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公开(公告)号：KR100333496B1
公开(公告)日：2002-04-25
申请号：KR1019990042479
申请日：1999-10-02
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor： 나종갑
IPC: G11B5/66
Abstract: 본발명은고보자력자성박막의후열처리온도를낮추고후열처리시간을단축시키기위하여, 상압하의산소분율이 1 - 100% 인산소 + 알곤분위기로에서자성박막의비규칙/규칙상변이온도이상의온도로자성박막을후열처리하는 FePt 또는 CoPt 자성박막의후열처리방법과, 1 X 10torr 이하의진공도하의산소분율이 50% - 10%인산화분위기에서자성박막의비규칙/규칙상변이온도이상의온도로자성박막을후열처리하는 FePt 또는 CoPt 자성박막의후열처리방법을제공한다.
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公开(公告)号：KR100275794B1
公开(公告)日：2000-12-15
申请号：KR1019980039090
申请日：1998-09-21
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor： 나종갑
IPC: C03C4/00
Abstract: 본 발명은 종래의 알루미늄 인산계 유리에 비해 가시광선 영역의 입사광선에 대해서는 투광성은 향상시키고, 적외선 영역의 입사광선에 대해서는 흡수율을 향상시키기 위하여, 60% 이상의 알루미늄 인산과, 1 - 5%의 산화제1철과, 통상의 알루미늄 인산계 유리에 사용되는 화합물 조성으로 구성되는 나머지로 이루어지는 알루미늄 인산계 유리에 있어서, 2 - 5%의 산화 안티몬, 아비산 또는 이들의 혼합물을 추가적으로 포함하는 알루미늄 인산계 투명 열차단 유리를 제공한다.
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公开(公告)号：KR100237316B1
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019960032163
申请日：1996-08-01
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor： 나종갑
IPC: H01L29/00
CPC classification number: C22C32/0026 , C23C14/3414 , H01F10/205 , H01F41/183
Abstract: 본 발명은 전기적으로 도체이어서 사용전원으로 교류 또는 직류를 사용할 수 있으며 열전도도가 높아서 입력전력을 높일 수 있어서 그 피착속도를 향상시킬 수 있는 스파터링 타겟과 상기 스파터링 타겟을 제조하는 방법을 제공하기 위해 바륨산화물 분말, 스트론튬산화물 분말 및 납산화물 분말로 구성되는 군으로부터 선택되는 하나 이상의 제1산화물과 철분말을 철분말 대 하나 이상의 총 산화물의 비가 원자비로 11 : 1에서 13 : 1이 되도록 혼합해서 만들어지는 자성박막 형성을 위한 스파터링 타겟과 상기 혼합물에 부가하여 티타늄산화물 분말, 코발트산화물 분말, 실리콘 산화물 분말 및 망간산화물 분말로 구성되는 군으로부터 선택되는 하나 이상의 제2산화물을 제1산화물의 첨가량 이하가 되도록 포함하는 자성박막 형성을 위한 스파터링 타겟을 제공하고, 또한 상기 혼합체를 0.3톤/㎠ 이상의 압력에서 냉간 정수압 가압 성형하는 단계, 상기 성형체를 진공 또는 비산화성 분위기 예를 들어 수소 분위기 또는 아르곤 분위기에서 소결하는 단계를 포함하는 자성박막 형성을 위한 스파터링 타겟의 제조방법과 상기 혼합체를 0.3톤/㎠ 이상의 압력에서 냉간 정수압 가압 성형하는 단계, 상기 성형체를 0.2톤/㎠ 이상의 압력에서 열간 정수압 가압하는 단계를 포함하는 자성박막 형성을 위한 스파터링 타겟의 제조방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR100215544B1
公开(公告)日：1999-08-16
申请号：KR1019970017660
申请日：1997-05-08
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor： 나종갑
IPC: C23C16/12
Abstract: 본발명은 플라스틱 필름의 표면에 알루미늄박막을 증착하기 전 또는 증착한 후에, 알루미늄/구리 합금박막을 증착하는 것으로 이루어지는 알루미늄증착플라스틱 필름의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 알루미늄증착 플라스틱 필름은 자기회복 특성이 우수하면서 장기간 사용하여도 캐패시턴스가 일정하게 유지되는 MF 콘덴서를 제조할 수 있으며, 또한 식품 저장용 용기를 제조하는데 이용될 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019980013611A
公开(公告)日：1998-05-15
申请号：KR1019960032163
申请日：1996-08-01
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor： 나종갑
IPC: H01L29/00
Abstract: 본 발명은 전기적으로 도체이어서 사용전원으로 교류 또는 직류를 사용할 수 있으며 열전도도가 높아서 입력전력을 높일 수 있어서 그 피착속도를 향상시킬 수 있는 스파터링 타겟과 상기 스파터링 타겟을 제조하는 방법을 제공하기 위해 바륨산화물 분말, 스트론튬산화물 분말 및 납산화물 분말로 구성되는 군으로부터 선택되는 하나 이상의 제 1 산화물과 철분말을 철분말 대 하나 이상의 총 산화물의 비가 원자바로 11:1 에서 13:1 이 되도록 혼합해서 만들어지는 자성박막 형성을 위한 스파터링 타겟과 상기 혼합물에 부가하여 티타늄산화물 분말, 코발트산화물분말, 실리콘 산화물 분말 및 망간산화물 분말로 구성되는 군으로부터 선택되는 하나 이상의 제 2 산화물을 제 1 산화물의 첨가량 이하가 되도록 포함하는 자성박막 형성을 위한 스파터링 타겟 을 제공하고, 또한 상기 혼합체를 O.3톤/cm
2 이상의 압력에서 냉간 정수압 가압 성형하는 단계, 상기 성형체를 진공 또는 비산화성 분위기 예를 들어 수소 분위기 또는 아르곤 분위기에서 소결하는 단계를 포함하는 자성박막 형성을 위한 스파터링 타겟의 제조방법과 상기 혼합체를 O.3톤/cm
2 이상의 압력에서 냉간 정수압 가압 성형하는 단계, 상기 성형체를 O.2톤/cm
2 이상의 압력에서 열간 정수압 가압하는 단계를 포함하는 자성박막 형성을 위한 스파터링 타겟의 제조방법을 제공한다.-
公开(公告)号：KR1019970002917A
公开(公告)日：1997-01-28
申请号：KR1019950016881
申请日：1995-06-22
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor： 나종갑
IPC: G11B5/84
Abstract: 본 발명은 코발트 페라이트 자성 박막 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래의 산화물계 자성박막이 갖고 있는 우수한 내식성 및 내마모성과 제조비용의 저렴함을 살리면서도 아울러 자기적 특성, 특히 포화자화값을 획기적으로 향상시키도록 한 것이다.
이에 조성식 Co
x Fe
y O
z , 이때, X, Y, Z는 원자비로 0.5〈X〈2.9, 0.1〈Y〈2.5, 1〈Z,4, X+Y=3인 것을 특징으로 하는 코발트 페라이트 자성 박막과, 금속계 타겟트를 사용하여 스파터 가스중 산소분율이 0.5∼20％이고, 기판온도가 100∼500℃인 스파터링 조건에서 피착시켜 코발트 및 철산화물과 코발트 및 철 금속을 박막형태로 형성하는 것임을 특징으로 하는 코발트 페라이트 자성 박막의 제조방법이 제공된다. -
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