公开(公告)号：KR102234509B1

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：KR1020190079381

申请日：2019-07-02

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김형준 ,  김영준 ,  박주상

IPC: G01N27/12 ,  H01L29/47 ,  H01L21/02

Abstract: 본실시예들은기판에전도층을형성하고, 상기전도층에전극을증착하며, 상기전도층과상기전극에서발생하는쇼트키배리어높이를기반으로가스의반응도를변화시켜상기가스를선택적으로검출하는쇼트키배리어조절을통한센서반응성을향상시킬수 있는이차원전이금속칼코겐화합물가스센서및 그제조방법을제공한다.

公开(公告)号：KR1020210003517A

公开(公告)日：2021-01-12

申请号：KR1020190079381

申请日：2019-07-02

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김형준 ,  김영준 ,  박주상

IPC: G01N27/12 ,  H01L29/47 ,  H01L21/02

Abstract: 본실시예들은기판에전도층을형성하고, 상기전도층에전극을증착하며, 상기전도층과상기전극에서발생하는쇼트키배리어높이를기반으로가스의반응도를변화시켜상기가스를선택적으로검출하는쇼트키배리어조절을통한센서반응성을향상시킬수 있는이차원전이금속칼코겐화합물가스센서및 그제조방법을제공한다.

公开(公告)号：KR101697438B1

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：KR1020150143656

申请日：2015-10-14

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김형준 ,  송정규 ,  박주상

IPC: C23C28/04 ,  C23C28/00 ,  C23C16/455 ,  C23C16/40 ,  C23C8/06 ,  C23C8/08 ,  H01L21/24

Abstract: 금속황화물합금및 금속황화물합금제조방법이개시된다. 개시된금속황화물합금은다수의레이어가적층된구조를가지며, 각레이어는제1 금속및 제2 금속을포함하는금속황화물합금이고, 상기각 레이어의제1 금속및 제2 금속의성분비는서로상이하다. 개시된금속황화물합금은광대역에대한광 흡수특성을가지는장점이있다.