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公开(公告)号：KR1020070089198A
公开(公告)日：2007-08-30
申请号：KR1020077014324
申请日：2005-11-21
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
CPC classification number: F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
Abstract: Embodiments of the present, invention provide a system and method for reducing the hold-up volume of a pump. More particularly, embodiments of the present invention provide a system and method for determining a home position to reduce hold-up volume at a dispense pump and/or a feed pump. The home position for the diaphragm can be selected such that the volume of the chamber at the dispense pump and/or feed pump contains sufficient fluid to perform the various steps of a dispense cycle while minimizing the hold-up volume. Additionally, the home position of the diaphragm can be selected to optimize the effective range of positive displacement.
Abstract translation: 本发明的实施例提供了一种用于减小泵的保持容积的系统和方法。 更具体地，本发明的实施例提供了一种用于确定原始位置以减少分配泵和/或进料泵的滞留体积的系统和方法。 可以选择隔膜的原始位置，使得在分配泵和/或进料泵处的室的体积包含足够的流体，以在最小化保持容积的同时执行分配循环的各个步骤。 另外，可以选择隔膜的原位来优化正位移的有效范围。
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公开(公告)号：KR101243509B1
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：KR1020087015690
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
IPC: F04B49/00
CPC classification number: F04B49/08 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B51/00 , F04B2205/03
Abstract: 펌핑 장치의 챔버에서의 기준 압력을 실질적으로 유지하기 위한 시스템 및 방법이 개시된다. 본 발명의 실시예는 펌핑 장치의 챔버에서 발생할 수 있는 압력 변동을 보상하거나 고려하도록 모터를 제어하는 역할을 할 수 있다. 보다 구체적으로, 분배 챔버에서 감지된 압력에 기초하여 분배 이전에 분배 챔버 내의 기준 압력을 실질적으로 유지하도록 분배 모터를 제어할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 분배가 개시되기 이전에, 분배 챔버 내의 압력이 요구되는 압력을 초과하는지 여부를 반복적으로 측정하기 위해 제어 루프가 사용될 수 있으며, 분배 챔버 내의 압력이 요구되는 압력을 초과하는 경우에는 펌핑 수단의 이동을 조절하여 유체의 분배가 개시되기 전까지 분배 챔버에서 요구되는 압력을 실질적으로 유지하도록 한다.
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公开(公告)号：KR1020080070773A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：KR1020087015349
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
CPC classification number: G06F13/4027 , F04B49/065 , G05B19/042 , G05B2219/25204 , G06F13/4282 , H04L67/12 , Y02D10/14 , Y02D10/151 , G06F13/14 , G06F13/38
Abstract: Embodiments of the present invention provide I/O systems, methods, and devices for interfacing pump controller(s) with control device(s) which may have different interfaces and/or signaling formats. In one embodiment, an I/O interface module comprises a processor, a memory, and at least two data communications interfaces for communicating with a pumping controller and a control device. The I/O interface module can receive discrete signals from the control device, interpret them accordingly and send the packets to the pump controller. The pump controller reads the packets and takes appropriate actions at the pump. The I/O interface module can interpret packets of data received from the pump controller and assert corresponding discrete signals to the control device. The I/O interface module is customizable and allows a variety of interfaces and control schemes to be implemented with a particular multiple stage pump without changing the hardware of the pump.
Abstract translation: 本发明的实施例提供了用于将泵控制器与可能具有不同接口和/或信令格式的控制设备接口的I / O系统，方法和设备。 在一个实施例中，I / O接口模块包括处理器，存储器和用于与泵送控制器和控制设备通信的至少两个数据通信接口。 I / O接口模块可以从控制设备接收离散信号，相应地解释它们，并将数据包发送到泵控制器。 泵控制器读取数据包，并在泵处采取适当的措施。 I / O接口模块可以解释从泵控制器接收的数据包，并将相应的离散信号声明给控制设备。 I / O接口模块是可定制的，允许使用特定的多级泵实现各种接口和控制方案，而无需更换泵的硬件。
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公开(公告)号：KR1020160018555A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：KR1020157035211
申请日：2014-06-04
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
Inventor： 쿡리차드에이 , 고넬라조지 , 문성인 , 엑스트랜드찰스더블유 , 필리온존이
IPC: G01L19/06 , B81B7/00 , B81C1/00 , H01L27/04 , H01L21/768
CPC classification number: G01L19/0645 , B81B7/0025
Abstract: 센서는세라믹재료를포함하는센서층; 크롬을포함하는접착층으로서센서층의액체대향면의하나이상의부분에부착된접착층; 및중합체를포함하는절연체필름으로서접착층의액체대향면을덮는절연체필름을포함한다. 절연체필름은부식성유체및 고온의유체로부터센서를보호하기위해, 예컨대, 85℃내지 100℃의온수에의장기간노출로부터센서를보호하기위해사용될수 있다.
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公开(公告)号：KR101364385B1
公开(公告)日：2014-02-17
申请号：KR1020087015349
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
CPC classification number: G06F13/4027 , F04B49/065 , G05B19/042 , G05B2219/25204 , G06F13/4282 , H04L67/12 , Y02D10/14 , Y02D10/151
Abstract: 본 발명의 실시예는 서로 다른 인터페이스 및/또는 신호전달 포맷을 가질 수 있는 펌프 제어기(들)를 제어 디바이스(들)와 인터페이스시키는 I/O 시스템, 방법 및 디바이스를 제공한다. 일 실시예에서, I/O 인터페이스 모듈은 프로세서와, 메모리와, 펌프 제어기 및 제어 디바이스와 통신하기 위한 적어도 두 개의 데이터 통신 인터페이스를 포함한다. I/O 인터페이스 모듈은 제어 디바이스로부터 이산 신호를 수신하고, 그에 따라 그것들을 해석하고, 패킷을 펌프 제어기에 송신할 수 있다. 펌프 제어기는 패킷을 판독하고, 펌프에서 적합한 동작을 취할 수 있다. I/O 인터페이스 모듈은 펌프 제어기로부터 수신된 데이터의 패킷을 해석하고, 제어 디바이스에 대응하는 이산 신호를 어서트할 수 있다. I/O 인터페이스 모듈은 맞춤화가 가능하고, 펌프의 하드웨어의 변경 없이 다양한 인터페이스 및 제어 방식이 특정 다수 스테이지의 펌프와 함께 구현될 수 있게 해준다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101243524B1
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：KR1020087013119
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
Inventor： 고넬라조지 , 케드론제임스 , 제이거스레이몬드에이 , 맥러플린로버트에프
CPC classification number: F04B13/00
Abstract: 펌핑 장치의 다양한 밀폐 공간에서 발생할 수 있는 압력 상승을 보정하기 위한 시스템 및 방법이 개시된다. 본 발명의 실시예는, 챔버 내의 압력 상승을 보정하도록 챔버의 체적을 조절하기 위해 펌핑 장치의 펌핑 수단을 이동시킴으로써 펌핑 장치의 챔버 내의 압력 상승을 보정할 수 있다. 보다 구체적으로, 일 실시예에 있어서, 분배 챔버 내의 유체에 대한 원치 않는 압력 상승을 해결하기 위해, 분배 모터는 분배 챔버 내의 임의의 압력 상승을 보정하도록 피스톤을 후퇴시키기 위해 역회전될 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020120109642A
公开(公告)日：2012-10-08
申请号：KR1020127021759
申请日：2005-11-21
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
IPC: H01L21/02
CPC classification number: F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
Abstract: 본 발명의 실시예들은 펌프의 장치 내 용적을 줄이기 위한 시스템과 방법을 제공한다. 특히, 본 발명의 실시예들은 토출 펌프 및/또는 이송 펌프에서 장치 내 잔류량을 줄이기 위해 홈 위치를 결정하기 위한 시스템 및 장치에 관한 것이다. 다이어프램의 대한 홈 위치는 토출 펌프 및/또는 이송 펌프에서의 챔버의 용적이 장치 내 용적을 최소화시키면서 토출 사이클의 각종 단계를 수행하기에 충분한 유체를 포함하도록 선택될 수 있다. 추가적으로, 다이어프램의 홈 위치는 양변위의 유효 범위를 최적화시키기 위해 선택될 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020080080604A
公开(公告)日：2008-09-04
申请号：KR1020087016017
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
IPC: H02K44/02
CPC classification number: F04B13/00 , F04B7/0076 , Y10T137/87885
Abstract: Systems and methods for minimizing pressure fluctuations within a pumping apparatus are disclosed. Embodiments of the present invention may serve to reduce pressure variations within a fluid path of a pumping apparatus by avoiding closing a valve to create a closed or entrapped space in the fluid path and similarly, avoiding opening a valve between two entrapped spaces. More specifically, embodiments of the present invention may serve to operate a system of valves of the pumping apparatus according to a valve sequence configured to substantially minimize the time the fluid flow path through the pumping apparatus is closed (e.g. to an area external to the pumping apparatus).
Abstract translation: 公开了一种用于最小化泵送装置内的压力波动的系统和方法。 本发明的实施例可以用于通过避免闭合阀门以在流体路径中产生闭合或截留的空间来减少泵送装置的流体路径内的压力变化，并且类似地避免在两个被夹带的空间之间打开阀门。 更具体地，本发明的实施例可以用于根据阀顺序来操作泵送装置的阀的系统，所述阀顺序被配置为基本上最小化通过泵送装置的流体流动路径关闭的时间（例如，到泵送外部的区域 仪器）。
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公开(公告)号：KR102208154B1
公开(公告)日：2021-01-27
申请号：KR1020157035211
申请日：2014-06-04
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
Inventor： 쿡리차드에이 , 고넬라조지 , 문성인 , 엑스트랜드찰스더블유 , 필리온존이
IPC: G01L19/06 , B81B7/00 , B81C1/00 , H01L27/04 , H01L21/768
Abstract: 센서는세라믹재료를포함하는센서층; 크롬을포함하는접착층으로서센서층의액체대향면의하나이상의부분에부착된접착층; 및중합체를포함하는절연체필름으로서접착층의액체대향면을덮는절연체필름을포함한다. 절연체필름은부식성유체및 고온의유체로부터센서를보호하기위해, 예컨대, 85℃내지 100℃의온수에의장기간노출로부터센서를보호하기위해사용될수 있다.
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公开(公告)号：KR101290958B1
公开(公告)日：2013-07-30
申请号：KR1020087015803
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
CPC classification number: F04B13/00 , F04B1/08 , F04B23/04 , F04B23/06 , F04B41/06 , F04B43/088 , F04B49/06 , F04B49/065 , F04B49/08 , F04B49/103 , F04B51/00 , F04B2203/0209 , F04B2205/01 , F04B2205/03 , F04B2205/04
Abstract: 본원에는 펌프의 작동을 위한 시스템 및 방법이 개시되어 있다. 펌프의 압력 수치는, 여러 작동 단계 동안에 모터의 속도를 조정하여 압력을 제어하기 위한 설정점 또는 프로파일에 비교될 수 있다. 다른 실시예에 따르면, 펌프의 하나 이상의 파라미터에 대한 기본 프로파일을 수립할 수 있다. 그 후, 뒤이은 펌프의 작동 동안에 동일한 파라미터의 세트에 대하여 하나 이상의 값을 기록함으로써, 작동 프로파일을 형성할 수 있다. 그 후, 기본 프로파일과 작동 프로파일의 값은 하나 이상의 점 또는 점들의 집합에서 비교될 수 있다.
Abstract translation: 这里公开了一种用于操作泵的系统和方法。 泵的压力值可以通过调节电机在不同运行阶段的速度来控制压力的设定值或曲线。 根据另一个实施例，可以建立泵的一个或多个参数的基本概况。 然后可以通过在随后的泵的操作期间记录相同的一组参数的一个或多个值来形成操作简档。 然后可以在一个或多个点或一组点中比较基本配置文件和操作配置文件的值。
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