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公开(公告)号：KR1020120109642A
公开(公告)日：2012-10-08
申请号：KR1020127021759
申请日：2005-11-21
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
IPC: H01L21/02
CPC classification number: F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
Abstract: 본 발명의 실시예들은 펌프의 장치 내 용적을 줄이기 위한 시스템과 방법을 제공한다. 특히, 본 발명의 실시예들은 토출 펌프 및/또는 이송 펌프에서 장치 내 잔류량을 줄이기 위해 홈 위치를 결정하기 위한 시스템 및 장치에 관한 것이다. 다이어프램의 대한 홈 위치는 토출 펌프 및/또는 이송 펌프에서의 챔버의 용적이 장치 내 용적을 최소화시키면서 토출 사이클의 각종 단계를 수행하기에 충분한 유체를 포함하도록 선택될 수 있다. 추가적으로, 다이어프램의 홈 위치는 양변위의 유효 범위를 최적화시키기 위해 선택될 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020070089198A
公开(公告)日：2007-08-30
申请号：KR1020077014324
申请日：2005-11-21
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
CPC classification number: F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
Abstract: Embodiments of the present, invention provide a system and method for reducing the hold-up volume of a pump. More particularly, embodiments of the present invention provide a system and method for determining a home position to reduce hold-up volume at a dispense pump and/or a feed pump. The home position for the diaphragm can be selected such that the volume of the chamber at the dispense pump and/or feed pump contains sufficient fluid to perform the various steps of a dispense cycle while minimizing the hold-up volume. Additionally, the home position of the diaphragm can be selected to optimize the effective range of positive displacement.
Abstract translation: 本发明的实施例提供了一种用于减小泵的保持容积的系统和方法。 更具体地，本发明的实施例提供了一种用于确定原始位置以减少分配泵和/或进料泵的滞留体积的系统和方法。 可以选择隔膜的原始位置，使得在分配泵和/或进料泵处的室的体积包含足够的流体，以在最小化保持容积的同时执行分配循环的各个步骤。 另外，可以选择隔膜的原位来优化正位移的有效范围。
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公开(公告)号：KR101212824B1
公开(公告)日：2012-12-14
申请号：KR1020077014324
申请日：2005-11-21
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
CPC classification number: F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
Abstract: 본발명의실시예들은펌프의장치내 용적을줄이기위한시스템과방법을제공한다. 특히, 본발명의실시예들은토출펌프및/또는이송펌프에서장치내 잔류량을줄이기위해홈 위치를결정하기위한시스템및 장치에관한것이다. 다이어프램의대한홈 위치는토출펌프및/또는이송펌프에서의챔버의용적이장치내 용적을최소화시키면서토출사이클의각종단계를수행하기에충분한유체를포함하도록선택될수 있다. 추가적으로, 다이어프램의홈 위치는양변위의유효범위를최적화시키기위해선택될수 있다.
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公开(公告)号：KR101231945B1
公开(公告)日：2013-02-08
申请号：KR1020127021759
申请日：2005-11-21
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
IPC: H01L21/02
CPC classification number: F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
Abstract: 본 발명의 실시예들은 펌프의 장치 내 용적을 줄이기 위한 시스템과 방법을 제공한다. 특히, 본 발명의 실시예들은 토출 펌프 및/또는 이송 펌프에서 장치 내 잔류량을 줄이기 위해 홈 위치를 결정하기 위한 시스템 및 장치에 관한 것이다. 다이어프램의 대한 홈 위치는 토출 펌프 및/또는 이송 펌프에서의 챔버의 용적이 장치 내 용적을 최소화시키면서 토출 사이클의 각종 단계를 수행하기에 충분한 유체를 포함하도록 선택될 수 있다. 추가적으로, 다이어프램의 홈 위치는 양변위의 유효 범위를 최적화시키기 위해 선택될 수 있다.
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