公开(公告)号：KR100110956B1

公开(公告)日：1997-01-17

申请号：KR1019930010000

申请日：1993-06-03

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이택동 ,  나종갑 ,  황기현

IPC: H01L29/78

公开(公告)号：KR1019950002057A

公开(公告)日：1995-01-04

申请号：KR1019930010000

申请日：1993-06-03

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이택동 ,  나종갑 ,  황기현

IPC: H01L29/78

Abstract: 본 발명은 산화물츨/은층/산화물층 형의 샌드위치 구조를 갖는 투명열전연 다층박막에 관한 것이다.
본 발명의 투명열절연 다층박막은 플라스틱 재질의 필름이나 유리기판 등의 표면에 스퍼터링 방법을 이용하여 산화물층으로서 산화티타늄박막을 200Å의 두께로 형성시킨 다음 그 위에 은층의 안정화를 위한 중간층으로 크롬박막, 게르마늄박막, 실리콘박막 등을 5~50Å의 두께로 형성시키고, 그 위에 다시 은막을 150Å의 두께로 형성시킨 후 다시 산화티타늄박막을 200Å의 두께로 형성시키는 제조공정을 통해 얻어진다.
본 발명은 제조공정이 비교적 간편하고, 본 발명의 방법에 의해 제조된 투명열절연 다층박막은 우수한 내시효특성을 나타낸다.

公开(公告)号：KR1019960012582B1

公开(公告)日：1996-09-23

申请号：KR1019930010000

申请日：1993-06-03

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이택동 ,  나종갑 ,  황기현

IPC: H01L29/78

Abstract: forming a central layer in a thickness 5-50=G10-10m in order to protect a silver layer on one side or both sides of oxide layer in the silver layer and two oxide layers; having a single component alloy layer which consists of chrome film, germanium film, silicon film, vanadium film, titanium film, and zirconium film. The method includes the step of forming an triple layers of the oxide layer/silver layer/oxide layer which is a central layer in a thickness 5-50=G10-10m.

Abstract translation: 形成厚度为5-50 = G10-10m的中心层，以便保护银层和两个氧化物层中的氧化物层的一侧或两侧的银层; 具有由铬膜，锗膜，硅膜，钒膜，钛膜和锆膜构成的单组分合金层。 该方法包括形成厚度为5-50 = G10-10m的中心层的氧化物层/银/氧化物层的三层的步骤。