公开(公告)号：KR101503735B1

公开(公告)日：2015-03-19

申请号：KR1020140006778

申请日：2014-01-20

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김형준 ,  송정규 ,  박주상

IPC: B01J23/30 ,  B01J37/08

CPC classification number: C01G1/12 ,  B01J6/00

Abstract: 본 발명은 원자층 증착법을 이용하여 기판 상에 금속 산화물(MO
x )을 증착하는 단계 및 증착된 상기 금속 산화물을 황화시켜 금속 황화물(MS
y )을 합성하는 단계를 포함하는 금속 황화물 합성 방법에 관한 것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种金属硫化物合成方法，其包括通过使用原子层沉积法在基底上沉积金属氧化物（MO_x）和通过使沉积的金属氧化物硫化来合成金属硫化物（MS_y）的步骤。 本发明的目的是提供合成可以通过使用原子层沉积法控制厚度的金属硫化物的方法。

公开(公告)号：KR101704723B1

公开(公告)日：2017-02-09

申请号：KR1020150048290

申请日：2015-04-06

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김형준 ,  최태진 ,  송정규

IPC: H01L21/314 ,  H01L21/02

CPC classification number: C23C16/02 ,  C23C16/26 ,  C23C16/45525

Abstract: 본발명은탄소박막소자및 이의제조방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른탄소박막소자제조방법은기판상에기능기를형성하는단계및 원자층증착법에의해상기기능기가형성된기판상에탄소박막을증착하는단계를포함할수 있다.

Abstract translation: 公开了一种碳薄膜器件及其制造方法。 该方法包括在基板的表面上形成官能团并对基板进行官能化，并在形成有官能团的基板上通过ALD沉积碳薄膜。

公开(公告)号：KR101697438B1

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：KR1020150143656

申请日：2015-10-14

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김형준 ,  송정규 ,  박주상

IPC: C23C28/04 ,  C23C28/00 ,  C23C16/455 ,  C23C16/40 ,  C23C8/06 ,  C23C8/08 ,  H01L21/24

Abstract: 금속황화물합금및 금속황화물합금제조방법이개시된다. 개시된금속황화물합금은다수의레이어가적층된구조를가지며, 각레이어는제1 금속및 제2 금속을포함하는금속황화물합금이고, 상기각 레이어의제1 금속및 제2 금속의성분비는서로상이하다. 개시된금속황화물합금은광대역에대한광 흡수특성을가지는장점이있다.