公开(公告)号：KR1020040097583A

公开(公告)日：2004-11-18

申请号：KR1020030029921

申请日：2003-05-12

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 홍상희 ,  서준호

IPC: H05H1/26

Abstract: PURPOSE: An inductively coupled plasma torch having a cylindrical induction coil structure as an integral structure of an induction coil part is provided to improve the performance by forming an induction coil part with the cylindrical induction coil structure and arranging the cylindrical induction coil structure to the coaxial direction between an external wall and a plasma confinement tube. CONSTITUTION: An inductively coupled plasma torch includes an external wall, a cylindrical induction coil structure, and a confinement tube. The cylindrical induction coil structure(8) includes an induction coil(15) and a power input part for supplying the power to the induction coil and is arranged to the coaxial direction of the external wall(7). The confinement tube(11) is arranged to the coaxial direction of the induction coil structure. The first flow path(23) is formed between the external wall and the cylindrical induction coil structure. The second flow path(24) is formed between the cylindrical induction coil structure and the confinement tube.

Abstract translation: 目的：提供一种具有作为感应线圈部分的整体结构的圆柱感应线圈结构的电感耦合等离子体焰炬，以通过形成具有圆柱形感应线圈结构的感应线圈部分并将圆柱形感应线圈结构布置到同轴 外壁和等离子体限制管之间的方向。 构成：电感耦合等离子体焰炬包括外壁，圆柱形感应线圈结构和限制管。 圆筒形感应线圈结构（8）包括感应线圈（15）和用于向感应线圈提供电力并且被设置成与外壁（7）的同轴方向的电力输入部分。 限制管（11）被布置成与感应线圈结构的同轴方向。 第一流路（23）形成在外壁和圆筒形感应线圈结构之间。 第二流路（24）形成在圆筒形感应线圈结构和限制管之间。

公开(公告)号：KR100631828B1

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：KR1020030029921

申请日：2003-05-12

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 홍상희 ,  서준호

IPC: H05H1/26

Abstract: 본 발명은 고주파 플라즈마 토치의 유도코일 부분을 원통형 유도코일 구조체로 만들어 토치 외벽과 플라즈마 가둠관 사이에 동축으로 배치함으로써, 외벽과 유도코일 구조체 사이, 유도코일 구조체와 가둠관 사이에 이중의 환형 유로(23,24)를 얻고, 고주파 입력단을 통해 유도코일 구조체와 토치 외벽을 일체화 시킴으로써 토치의 주요 구성품이 토치 외벽, 유도코일 구조체, 플라즈마 가둠관으로 분리되게 하여 필요에 따라 토치 각 구성품에 대한 최적 재료와 가공법을 선정, 사용함으로써 토치 성능 및 경제성을 향상시킨다.

公开(公告)号：KR100586466B1

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：KR1020040033727

申请日：2004-05-13

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 홍상희 ,  남준석 ,  서준호 ,  주원태

IPC: H05H1/26

Abstract: 본 발명은 유도결합 플라즈마의 응용에 있어서, 모듈형 수랭식 주입기와 다단식 노즐 구조를 도입함으로써 가둠관 내부의 플라즈마 고온부와 노즐을 통과하는 플라즈마에 효율적인 반응물 주입이 가능하며, 일부 부품의 교체를 통해 공정에 최적화된 반응물 주입 방법과 열플라즈마의 제공이 가능한 고주파 유도결합 플라즈마 토치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020050108705A

公开(公告)日：2005-11-17

申请号：KR1020040033727

申请日：2004-05-13

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 홍상희 ,  남준석 ,  서준호 ,  주원태

IPC: H05H1/26

CPC classification number: H05H1/34 ,  B23K10/02 ,  H05H1/28 ,  H05H1/42

Abstract: 본 발명은 유도결합 플라즈마의 응용에 있어서, 모듈형 수랭식 주입기와 다단식 노즐 구조를 도입함으로써 가둠관 내부의 플라즈마 고온부와 노즐을 통과하는 플라즈마에 효율적인 반응물 주입이 가능하며, 일부 부품의 교체를 통해 공정에 최적화된 반응물 주입 방법과 열플라즈마의 제공이 가능한 고주파 유도결합 플라즈마 토치를 제공한다.