公开(公告)号：KR1020130039903A

公开(公告)日：2013-04-23

申请号：KR1020110104561

申请日：2011-10-13

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이호동 ,  박민철 ,  전영민 ,  최영선 ,  조성진 ,  조정근 ,  김기혁 ,  한현나 ,  김용태

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L22/12 ,  G03F7/70608 ,  G03F7/70616 ,  H01L21/0274 ,  H01L22/30

Abstract: PURPOSE: A 3-dimensional image acquisition system for mask pattern inspection and a method thereof are provided to effectively detect micro defects generated in a 3D mask pattern due to an extreme ultraviolet light source. CONSTITUTION: A first and a second optical source part(100a,100b) radiate first and second extreme ultraviolet. A first and a second concave mirror(200a,200b) condense the extreme ultraviolet radiated from the first and the second optical source part. A first and a second back mirror(300a,300b) reflect the condensed extreme ultraviolet to a measurement target mask. A first and a second CCD camera(600a,600b) records the diffraction beam information of the measurement target mask(10). The measurement target mask is mounted on a stage(400). A transfer unit(500) moves the stage in the X-axis and the Y-axis direction. [Reference numerals] (700) Control device;

Abstract translation: 目的：提供一种用于掩模图案检查的三维图像采集系统及其方法，以有效地检测由于极紫外光源而导致的3D掩模图案中产生的微缺陷。 构成：第一和第二光源部分（100a，100b）辐射第一和第二极紫外线。 第一和第二凹面镜（200a，200b）冷凝从第一和第二光学源部分辐射的极紫外线。 第一和第二后视镜（300a，300b）将浓缩的极紫外光反射到测量目标掩模。 第一和第二CCD照相机（600a，600b）记录测量目标掩模（10）的衍射光束信息。 测量目标掩模安装在平台（400）上。 传送单元（500）在X轴和Y轴方向上移动台。 （附图标记）（700）控制装置;

公开(公告)号：KR101239316B1

公开(公告)日：2013-03-05

申请号：KR1020110105968

申请日：2011-10-17

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이호동 ,  박민철 ,  최영선 ,  조정근 ,  조성진 ,  김기혁 ,  한현나

IPC: H04N13/04 ,  G02B27/22

CPC classification number: H04N2013/0092

Abstract: PURPOSE: An interactive three-dimensional display system is provided to minimize crosstalk by controlling each parameter of a three-dimensional display device. CONSTITUTION: In a glassless 3-D image display device(100), a parallax barrier panel(20) is arranged in the front of a display panel. A control unit(200) receives display information and view point information from the glassless 3-D image display device. The control unit calculates the entire viewing zone width by a light from a point light source. The control unit obtains viewing zone distribution data in the horizontal and vertical direction viewing range in a predetermined viewing plane. A beam projector(300) outputs an optimum viewing area image in the bottom surface using the viewing zone distribution data.

Abstract translation: 目的：提供交互式三维显示系统，通过控制三维显示设备的每个参数来最小化串扰。 构成：在无玻璃三维图像显示装置（100）中，在显示面板的前方配置视差屏障面板（20）。 控制单元（200）从无玻璃三维图像显示装置接收显示信息和观看点信息。 控制单元通过来自点光源的光来计算整个观察区宽度。 控制单元在预定观察平面中获得水平和垂直方向观看范围内的观看区域分布数据。 光束投影仪（300）使用观察区分布数据输出底面中的最佳观看区域图像。