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公开(公告)号:KR1020010111908A
公开(公告)日:2001-12-20
申请号:KR1020000032685
申请日:2000-06-14
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 나종갑
IPC: C23C14/34
CPC classification number: H01J37/3491 , H01J37/3423
Abstract: 본 발명은 스퍼터링 타겟의 제조방법에 관한 것으로서, 소모된 스퍼터링 타겟을 타겟 고정부로부터 분리하는 단계와; 타겟에서 심하게 소모된 부위 근방을 타겟으로부터 절단 분리하는 단계와; 타겟과 동일한 재질로 되어 있으며 상기 분리된 부분의 형상에 맞도록 형성된 조립부재를 끼워 조립하는 단계와; 조립된 타겟을 타겟 고정부에 부착하는 단계를 포함하여 구성되는 스퍼터링 타겟의 제조방법을 제공하여, 아이티오 타겟과 같은 화합물형 타겟 내지 산화물 타겟에 적용하여 불균일하게 마모된 타겟을 저비용으로 재생하여 다시 사용할 수 있도록 함으로써 타겟의 낭비를 방지할 수 있도록 한 것이다.
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公开(公告)号:KR1020000020477A
公开(公告)日:2000-04-15
申请号:KR1019980039090
申请日:1998-09-21
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 나종갑
IPC: C03C4/00
CPC classification number: C03C4/082 , C03C3/125 , C03C3/14 , Y10S501/904
Abstract: PURPOSE: A transparent heat absorption glass is provided which enhance the transmissivity of visible light and the absorptivity of infrared light compared with the existing aluminum phosphate based glass. CONSTITUTION: The composition of transparent heat absorption glass comprises more than 60% of aluminum phosphate, 1-5% of FeO, and the rest which consists of the composition of general aluminum phosphate based glass. 0.2-5% of antimony oxide, arsenous acid, or the mixture of these compounds is additionally included. Zinc oxide, boron oxide, sodium oxide, silicon oxide, and so forth can be used as the composition of general aluminum phosphate based glass.
Abstract translation: 目的:提供一种透明吸热玻璃,与现有的磷酸铝基玻璃相比,可提高可见光的透射率和红外光的吸收率。 构成:透明吸热玻璃的组成包括超过60%的磷酸铝,1-5%的FeO,其余由普通磷酸铝基玻璃组成。 另外包括氧化锑,亚砷酸或这些化合物的混合物的0.2-5%。 氧化锌,氧化硼,氧化钠,氧化硅等可以用作一般的磷酸铝基玻璃的组成。
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公开(公告)号:KR1019970022299A
公开(公告)日:1997-05-28
申请号:KR1019950036759
申请日:1995-10-24
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 나종갑
IPC: G01N23/20
Abstract: 본 발명은 금속박막의 내식특성 측정방법에 관한 것으로, 종래에는 금속박막의 내식특성 측정시 측정시간이 많이 소요되는 문제가 있었다.
본 발명은 측정대상 금속박막의 우선배향된 방향의 X선 피크의 반가폭을 측정하여 금속박막의 내식특성을 경험적으로 예측할 수 있도록 함으로써 측정방법이 간단하고, 측정이 신속하게 이루어지도록 한 것이다.
이러한 본 발명의 이론적 배경은 진공증착법, 스마터링법, 화학기상 성장법 등으로 성막된 금속박막이 금속조직학적으로 특정방향으로 우선배향된 미세조직을 갖게 되고, 이는 박막의 표면에너지를 낮추려는 경향에 기인한 것으로, 통상의 금속박막에서 용이하게 관찰되며, 한편으로 금속박막의 부식은 임계면에서부터 시작되는데 이는 임계면이 다른 결정방향을 갖는 단결정의 계면으로 간주할 수 있어 이에 따라 입계면의 자유에너지가 높아지므로 임계먼의 자유에너지가 이웃한 결정의 결정방향의 차가 클수록 커지기 때문에 금속박막 임계면의 결정방향 차를 X절 회절법으로 측정한다면 금속박막의 내식특성을 예측할 수 있다는 것에 근거한 것이다.-
公开(公告)号:KR1019950002057A
公开(公告)日:1995-01-04
申请号:KR1019930010000
申请日:1993-06-03
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L29/78
Abstract: 본 발명은 산화물츨/은층/산화물층 형의 샌드위치 구조를 갖는 투명열전연 다층박막에 관한 것이다.
본 발명의 투명열절연 다층박막은 플라스틱 재질의 필름이나 유리기판 등의 표면에 스퍼터링 방법을 이용하여 산화물층으로서 산화티타늄박막을 200Å의 두께로 형성시킨 다음 그 위에 은층의 안정화를 위한 중간층으로 크롬박막, 게르마늄박막, 실리콘박막 등을 5~50Å의 두께로 형성시키고, 그 위에 다시 은막을 150Å의 두께로 형성시킨 후 다시 산화티타늄박막을 200Å의 두께로 형성시키는 제조공정을 통해 얻어진다.
본 발명은 제조공정이 비교적 간편하고, 본 발명의 방법에 의해 제조된 투명열절연 다층박막은 우수한 내시효특성을 나타낸다.-
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公开(公告)号:KR100333502B1
公开(公告)日:2002-04-25
申请号:KR1020000032685
申请日:2000-06-14
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 나종갑
IPC: C23C14/34
Abstract: 본 발명은 스퍼터링 타겟의 제조방법에 관한 것으로서, 소모된 스퍼터링 타겟을 타겟 고정부로부터 분리하는 단계와; 타겟에서 심하게 소모된 부위 근방을 타겟으로부터 절단 분리하는 단계와; 타겟과 동일한 재질로 되어 있으며 상기 분리된 부분의 형상에 맞도록 형성된 조립부재를 끼워 조립하는 단계와; 조립된 타겟을 타겟 고정부에 부착하는 단계를 포함하여 구성되는 스퍼터링 타겟의 제조방법을 제공하여, 아이티오 타겟과 같은 화합물형 타겟 내지 산화물 타겟에 적용하여 불균일하게 마모된 타겟을 저비용으로 재생하여 다시 사용할 수 있도록 함으로써 타겟의 낭비를 방지할 수 있도록 한 것이다.
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公开(公告)号:KR1020010035758A
公开(公告)日:2001-05-07
申请号:KR1019990042479
申请日:1999-10-02
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 나종갑
IPC: G11B5/66
Abstract: PURPOSE: A method for heat-treating a high coercive force magnetic thin-film is provided to reduce a temperature and a time for post-heat treatment. CONSTITUTION: A magnetic thin film is post-heat treated at a temperature over a non-ordered/ordered deformation temperature in an oxide plus argon atmospheric furnace having an oxygen rate 1-100% at atmospheric pressure. As oxygen is added into the heat treatment atmospheric furnace when conducting the post-heat treatment for deformation into an ordered organization of an FePt or a CoPt magnetic thin film, a speed of deformation becomes faster. This phenomenon allows the oxygen included in the atmospheric furnace to be spread to a surface or a boundary surface of the magnetic thin film and an oxide is precipitated at the surface or the boundary surface portions. The oxide acts as a core for causing the ordered/non-ordered deformation of the magnetic thin film, promotes a generation of ordered shape and reduces the time for heat treatment. Besides, when the oxygen is added to the heat treatment atmospheric furnace when post-heat treating the FePt or CoPt magnetic thin film, the temperature for deformation is decreased. In case of the FePt magnetic thin film, the deformation is created at a post-heat treatment temperature of 300 degrees. However, if the oxygen is not added, the deformation does not generated. This phenomenon is caused by the aforementioned oxide precipitation.
Abstract translation: 目的:提供一种用于热处理高矫顽磁力薄膜的方法,以降低后热处理的温度和时间。 构成:磁性薄膜在大气压下在氧化物加氩气气氛炉中的氧气比率为1-100%的温度下超过无序/有序变形温度进行后热处理。 当在热处理大气炉中进行热处理以将其变形成FePt或CoPt磁性薄膜的有序组织时,变形速度变快。 这种现象允许包含在大气炉中的氧被扩散到磁性薄膜的表面或边界表面,并且氧化物在表面或边界表面部分析出。 氧化物用作引起磁性薄膜的有序/无序变形的核心,促进有序形状的产生并减少热处理的时间。 此外,当对FePt或CoPt磁性薄膜进行后热处理时,当将氧气加入到热处理大气炉中时,变形温度降低。 在FePt磁性薄膜的情况下,在300度的后热处理温度下产生变形。 但是,如果不添加氧,则不会产生变形。 这种现象是由上述氧化物析出引起的。
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公开(公告)号:KR1020000060302A
公开(公告)日:2000-10-16
申请号:KR1019990008488
申请日:1999-03-13
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 나종갑
IPC: H01G4/02
Abstract: PURPOSE: An aluminum deposited plastic film for condenser and method thereof is provided to prevent capacitance from reducing as time of use goes by, and to reduce the unit cost of production. CONSTITUTION: An aluminum deposited plastic film for condenser and method thereof includes a plastic film, an aluminum oxide film on the plastic film and an aluminum film on the aluminum oxide film. The aluminum oxide film has a 50 ¯ 150 Angstrom thick, and a transition layer which is composed of mixing aluminum oxide and aluminum. And the transition layer is contact with the aluminum film. The thickness of the aluminum oxide film and the aluminum in all is 300 ¯ 1000 Angstrom. The plastic film is a polyethylene terephthalate, a polypropylene, or polycarbonate. The aluminum oxide film is deposited purely on the film in an early stage, and gradually the mixing aluminum oxide and aluminum film is formed reducing the rate of oxidation.
Abstract translation: 目的:提供一种用于冷凝器的铝沉积塑料膜及其方法,以防止电容随着使用时间的流逝而减少,并降低单位生产成本。 构成:用于冷凝器的铝沉积塑料膜及其方法包括塑料膜,塑料膜上的氧化铝膜和氧化铝膜上的铝膜。 氧化铝膜的厚度为50〜150埃,由氧化铝与铝混合而成的过渡层。 并且过渡层与铝膜接触。 氧化铝膜和铝的厚度总计为300〜1000埃。 塑料膜是聚对苯二甲酸乙二醇酯,聚丙烯或聚碳酸酯。 氧化铝膜早期纯化在膜上,逐渐形成氧化铝和铝膜的混合,从而降低了氧化速率。
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公开(公告)号:KR1019980082637A
公开(公告)日:1998-12-05
申请号:KR1019970017660
申请日:1997-05-08
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 나종갑
IPC: C23C16/12
Abstract: 본 발명은 플라스틱 필름의 표면에 알루미늄 박막을 증착하기 전 또는 증착한 후에, 알루미늄/구리 합금박막을 증착하는 것으로 이루어지는 알루미늄증착 플라스틱 필름의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 알루미늄증착 플라스틱 필름은 자기회복 특성이 우수하면서 장기간 사용하여도 캐패시턴스가 일정하게 유지되는 MF 콘덴서를 제조할 수 있으며, 또한 식품 저장용 용기를 제조하는데 이용될 수 있다.
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公开(公告)号:KR1019940008066B1
公开(公告)日:1994-09-01
申请号:KR1019920016960
申请日:1992-09-17
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C21D8/12
Abstract: The silicon steel ingot consisting of (in wt.%) 2-4 % Si, 0.02-0.08 % C, 0.02-0.04 % Sol. Al, 0.02-0.03 % S, 0.06-0.09 % Mn, 0.006-0.008% N and balance Fe, is hot-rolled, annealed, cleaned, cold-rolled, decarbonizing-annealed, high-temp. annealed and covered with insulating coating agent and baking in turn. The high temp. annealing is carried out to use anneal separating agent composed of MgO + 5 wt.% TiO + 5.0-20.2 wt.% B2O3, and laser beam is irradiated on annealed sheet at spacings of 1-10 mm. The steel sheet has low iron loss.
Abstract translation: 硅钢锭由(重量%)2-4%Si,0.02-0.08%C,0.02-0.04%Sol组成。 Al,0.02-0.03%S,0.06-0.09%Mn,0.006-0.008%N和余量Fe,进行热轧,退火,清洗,冷轧,脱碳退火,高温。 退火并用绝缘涂层剂覆盖并依次烘烤。 高温 进行退火,使用由MgO + 5重量%TiO + 5.0〜20.2重量%B 2 O 3组成的退火分离剂,激光束以1-10mm的间隔照射在退火板上。 钢板铁损较低。
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