods for reducing the error in the amount of a fluid a pump dispenses by correcting for the compliance of a dispense system.
Abstract translation: 本发明的实施例涉及一种使用泵精确分配流体的泵送系统。 本发明的实施例提供了通过校正分配系统的顺应性来减少泵分配的流体量的误差的系统和方法。
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公开(公告)号：KR1020080071622A
公开(公告)日：2008-08-04
申请号：KR1020087015803
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
CPC classification number: F04B13/00 , F04B1/08 , F04B23/04 , F04B23/06 , F04B41/06 , F04B43/088 , F04B49/06 , F04B49/065 , F04B49/08 , F04B49/103 , F04B51/00 , F04B2203/0209 , F04B2205/01 , F04B2205/03 , F04B2205/04
Abstract: Systems and methods for operating a pump are disclosed. Pressure readings in a pump can be compared to a set point or profile to adjust motor speed to control pressure during various stages of operation. According to other embodiments, a baseline profile for one or more parameters of a pump may be established. An operating profile may then be created by recording one or more values for the same set of parameters during subsequent operation of the pump. The values of the baseline profile and the operating profile may then be compared at one or more points or sets of points.
Abstract translation: 公开了一种用于操作泵的系统和方法。 可以将泵中的压力读数与设定点或轮廓进行比较，以调整电机速度，以在各种操作阶段控制压力。 根据其他实施例，可以建立泵的一个或多个参数的基线曲线。 然后可以通过在泵的后续操作期间记录用于相同参数集合的一个或多个值来创建操作简档。 然后可以在一个或多个点或一组点处比较基线轮廓和操作轮廓的值。
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公开(公告)号：KR1020080071582A
公开(公告)日：2008-08-04
申请号：KR1020087013119
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
Inventor： 고넬라조지 , 케드론제임스 , 제이거스레이몬드에이 , 맥러플린로버트에프
CPC classification number: F04B13/00
Abstract: Systems and methods for compensating for pressure increase which may occur in various enclosed spaces of a pumping apparatus are disclosed. Embodiments of the present invention may compensate for pressure increases in chambers of a pumping apparatus by moving a pumping means of the pumping apparatus to adjust the volume of the chamber to compensate for a pressure increase in the chamber. More specifically, in one embodiment, to account for unwanted pressure increases to the fluid in a dispense chamber the dispense motor may be reversed to back out piston to compensate for any pressure increase in the dispense chamber.
Abstract translation: 公开了用于补偿可能在泵送装置的各种封闭空间中发生的压力增加的系统和方法。 本发明的实施例可以通过移动泵送装置的泵送装置来调节泵室的容积来补偿泵送装置的腔室中的压力增加，以补偿腔室中的压力增加。 更具体地，在一个实施例中，为了解决分配室中的流体的不希望的压力增加，分配马达可以反向以返回活塞以补偿分配室中的任何压力增加。
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