公开(公告)号：KR100736923B1

公开(公告)日：2007-07-06

申请号：KR1020070032569

申请日：2007-04-02

Applicant: (주) 플라즈닉스 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 황용석 ,  백광현 ,  주원태 ,  최윤호

IPC: H01L21/60

Abstract: 본 발명은 폴리이미드 금속 적층체의 제조방법 및 장치, 이로 인해 제조되는 폴리이미드 금속 적층체에 관한 것이고, 보다 상세하게는 고밀도, 미세 패턴용의 기판 재료로 사용할 수 있는 폴리이미드 금속 적층체에 관한 것이다. 본 발명에 따른 폴리이미드의 표면 처리를 위한 대기압 플라즈마 발생 장치 및 처리 방법에 의하면 금속과 적층체 형성시 높고 균일한 박리 강도, 낮은 표면 조도에 의한 광투과성 및 에칭 신뢰성의 증대, 중간층 배제에 의한 에칭 공정 절감, 빠른 처리 속도에 의한 높은 생산성 및 저렴한 생산 비용 등의 장점을 갖게 된다.

公开(公告)号：KR100549503B1

公开(公告)日：2006-02-09

申请号：KR1020020072426

申请日：2002-11-20

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단 ,  주식회사 미래와도전 ,  (주) 플라즈닉스

Inventor： 황용석 ,  김용환 ,  최윤호 ,  김지헌 ,  백광현 ,  주원태

IPC: G21F9/30

Abstract: 본 발명은 대기압 플라즈마를 이용한 방사성 폐기물 표면 제염장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 방사성 폐기물의 표면 처리를 통하여 저 레벨의 폐기물 혹은 비 방사성 폐기물로 변환시켜서 방사성 폐기물의 발생량을 저감하고 제염 후의 폐기물의 재활용을 목적으로 금속 표면에 방사성 부식 생성물로 부착되어 있는 코발트 산화막을 대기압 플라즈마를 이용하여 제염하는 장치의 개발에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명에서는 대기압에서 플라즈마를 발생하는 플라즈마 발생장치, 플라즈마 처리후 플라즈마 라디칼과 표면간의 반응으로 생성된 2차 생성물을 외부와 격리하여 포집하는 포집부, 제거된 코발트 기화물을 수거하는 수거부, 제염대상 표면에 부착하는 표면 부착부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020040043956A

公开(公告)日：2004-05-27

申请号：KR1020020072426

申请日：2002-11-20

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단 ,  주식회사 미래와도전 ,  (주) 플라즈닉스

Inventor： 황용석 ,  김용환 ,  최윤호 ,  김지헌 ,  백광현 ,  주원태

IPC: G21F9/30

Abstract: PURPOSE: An apparatus for processing radioactive wastes using atmospheric plasma is provided to remove contaminants from the radioactive waste at atmospheric pressure without using an additional vacuum system. CONSTITUTION: An apparatus for processing radioactive wastes using atmospheric plasma includes a surface adhesion part, an atmospheric plasma generator, a secondary product collection unit, a secondary product absorption unit, and a fixing unit. The surface adhesion part(50) adheres the apparatus to a contaminated surface of a target. The atmospheric plasma generator(10) is used for generating the atmospheric glow plasma to the surface adhesion part. The secondary product collection unit(20) collects the secondary products, which are generated, from the chemical reaction between the plasma radical of the atmospheric plasma generator and the contaminated surface of the target. The secondary product absorption unit(30) absorbs the secondary products from the secondary product collection unit. The fixing unit(40) fixes the atmospheric plasma generator to the secondary product collection unit.

Abstract translation: 目的：提供使用大气等离子体处理放射性废物的装置，以在大气压力下除去放射性废物中的污染物，而不需要使用额外的真空系统。 构成：使用大气等离子体处理放射性废物的装置包括表面粘附部分，大气等离子体发生器，二次产品收集单元，二次产品吸收单元和定影单元。 表面粘合部分（50）将装置粘附到目标物的污染表面上。 大气等离子体发生器（10）用于向表面粘附部分产生大气辉光等离子体。 二次产品收集单元（20）从大气等离子体发生器的等离子体基团与目标物的污染表面之间的化学反应中收集产生的二次产物。 第二产品吸收单元（30）从次级产品收集单元吸收二次产品。 固定单元（40）将大气等离子体发生器固定到二次产品收集单元。

公开(公告)号：KR1020030077369A

公开(公告)日：2003-10-01

申请号：KR1020020016465

申请日：2002-03-26

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 홍상희 ,  주원태 ,  김동욱

IPC: B23K10/00

Abstract: PURPOSE: A magnetic type plasma torch is provided to enhance reliability of a plasma process and to improve uniformity of articles by generating stable plasma jet. CONSTITUTION: A plasma torch includes an anode body, a conical-stick type cathode(10), a supporter(1) for supporting the conical-stick type cathode(10), an anode nozzle(20) positioned at the front of the conical-stick type cathode(10), a gas injection ring(3) for injecting plasma gas, and a cooling water passage for cooling the conical-stick type cathode(10) and the anode nozzle(20). A permanent magnet(8) is provided at an outer peripheral portion of the conical-stick type cathode(10). A gas compression ring(30) is provided to guide gas into an inlet of the anode nozzle(20). An inner portion of the compression ring(30) is tapered.

Abstract translation: 目的：提供磁性等离子体焰炬，以提高等离子体工艺的可靠性，并通过产生稳定的等离子体射流来改善制品的均匀性。 构造：等离子体焰炬包括阳极体，锥形棒状阴极（10），用于支撑锥形棒状阴极（10）的支撑件（1），位于锥形前端的阳极喷嘴（20） （10），用于注入等离子体气体的气体注入环（3）和用于冷却锥形棒状阴极（10）和阳极喷嘴（20）的冷却水通道。 永磁体（8）设置在锥形棒型阴极（10）的外周部。 提供气体压缩环（30）以将气体引导到阳极喷嘴（20）的入口中。 压缩环（30）的内​​部是锥形的。

公开(公告)号：KR1020070064460A

公开(公告)日：2007-06-21

申请号：KR1020050124930

申请日：2005-12-17

Applicant: (주) 플라즈닉스 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 황용석 ,  백광현 ,  주원태 ,  최윤호

IPC: H01L21/60

Abstract: A method for fabricating polyimide metal laminates and the polyimide metal laminate manufactured by the same are provided to achieve a uniform peeling strength of the metal laminate in a width direction which is formed by using atmosphere plasma. Polyimide is processed by using atmosphere plasma(313) comprising resonance-excited atom or molecular, or metastable atom or molecular. Metal is deposited on the polyimide. To generate the atmosphere plasma comprising resonance-excited atom or molecular, or metastable atom or molecular, at least one of nitrogen, helium and argon is used as a plasma generating gas. Energy of the resonance-excited atom or molecular, or the metastable atom or molecular is over 2eV.

Abstract translation: 提供了一种用于制造聚酰亚胺金属层压体的方法和由其制造的聚酰亚胺金属层压板，以通过使用气氛等离子体形成的宽度方向上的金属层压板的均匀剥离强度。 聚酰亚胺通过使用包含共振激发原子或分子或亚稳原子或分子的气氛等离子体（313）进行处理。 金属沉积在聚酰亚胺上。 为了产生包含共振激发原子或分子或亚稳原子或分子的气氛等离子体，使用氮，氦和氩中的至少一种作为等离子体产生气体。 共振激发原子或分子的能量，或亚稳原子或分子的能量超过2eV。

公开(公告)号：KR1020070039824A

公开(公告)日：2007-04-13

申请号：KR1020050095130

申请日：2005-10-10

Applicant: (주) 플라즈닉스 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 백광현 ,  주원태 ,  최윤호 ,  황용석

IPC: H05H1/34 ,  H05H1/30

CPC classification number: H01J37/32009 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/3255 ,  H05H1/46

Abstract: 본 발명은 물질의 표면 처리를 위한 대기압 플라즈마 발생 장치와 이를 이용한 표면 처리 방법에 관한 것으로서 높은 처리 효과와 다양한 피처리물 형상 및 재질에 대한 적용 가능성을 높임과 동시에 경제적인 장치 구현 및 운전이 가능하도록 하여 보다 넓은 영역에의 적용이 가능하도록 한 것이다.
본 발명에서는 공기, 질소, 산소 등 저렴한 기체를 플라즈마 발생 장치의 기체 주입구를 통해 플라즈마 발생 영역으로 고속 주입한 다음 핀 혹은 원통 형태의 파워 전극과 원통형의 접지 전극 사이에 전압을 인가하여 플라즈마를 발생시키고 발생된 플라즈마를 플라즈마 이송 통로 및 분사 노즐을 통하여 플라즈마 발생 장치 외부로 분사하고 분사된 플라즈마를 통해 금속 혹은 비금속 피처리물의 표면을 처리하여 표면 특성을 개선한다.

公开(公告)号：KR100817038B1

公开(公告)日：2008-04-07

申请号：KR1020050095130

申请日：2005-10-10

Applicant: (주) 플라즈닉스 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 백광현 ,  주원태 ,  최윤호 ,  황용석

IPC: H05H1/34 ,  H05H1/30

Abstract: 본 발명은 물질의 표면 처리를 위한 대기압 플라즈마 발생 장치와 이를 이용한 표면 처리 방법에 관한 것으로서 높은 처리 효과와 다양한 피처리물 형상 및 재질에 대한 적용 가능성을 높임과 동시에 경제적인 장치 구현 및 운전이 가능하도록 하여 보다 넓은 영역에의 적용이 가능하도록 한 것이다.
본 발명에서는 공기, 질소, 산소 등 저렴한 기체를 플라즈마 발생 장치의 기체 주입구를 통해 플라즈마 발생 영역으로 고속 주입한 다음 핀 혹은 원통 형태의 파워 전극과 원통형의 접지 전극 사이에 전압을 인가하여 플라즈마를 발생시키고 발생된 플라즈마를 플라즈마 이송 통로 및 분사 노즐을 통하여 플라즈마 발생 장치 외부로 분사하고 분사된 플라즈마를 통해 금속 혹은 비금속 피처리물의 표면을 처리하여 표면 특성을 개선한다.

公开(公告)号：KR100486939B1

公开(公告)日：2005-05-03

申请号：KR1020020016465

申请日：2002-03-26

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 홍상희 ,  주원태 ,  김동욱

IPC: B23K10/00

Abstract: 본 발명은 플라즈마 용사, 신소재 합성, 화학증착 등의 소재공정용으로 광범위하게 사용되는 열플라즈마를 발생시키기 위한 비이송식 플라즈마 토치에 관한 것으로, 토치 구성의 핵심인 음극, 양극노즐, 기체주입링, 냉각수 공급 라인의 설계 개선과 자기장의 이용을 통한 전극 및 토치 수명의 연장, 토치 열효율 개선으로 응용 공정의 다양화와 안정된 열플라즈마 유체를 발생시킬 수 있는 계단형 노즐을 채택한 자장 인가형 플라즈마 토치에 관한 것이다. 전극으로는 이트륨 텅스텐(YW)을 사용한 원뿔형태의 막대 음극(10)과 무산소동(OFHC)을 사용한 계단형 노즐모양의 양극(20)을 기본적인 형태로 하였다. 계단형 구조의 노즐은 아크 요동 주파수를 높이면서 요동 폭을 감소시켜 안정된 열플라즈마 제트를 발생시키며, 노즐 둘레에 영구자석을 설치하여 자기장을 인가함으로써 발생되는 로렌쯔 힘으로 아크점(25)을 회전시켜 전극의 침식을 줄이는 한편 아크기둥(26)의 연장에 의한 방전전압의 상승효과를 얻어 동일한 전력에서 아크전류를 낮춤으로써 전극 침식 감소에 따른 노즐의 수명 연장을 기하였다. 이때, 아크기둥(26)과 아크점(25)의 전체 영역에서 균일한 자기장을 갖도록 하기 위하여 노즐 전체를 감싸도록 영구자석(8)을 배치하였으며 동시에 냉각수 유로 확보와 원활한 흐름을 위하여 냉각수분할편1(5), 냉각수분할편2(50), 냉각수분할편3(51)을 따로이 설치하여 냉각수 유로를 개선함으로써 전극과 토치 몸체의 손상을 최소화하였다. 기체압축링(30)을 도입하여 기체주입링(3)을 통하여 주입된 기체의 와류성분의 감소를 최소화함으로써 아크점(25)의 회전을 증진시켜 전극 침식을 막고 고출력 운전 시 많은 기체유량 주입이 원활히 이루어지도록 하였다. 이와 같이 전극 수명 연장, 열효율 개선, 안정 열플라즈마 발생의 효과를 증진시키도록 고안된 본 발명의 플라즈마 토치는 다양한 산업분야에서 고품질 고부가가치의 소재 공정용으로 사용될 수 있다.

公开(公告)号：KR100752780B1

公开(公告)日：2007-08-29

申请号：KR1020050124930

申请日：2005-12-17

Applicant: (주) 플라즈닉스 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 황용석 ,  백광현 ,  주원태 ,  최윤호

IPC: H01L21/60

Abstract: 본 발명은 폴리이미드 금속 적층체의 제조방법 및 장치, 이로 인해 제조되는 폴리이미드 금속 적층체에 관한 것이고, 보다 상세하게는 고밀도, 미세 패턴용의 기판 재료로 사용할 수 있는 폴리이미드 금속 적층체에 관한 것이다. 본 발명에 따른 폴리이미드의 표면 처리를 위한 대기압 플라즈마 발생 장치 및 처리 방법에 의하면 금속과 적층체 형성시 높고 균일한 박리 강도, 낮은 표면 조도에 의한 광투과성 및 에칭 신뢰성의 증대, 중간층 배제에 의한 에칭 공정 절감, 빠른 처리 속도에 의한 높은 생산성 및 저렴한 생산 비용 등의 장점을 갖게 된다.

公开(公告)号：KR1020070064561A

公开(公告)日：2007-06-21

申请号：KR1020070032569

申请日：2007-04-02

Applicant: (주) 플라즈닉스 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 황용석 ,  백광현 ,  주원태 ,  최윤호

IPC: H01L21/60

CPC classification number: H01L21/67017 ,  H01L23/492 ,  H01L23/4985

Abstract: A method and an apparatus for fabricating polyimide metal laminates and the polyimide metal laminate manufactured by the same are provided to increase uniform peeling strength and light transmittance of the metal laminate which is formed by using atmosphere plasma. A power source(28) generates atmosphere plasma, and a power electrode(12) is applied with a voltage generated by the power source. A ground electrode(18) is connected to a ground of the power source, in which plasma(313) is generated between the power electrode and the ground electrode. An electrode support(20) has two parallel plates, in which the power electrode is attached to one plate, and the ground electrode is attached to the other plate. A dielectric(312) is provided at one side of the power electrode and the ground electrode to prevent concentration of charge. A gas injecting part(16) injects a plasma generating gas(25) between the power electrode and the ground electrode.

Abstract translation: 提供了一种用于制造聚酰亚胺金属层压体的方法和装置以及由其制造的聚酰亚胺金属层压体，以增加通过使用气氛等离子体形成的金属层压体的均匀的剥离强度和透光率。 电源（28）产生大气等离子体，并且向电源电极（12）施加由电源产生的电压。 接地电极（18）连接到电源的接地，其中在电源电极和接地电极之间产生等离子体（313）。 电极支撑件（20）具有两个平行板，其中功率电极附接到一个板，并且接地电极附接到另一个板。 电源（312）设置在功率电极和接地电极的一侧，以防止电荷集中。 气体注入部（16）在电力电极和接地电极之间注入等离子体产生气体（25）。