公开(公告)号：KR100586466B1

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：KR1020040033727

申请日：2004-05-13

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 홍상희 ,  남준석 ,  서준호 ,  주원태

IPC: H05H1/26

Abstract: 본 발명은 유도결합 플라즈마의 응용에 있어서, 모듈형 수랭식 주입기와 다단식 노즐 구조를 도입함으로써 가둠관 내부의 플라즈마 고온부와 노즐을 통과하는 플라즈마에 효율적인 반응물 주입이 가능하며, 일부 부품의 교체를 통해 공정에 최적화된 반응물 주입 방법과 열플라즈마의 제공이 가능한 고주파 유도결합 플라즈마 토치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020050108705A

公开(公告)日：2005-11-17

申请号：KR1020040033727

申请日：2004-05-13

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 홍상희 ,  남준석 ,  서준호 ,  주원태

IPC: H05H1/26

CPC classification number: H05H1/34 ,  B23K10/02 ,  H05H1/28 ,  H05H1/42

Abstract: 본 발명은 유도결합 플라즈마의 응용에 있어서, 모듈형 수랭식 주입기와 다단식 노즐 구조를 도입함으로써 가둠관 내부의 플라즈마 고온부와 노즐을 통과하는 플라즈마에 효율적인 반응물 주입이 가능하며, 일부 부품의 교체를 통해 공정에 최적화된 반응물 주입 방법과 열플라즈마의 제공이 가능한 고주파 유도결합 플라즈마 토치를 제공한다.